Manipularea plăcuțelor semiconductoare
Soluțiile Bosch Rexroth de manipulare și procesare a plăcuțelor semiconductoare sunt concepute pentru a echilibra perfect acționările prin servomotor extrem de dinamice, subsistemele liniare cu rigiditate ridicată și actuatoarele pneumatice cu rigiditatea ridicată și fără supraoscilații sau curenți de grilă pozitivi. Acest lucru permite un timp de inactivitate mai redus și o manipulare standardizată pe tot parcursul operațiunilor front-end. În plus, vibrațiile sunt prevenite de algoritmi predefiniți în sistemele de control al mișcării. Iar secvențele de mișcare mai fine permit profiluri de mișcare de ordin superior și funcții spline.
Platforme pentru plăcuțe semiconductoare
Gama noastră de platforme pentru plăcuțe semiconductoare a fost concepută pentru controlul mișcării de înaltă precizie, de ordinul nanometrilor. Prin urmare, este ideală pentru alinierea, poziționarea și testarea plăcuțelor semiconductoare în faza de control al calității. Sistemul de control al mișcării MPC de mare precizie garantează o precizie ridicată cu o rezoluție de 1–5 nm, precum și o mișcare uniformă lentă ≥ 50 nm/s. Servomotoarele speciale și motoarele liniare și cele cu cuplu constant fără fier îmbunătățesc performanțele dinamice. Ghidajele liniare de înaltă precizie elimină vibrațiile. Adăugarea unui subsistem pneumatic completează pachetul de automatizare. Profilurile de mișcare de ordin superior și funcțiile spline produc secvențe de mișcare mai fine.
Sistem de transport flexibil
Simplificat și capabil să funcționeze în cele mai dificile condiții, sistemul de transport flexibil FTS de la Rexroth integrează un sistem extern de mișcare fără contact. Bobinele montate în afara camerei asigură puterea de acționare pentru cărucioarele magnetice care nu necesită etanșări. De asemenea, montajul exterior crește disponibilitatea. Această tehnologie a mișcării liniare este potrivită pentru practic toți factorii de încărcare, nivelurile de precizie și profilurile de mișcare. Sistemul permite o flexibilitate excepțională și le oferă posibilitatea cărucioarelor individuale să se deplaseze înainte și înapoi cu viteze diferite.
Cadru
Pentru display-urile cu ecran plat și modulele solare, sistemele de cadre Bosch Rexroth asigură o poziționare fără torsiune, cu o precizie ridicată. În această gamă de sisteme de automatizare cu cadru sunt incluse componentele unui interval larg de dimensiuni și sarcini nominale. Sistemul de control al mișcării asigură o coordonare ultra dinamică și de înaltă precizie a două axe, fiecare cu bucla de control proprie, fără nicio îmbinare mecanică. De asemenea, precizia perimetrală maximă este asigurată prin sincronizarea în timp real bazată pe Sercos.
Înregistrare
Acționări prin servomotor pentru valori îmbunătățite ale preciziei, vitezei și randamente ale mașinii, cu modificări ale formatului fără întreruperi. Acționările prin servomotor ultra dinamice și tehnologia compactă a mișcării liniare reduc la minimum timpii de alimentare în timpul modificărilor de format. Transmisiile electronice fără întreruperi și verificarea registrului permit modificări de format fără întârziere.
Controlul multi-zonă al tensiunii din rolă
Oferirea posibilității unui proces de producție mai stabil prin facilitarea mai multor zone de control al tensiunii din rolă. Mașinile moderne de imprimat de tip roll-to-roll au nevoie de diferite zone de control al tensiunii din rolă pentru a asigura un proces de producție stabil și fiabil. Controlul multi-zonă al tensiunii din rolă de la Rexroth folosește o tehnică de „decuplare” pentru a facilita mai multe zone de tensiune într-o mașină.
Buffer pentru rolă
De la oprirea scurtă a unei secțiuni de rolă, așa cum se întâmplă în timpul lucrărilor de inspecție până la transportul continuu al rolei în instalație și productivitatea sporită datorită duratelor reduse de ciclu.
Procesul de laminare
Procesul de laminare – îmbinarea mai multor straturi similare unei pelicule cu un material de bază – necesită o viteză mare a rolei și o tensionare exactă a acesteia pe o suprafață mare. Arhitectura de sistem deschis permite integrarea ușoară a componentelor externe. Tablourile de comandă compacte reduc suprafața de instalare a mașinii.
Proces cu laser
Sistemele de control performante, bazate pe controlere, de la Bosch Rexroth fac posibil procesul de prelucrare cu laser în timpul transportului continuu al rolei. Transport continuu al rolei în mașină, productivitate mai mare a mașinii prin perioade mai rapide ale ciclului și costuri mai mici, fără a fi necesar un tablou de comandă, deoarece nu este necesar un sistem de control suplimentar.
Procesul de acoperire de protecție
Asigurarea transportului substratului fără particule este absolut esențială pentru procesul de acoperire de protecție, mai ales atunci când acesta implică aplicații cu iluminare OLED. În acest scop, Rexroth oferă sistemul de transport flexibil FTS pentru mișcări de deplasare liniare, care poate fi utilizat în condiții de vid înaintat. Acesta nu degajă și nu evacuează particule străine, îmbunătățind astfel calitatea proceselor de acoperire de protecție. Bobinele montate în afara camerei asigură puterea de acționare pentru cărucioarele magnetice. Nu este nevoie de etanșări, iar disponibilitatea crește deoarece toate componentele electrice sunt montate în afara camerei.
