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PI 041-14 Lohr am Main, 23.05.2014

Flexibel und partikelfrei für OLED Produktion

Das Linear Motion System von Rexroth erfüllt die Anforderungen an die OLED-Produktion im Hochvakuum durch das magnetische Wirkprinzip zum Antrieb der Carrier.

Berührungsfreier Transport mit Linear Motion System von Rexroth erfüllt verschärfte Anforderung an Kontamination für Displays

Displays partikelfrei im Hochvakuum positionieren und beliebig viele Substratträger unabhängig voneinander oder synchron bewegen: Das Linear Motion System von Rexroth erhöht die Prozesssicherheit und Flexibilität in der Display-Produktion und erfüllt auch die nochmals deutlich verschärften Anforderungen für die Herstellung von Groß-Displays der zehnten Generation. Durch das berührungslose Antriebsprinzip und eine darauf abgestimmte Steuerung vereinfacht es die Konstruktion von Prozessanlagen und ermöglicht die schnelle Umrüstung auf neue Produkte.

OLED Fertigungen der achten Generation und höher stellen anspruchsvollste Prozessanforderungen an die Reinheit: Schon sechs Partikel in der Größe von 50 nm führen zum Ausschuss. Mechanische Transportlösungen erfüllen diese Voraussetzungen, wenn überhaupt, nur mit einem sehr hohen konstruktiven Aufwand. Die Komponenten müssen komplett gekapselt und sämtliche Kabelzuführungen und Durchtriebe für die Motorwellen abgedichtet werden. Das Linear Motion System (LMS) von Rexroth treibt dagegen eine beliebige Zahl von Substratträgern nach dem Prinzip eines umgekehrten Linearmotors rein magnetisch und damit berührungslos an. Sämtliche elektrische Komponenten sind außerhalb der Prozesskammern angebracht und benötigen keinerlei physische Verbindung mit den Carriern. Dadurch entfallen sämtliche Quellen für die ungewollte Partikelemission und das System steigert die Prozesssicherheit. Das bestätigen Praxiserfahrungen in der Displayproduktion von LED und OLED.

Das LMS arbeitet nicht nur extrem rein, sondern auch hochflexibel. Die Steuerung NYCe 4000 positioniert die Carrier sowohl einzeln und unabhängig voneinander als auch koordiniert. Ohne Veränderungen an der Prozesskammer können Anlagenhersteller beliebig viele Substratträger in verschiedenen Leistungsstufen verwenden. Die offene Softwarestruktur der auf das LMS abgestimmten Steuerung NYCe4000 vereinfacht die Integration in Anlagenkonzepte. Sie verlagert die Varianz der Anlagenkonfiguration in die Software. Das reduziert den Engineeringaufwand und verkürzt die Time to market von Produktionsanlagen. Gleichzeit erhöht das LMS die Flexibilität der Display-Hersteller, ihre Fertigung an die immer kürzeren Lebenszyklen von zum Beispiel Handys und TV-Geräten auszurichten. Für die Umstellung bereits installierter Anlagen auf neue Produktionsabläufe genügt es, die Software anzupassen.

Das LMS ermöglicht beliebige Transportwege, -längen und Anzahl der Carrier unter nahezu allen Prozessbedingungen. Die Carrier decken Gewichte von 1 kg bis zu mehr als 1.000 kg ab. Die Wiederholgenauigkeit der Positionierung erreicht bis zu 10µm.

Wirtschaftlich, präzise, sicher und energieeffizient: Antriebs- und Steuerungstechnik von Bosch Rexroth bewegt Maschinen und Anlagen jeder Größenordnung. Das Unternehmen bündelt die weltweiten Anwendungserfahrungen in den Marktsegmenten Mobile Anwendungen, Anlagenbau und Engineering, Fabrikautomation sowie Erneuerbare Energien für die Entwicklung innovativer Komponenten, maßgeschneiderter Systemlösungen und Dienstleistungen. Bosch Rexroth bietet seinen Kunden Hydraulik, Elektrische Antriebe und Steuerungen, Getriebetechnik sowie Linear- und Montagetechnik aus einer Hand. Mit einer Präsenz in mehr als 80 Ländern erwirtschafteten die rund 36.700 Mitarbeiter 2013 einen Umsatz von rund 5,7 Mrd. Euro.

Mehr Informationen unter www.boschrexroth.com

Die Bosch-Gruppe ist ein international führendes Technologie- und Dienstleistungsunter-nehmen und erwirtschaftete im Geschäftsjahr 2013 mit rund 281 000 Mitarbeitern einen Umsatz von 46,1 Milliarden Euro. (Hinweis: Aufgrund geänderter Bilanzierungs- und Bewer-tungsmethoden sind die Kennzahlen für 2013 mit den früher veröffentlichten Kennzahlen für 2012 nur bedingt vergleichbar). Die Aktivitäten gliedern sich in die vier Unternehmens-bereiche Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter sowie Energie- und Gebäudetechnik. Die Bosch-Gruppe umfasst die Robert Bosch GmbH und ihre rund 360 Tochter- und Regionalgesellschaften in rund 50 Ländern; inklusive Vertriebspartner ist Bosch in rund 150 Ländern vertreten. Dieser weltweite Entwicklungs-, Fertigungs- und Ver-triebsverbund ist die Voraussetzung für weiteres Wachstum. Im Jahr 2013 investierte die Bosch-Gruppe rund 4,5 Milliarden Euro in Forschung und Entwicklung und meldete rund 5 000 Patente an. Das sind durchschnittlich 20 Patente pro Tag. Ziel der Bosch-Gruppe ist es, mit ihren Produkten und Dienstleistungen die Lebensqualität der Menschen durch inno-vative, nutzbringende sowie begeisternde Lösungen zu verbessern und Technik fürs Leben weltweit anzubieten.

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