Germany

Standort auswählen

Germany
 

Wafer Stages

Inhalt
 
 

Hohe Positioniergenauigkeit und fein abgestimmte Bewegungen mit präziser IO-Synchronisation

Das Wafer-Stage-Programm sorgt für hoch präzise Bewegungen im Nanometerbereich zur Ausrichtung, Positionierung und Prüfung von Wafern bei Inspektion und Qualitätskontrolle.

Das Precision-Motion-Control-System MPC gewährleistet hohe Präzision mit einer Auflösung von 1 bis 5 nm sowie gleichmäßiges, langsames Bewegen bei ≥ 50 nm/s. Besondere Servomotoren und eisenlose Linear- und Torquemotoren sorgen für eine verbesserte dynamische Leistung. Die hoch präzisen Linearführungen eliminieren Schwingungen. Das Automatisierungspaket wird durch ein pneumatisches Teilsystem vervollständigt.

 

 
Precision-Motion-Control-System MPC

Leistungsstark und offen

Laufrollenführungen

Ruhig und hoch dynamisch

Eisenlose Linearmotoren

Schnell und gleichmäßig