Automatisierungslösungen für die Halbleiterindustrie

Inhalt

Die Halbleiterindustrie stellt mit dem Bedarf an mechatronischen Modulen für gleichmäßige Waferbewegungen, den berührungslosen Materialtransport durch die Prozesskammern und Positionierungsgenauigkeiten im Nanometerbereich ganz besondere Anforderungen an die Automatisierung.

Bosch Rexroth kann auf mehr als zehn Jahre profundes Praxiswissen in der Branche zurückblicken. Dieses konzentrierte Know-how fließt in die fortlaufende Entwicklung neuer Komponenten, Module und Produktlinien für den gesamten Front-End- und Back-End-Bereich ein.

 
 
 

Fünf Programme – ein enormer Vorteil: maßgeschneiderte Lösungen für gesteigerte Effizienz

Wir bieten fünf skalierbare Automatisierungsprogramme für typische Anwendungen in der Halbleiterfertigung, mit denen Sie die Markteinführung beschleunigen können. Jedes Programm baut auf einem abgestimmten Komponentenbaukasten auf, der alle Technologien abdeckt. Maßgeschneiderte mechatronische Lösungen reduzieren die Notwendigkeit zur vertikalen Integration. Unser Expertenteam entwirft nach Ihren Anforderungen vollständige Teilsysteme, die speziell für die Halbleiterindustrie optimiert sind. Sie müssen nur noch installieren und die Parameter einstellen.

 

Technologie für hohe Präzision und hohe Geschwindigkeit

Hohe Positioniergenauigkeit mit präziser IO-Synchronisation

Flexibler und genauer Lineartransport

 
 

Produkte für Gantry-Anwendungen mit hoher Geschwindigkeit und Präzision

Modulare Bewegungslösungen, offen für Fremdaktoren