Waferreinigung

Inhalt

Weitere Anwendungen in der Waferproduktion:

 
 

Anforderungen

  • Schonender Transport
  • Modularer Aufbau: je nach Bedarf Realisierung mehrerer Portale unabhängig voneinander möglich
  • Niedrige Kosten
  • Medienbeständigkeit
 
 

Lösung

  • X-Achse: korrosionsbeständige Kugelschienenführungen mit Zahnstangentrieb (variable Länge für höchste Dynamik)
  • Vertikale Portalachse: Kugel-/Schienenführung und AOK-Antriebseinheit
  • Antrieb: Servomotoren IndraDrive CS (Cs)
  • Steuerung: IndraMotion for Handling
  • Pneumatische Edelstahlzylinder und Cleanline-Ventile
 
 

Ihr Vorteil

  • Hohe Maschinenverfügbarkeit durch speziellen Oberflächenkorrosionsschutz der einzelnen Komponenten
  • Minimierter Aufwand für die Maschinenmontage dank auf den Motor abgestimmter Komponenten