Linearbewegungssystem

Linearbewegungssystem
Inhalt

Wie bei einer Magnetschwebebahn gleitet das Produkt mit dem intelligenten LMS-Transportsystem berührungsfrei durch die Vakuumkammer.

Ob Vakuum, Reinraum oder bei Hochtemperatur: Das Verfahren ermöglicht das präzise gesteuerte Arbeiten unter Reinraumbedingungen bei hohen Geschwindigkeiten.

Profitieren Sie von dem intelligenten Antriebskonzept für den berührungsfreien Transport unter anspruchsvollen Prozessbedingungen.

Ihr Vorteil

  • Alle elektrischen Komponenten, Verkabelungen und Sensoren außerhalb der Prozesskammer
  • Praktisch verschleiß- und wartungsfrei
  • Positionierung bei Geschwindigkeiten von über 2 m/s und einer Auflösung bis 5 μm mit Motion-Control-Bewegungssteuerung NYCe 4000

... Weitere Informationen zum Linearbewegungssystem im Produktkatalog