Beschichtungsprozess

Beschichten auf höchstem Niveau

Gerade im Bereich OLED-Lighting ist ein partikelfreier Substrattransport für anspruchsvolle Beschichtungsprozesse wichtig. Rexroth bietet hierzu das flexible System Linear Motion System LMS für lineare Bewegungen, das unter Hochvakuum-Bedingungen eingesetzt werden kann. Es sondert keine Fremdpartikel ab und trägt somit zu einer erhöhten Qualität von Beschichtungsprozessen bei.

Beim LMS treiben außerhalb der Kammer angebrachte Spulen magnetische Trägerplatten an. Sie sparen Abdichtungen und erhöhen die Verfügbarkeit, denn alle elektrischen Komponenten sind außerhalb der Kammer angebracht. Die Technologie eignet sich für nahezu alle Transportgewichte, Präzisionsanforderungen und Bewegungsprofile. Das System ist so flexibel, dass die einzelnen Träger in unterschiedlichen Geschwindigkeiten sowie vorund rückwärts gefahren werden können.

  • Transport unter anspruchsvollen Bedingungen wie Vakuum und hohen Temperaturen
  • Keine bewegten Kabel
  • Erhöhte Verfügbarkeit durch verschleißfreie Elektrik außerhalb des Prozessbereichs
  • Multi-Carriers mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten
  • Praktisch wartungsfrei