Wafer Stages

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Hohe Positioniergenauigkeit und fein abgestimmte Bewegungen mit präziser IO-Synchronisation

Das Wafer-Stage-Programm sorgt für hoch präzise Bewegungen im Nanometerbereich zur Ausrichtung, Positionierung und Prüfung von Wafern bei Inspektion und Qualitätskontrolle.

Das Bewegungssteuerungssystem NYCe 4000 gewährleistet hohe Präzision mit einer Auflösung von 1 bis 5 nm sowie gleichmäßiges, langsames Bewegen bei ≥ 50 nm/s. Besondere Servomotoren und eisenlose Linear- und Torquemotoren sorgen für eine verbesserte dynamische Leistung. Die hoch präzisen Linearführungen eliminieren Schwingungen. Das Automatisierungspaket wird durch ein pneumatisches Teilsystem vervollständigt.

 

 

Leistungsstark und offen

Ruhig und hoch dynamisch

Schnell und gleichmäßig