Puolijohdekiekkojen käsittely
Bosch Rexrothin puolijohdekiekkojen käsittely- ja prosessointiratkaisut on suunniteltu tasapainottamaan dynaamiset servokäytöt, jäykät lineaarialijärjestelmät ja paineilmatoimilaitteet täydellisesti – järjestelmässä ei esiinny ylityksiä tai välyksiä. Tämä vähentää joutoaikaa ja mahdollistaa standardoidun käsittelyn kaikissa alkupään toiminnoissa. Lisäksi tärinä on estetty liikkeenohjausjärjestelmän etukäteen määritetyillä algoritmeilla. Sujuvammat liikesekvenssit mahdollistavat jyrkemmät liikeprofiilit ja käyrätoiminnot.
Puolijohdekiekkojen vaiheet
Puolijohdekiekkojen vaiheohjelmamme on suunniteltu takaamaan erittäin tarkka, nanometriluokan liikkeenohjaus. Se soveltuukin ihanteellisesti puolijohdekiekkojen kohdentamiseen, paikantamiseen ja testaukseen laadunvalvontavaiheessa. Tarkka liikkeenohjausjärjestelmä MPC takaa suuren tarkkuuden 1–5 nm:n resoluutiolla sekä hitaan yhtenäisen liikkeen (≥ 50 nm/s). Dynaamista suoritusta parantavat erikoisservomoottorit ja raudattomat lineaari- ja vääntömoottorit. Erittäin tarkat lineaariset johteet poistavat tärinän. Automaatiopaketin viimeistelee pneumaattinen alijärjestelmä. Jyrkemmät liikeprofiilit ja käyrätoiminnot tuottavat sujuvamman liikkeen.
Joustava kuljetusjärjestelmä
Rexrothin yksinkertainen, joustava kuljetusjärjestelmä FTS toimii kaikkein haastavimmissakin olosuhteissa. Siihen on integroitu ulkoinen kosketukseton liikejärjestelmä. Kammioiden ulkopuolelle asennetut käämit tuottavat käyttövoiman magneettisille kantolaitteille, jotka eivät vaadi tiivisteitä. Ulkopuolinen asennustapa parantaa myös käytettävyysaikaa. Tämä lineaaritekniikka sopii lähes kaikille kuormitusasteille, tarkkuustasoille ja liikeprofiileille. Järjestelmä on poikkeuksellisen joustava ja sallii yksittäisten kantolaitteiden liikkumisen eteen- ja taaksepäin eri nopeuksilla.
Rata
Bosch Rexrothin ratajärjestelmä huolehtii litteiden näyttöjen ja aurinkomoduulien tarkasta sijoittelusta ilman vääntöä. Rata-automaatiojärjestelmien valikoimaan kuuluu monille koko- ja kuormitusluokille tarkoitettuja komponentteja. Liikkeenohjausjärjestelmä huolehtii kahden akselin dynaamisesta ja tarkastakoordinoinnista. Kummallakin akselilla on oma ohjaussilmukkansa, eikä niiden välillä ole mekaanista yhteyttä. Sercos-pohjainen reaaliaikainen synkronointi varmistaa mahdollisimman tarkan korkeussäädön.
Rekisteröityminen
Servomoottorikäytöt parantavat tarkkuutta, nopeutta ja koneiden tuottoa saumattomien muodonvaihtojen avulla. Erittäin dynaamiset servokäytöt ja kompakti lineaaritekniikka minimoivat syöttöajat muodonvaihtojen yhteydessä. Saumattomat elektroniset lähetykset ja rekisteriohjaus varmistavat muodonvaihdot ilman viiveitä.
Usean vyöhykkeen viiran jännityksen ohjaus
Vakaampi tuotantoprosessi usean vyöhykkeen viiran jännityksen ohjauksen avulla. Moderneissa R2R-koneissa tarvitaan vakaan ja luotettavan tuotantoprosessin varmistamiseksi erilaisia viiran jännityksen ohjausvyöhykkeitä. Rexrothin usean vyöhykkeen viiran jännityksen ohjauksessa käytetään ”irrotustekniikkaa”, jonka avulla koneen eri jännitysvyöhykkeet erotetaan toisistaan.
Viirapuskuri
Siirtyminen lyhyistä viiraosan pysäytyksistä tarkistusten yhteydessä jatkuvaan viiratuotantoon lyhentää syklien kestoa ja parantaa tuottavuutta.
Laminointiprosessi
Laminointiprosessi eli useiden kalvomaisten kerrosten liittäminen pohjamateriaaliin vaatii suurta viiran nopeutta ja viiran tarkkaa kiristystä suurella alueella. Kolmannen osapuolen komponenttien integrointi on avoimen järjestelmäarkkitehtuurin ansiosta helppoa. Kompaktit ohjauskaapit pienentävät koneen vaatimaa tilaa.
Laserprosessi
Bosch Rexrothin suorituskykyisten, ohjaimeen perustuvien ohjausjärjestelmien ansiosta lasertyöstäminen on mahdollista viiran liikkuessa jatkuvasti. Jatkuva viiran siirto koneessa parantaa koneen tuottavuutta nopeuttamalla sykliaikoja. Koska ohjauskaappia ja lisäohjausjärjestelmiä ei tarvita, kustannuksia syntyy vähemmän.
Pinnoitusprosessi
Pinnoitusprosessissa on erittäin tärkeää, ettei alustalle joudu siirron aikana hiukkasia. Tämä pätee etenkin OLED-valaistussovelluksia. Rexroth tarjoaa tähän tarkoitukseen lineaariseen liikkeeseen tarkoitetun joustavan kuljetusjärjestelmän FTS:n, jota voidaan käyttää myös suuressa alipaineessa. Siitä ei irtoa tai vapaudu hiukkasia, joten se parantaa pinnoitusprosessin laatua. Kammioiden ulkopuolelle asennetut käämit tuottavat käyttövoiman magneettisille kantolaitteille. Tiivisteitä ei tarvita, ja käytettävyysaika paranee, koska kaikki sähkötekniset komponentit on asennettu kammion ulkopuolelle.
