Linear Motion System

Inhalt

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- Wafer Handling

- Wafer Stages

- Gantry

- Back End




 
 

Flexibler und genauer Lineartransport auch unter schwierigen Prozessbedingungen.

Ein externes, berührungsloses Bewegungssystem transportiert den Wafer durch die Prozesskammern: Das Linearbewegungssystem LMS von Rexroth bietet mit seinem stark vereinfachten Design einen äußert hohen Grad an Flexibilität.

Spulen an der Außenwand der Kammer treiben magnetische Träger an – ohne Bedarf an Dichtungen. Die Verfügbarkeit steigt, da alle Bauteile außerhalb der Kammer montiert sind. Die Technologie eignet sich für nahezu alle Lastfaktoren, Präzisionsanforderungen und Bewegungsprofile. Das System ist äußerst flexibel und erlaubt die Vorwärts- und Rückwärtsbewegung der einzelnen Träger mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten.

 
 

 
Motion Control NYCe 4000 LMS

Innovativ und intelligent

Laufrollenführungen

Einfach und spielfrei

Linear Motors IndraDyn L

Hohe Dynamik und Präzision