Odak ürünleri:
Yarı iletken mühendisliğini ve otomasyonunu hızlandırın
Mekatronik ve hareket kontrolü alanında deneyimli mühendislik ve otomasyon iş ortağınıza hoş geldiniz. Tüm yarı iletken ve elektronik değer zinciri boyunca yüksek hızlı mühendislik ve kullanıma hazır çözümlerle sizi destekliyoruz.
20 yılı aşkın deneyim ve yüksek çeviklikİlk prototipten itibaren yakın iş birliğiyle laboratuvardan üretime
hız kazanın. Uygulamanıza özel tasarlanmış, kullanıma hazır mekatronik alt sistemler ve hassas hareket kontrolü çözümleriyle sadeliği yakalayın. Tüm çözümlerimiz makine tasarımınıza kolay ve sorunsuz şekilde entegre edilir.Tam kopya imalatı ile ölçeklenebilirliği yönetin. Şirket içi kalite bileşenlerimizle sürdürülebilirlik ve uzun ömürlülükten yararlanın. Her türlü destek ihtiyacınızda uzman mühendislik ekiplerimiz daima yanınızdadır.
Front-End
Wafer taşıma (OHT)
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Çerçeve yapısı
- Yük kapasitesi
- OHT arayüzü
- Güvenlik ve temiz odayla ilgili önemli bilgiler
Ürün Kategorisi:
BİLEŞENLER
Temiz oda alüminyum kanallı profiller ve bağlantı elemanları
YARARLAR
- Parçacık oluşumunu azaltmak için anotlanmış alüminyum
- Temiz oda uyumluluğu için açık T yuvalarını yuva kapaklarıyla kapatın
- ISO Sınıf 3-4 ortamlarıyla uyumluluk
-
Montaj dirsekleri ve bağlantı elemanları
(M8 paslanmaz veya daha güçlü) titreşime karşı direnç
Wafer Temizleme – Parti Halinde Wafer Temizleme için Wafer Taşıma Sistemi
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Sıçramasız wafer hareketi
- Minimize edilmiş partikül kirliliği
Ürün Kategorisi:
ALT MEKANİZMA
Toplu wafer taşıma:
Islak temizleme işleminin her aşamasında wafer taşıyıcılarının sorunsuz ve hassas bir şekilde taşınması
FAYDALAR
-
Hassas Mühendislik
Çok eksenli hareket kontrolü ve sarsıntı sınırlı kaldırma çıkışları, son derece hassas wafer taşıma sağlar. Minimum mekanik stres için tekrarlanabilir, pürüzsüz hareket sağlar. -
Yüksek İş Hacmi ve Verimlilik
Güvenlik veya hassasiyetten ödün vermeden sürekli, hızlı wafer transferleri için optimize edilmiştir. Tutarlı işlem kalitesini korurken üretkenliği artırır. -
Yumuşak ve Sıçratmasız Taşıma
Wafer üzerindeki mekanik ve kimyasal gerilimi en aza indirecek şekilde tasarlanmıştır. Islak işleme sırasında hassas wafer yüzeylerinin bütünlüğünü sağlar.
Bilgi formu: Toplu Wafer Temizleme için Wafer Taşıma Sistemi
Wafer Temizleme – Tekil Wafer Temizleme için Wafer Taşıma Sistemi
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Tüm büyük CMP ve metroloji platformları ile uyumluluk
- SEMI E84/E87 uyumluluğu
Ürün Kategorisi:
ALT MEKANİZMA
Tek Wafer Taşıma:
CMP ve sonraki işlemler arasında tek waferı temizliği için yüksek hassasiyetli wafer taşıma çözümü
YARARLAR
-
Yüksek Hassasiyetli Taşıma
CMP ve sonraki süreçler arasında doğru ve kararlı wafer hareketi sağlar. Wafer hizalama hatalarını ve işleme hatalarını en aza indirir. -
Sorunsuz CMP Entegrasyonu
Özellikle CMP ekipmanı ile sonraki temizlik veya işlem istasyonları arasında aktarım için tasarlanmıştır. -
Yüksek İş Hacmi ve Verimlilik
Hassasiyetten ödün vermeden hızlı wafer nakliyesi için optimize edilmiştir. Genel süreç verimini ve üretim verimliliğini artırır.
Biriktirme
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
-
Temizlik ve kontaminasyon kontrolü:
En az ISO 5 temiz oda. Gaz çıkaran veya parçacık oluşturan yağlayıcılar yoktur - genellikle kuru rulmanlar veya vakumla uyumlu gresler -
Sıcaklık ve malzeme uyumu:
İşlem sıcaklıklarının (CVD için ~ 450 °C'ye kadar, bazı PVD için daha yüksek) deformasyon olmadan toleransı
Ürün Kategorisi:
ALT MEKANİZMA
Wafer pimli kaldırma:
Biriktirme için wafer taşıma sistemimiz, doğru kaldırma ve pozisyon fonksiyonlarını garanti eder
FAYDALAR
-
Hassas Wafer Yüksekliği ve Destek
Biriktirme sırasında waferların doğru şekilde kaldırılmasını ve indirilmesini sağlar, böylece hassas filmlere zarar verebilecek yüzey temasını önler. -
Vakum ve Temiz Oda Uyumu
Zorlu vakum ve temiz oda gereksinimlerini karşılamak için ultra temiz, düşük gazlı malzemelerden üretilmiştir -
Stabil, Tekrarlanabilir Konumlandırma
Tek tip film kalınlığını ve hassas işlem hizalamasını korumak için mikrometre düzeyinde tekrarlanabilirlik sağlar
Aşındırma – Etch Yükleme için Wafer Taşıma Sistemi
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Kritik aşındırma ortamlarına güvenilir, kirlenmeden wafer transferi
- Kasetler, FOUP'lar ve aşındırma odaları arasında hassas hizalama, güvenli konumlandırma ve pürüzsüz teslim
Ürün Kategorisi:
ALT MEKANİZMA
Kritik aşındırma ortamlarına ultra güvenilir, kirlenmeden arındırılmış wafer transferi
YARARLAR
-
Hassas Hizalama ve Konumlandırma
Aşındırma odalarına güvenilir aktarım için doğru wafer merkezlemesi ve yönlendirmesi sağlar. -
Sorunsuz Otomasyon Entegrasyonu
Yüksek verimli çalışma için robotik kollar, FOUP yükleyiciler ve fabrika otomasyonu (FA) sistemleriyle tam uyumludur. -
Yüksek Çevrim Dayanıklılığı
Kanıtlanmış mekanik uzun ömür ve minimum bakım gereksinimleri ile 7/24 kesintisiz çalışma için tasarlanmıştır.
Aşındırma – Islak Aşındırma (Wet Etch) için Wafer Taşıma Sistemi
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Aşındırma öncesi ve sonrası temizlik için uygunluk
- Yüksek kaliteli partikül ve kalıntı giderimi
- Kimyasal tüketimi ve wafer stresi en aza indirgenmiştir
Ürün Kategorisi:
ALT MEKANİZMA
Yarı iletken üretiminde hassas ıslak işleme için son teknoloji tek wafer temizleme sistemi
FAYDALAR
-
Mikron Düzeyinde Konumsal Doğruluk
Hassas kaldırma yüksekliği kontrolü, püskürtme, daldırma veya dağıtma nozulları ile doğru hizalama sağlar. -
Ultra Düşük Parçacık Üretimi
Aşındırıcı ıslak işleme sırasında kirlenmeyi en aza indirmek için temiz, temas için optimize edilmiş mekanikler. -
Otomasyona Hazır
Islak tezgah taşıma sistemleri ve robotik transfer modülleri ile sorunsuz bir şekilde entegre olur.
CMP
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
-
Hassas taşıma:
Wafer kaymasını veya kırılmasını önlemek için yumuşak hızlanma profilleri -
Temiz çevre:
Partikül çekimini azaltmak için antistatik tasarım -
Kesin konumlandırma:
Waferı tam olarak sonraki aracın giriş bağlantı noktasına hizalayın -
Tümleştirme:
Her iki aracın yük bağlantı noktaları ve fabrika otomasyonu ile iletişim
Ürün Kategorisi:
ALT MEKANİZMA
Spin Ünitesi Parlatma:
Kimyasal Mekanik Planarizasyon sırasında ultra hassas wafer taşımasistemi
FAYDALAR
-
Kararlı Döndürme Kontrolü
Hatasız düzlemsel yüzeyler elde etmek için düzgün, titreşimsiz dönüş hareketi için tasarlanmıştır. -
Kimyasal ve Sulu Çamura Dirençli
Aşındırıcı çamurlara ve agresif CMP kimyalarına dayanıklı, korozyon dirençli bileşenlerle oluşturulmuş malzemeler. -
Sorunsuz Araç Entegrasyonu
Otomatik wafer taşıma ve CMP süreç otomasyonu platformları ile tam uyumludur.
Wafer İnceleme ve Test
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Hassasiyet ve doğruluk
- İş hacmi ve döngü süresi
- Temizlik ve kontaminasyon kontrolü
Ürün Kategorisi:
ÇÖZÜM KÜMESİ
Wafer denetimi ve ctrlX MOTION ve doğrusal sistemler ile test
YARARLAR
-
Doğrusal rayların düzlüğü ve yassılığı:
≤ 1 µm/100 mm -
Konumlandırma tekrarlanabilirliği:
≤ ±0,5 µm (X/Y), ≤ ±1 µrad (dönüş) - Pürüzsüz, hızlı hareketler için sarsıntı sınırlı profillerle çok eksenli koordineli hareket
- X/Y/Z/θ eksenleri için yörünge planlaması ile kapalı döngü hareket kontrolü
- SECS/GEM ile entegrasyon
Back-End
Wafer Arka Taşlama
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Mikron altı doğrusal konumlandırma
- Temiz oda uyumu
- Yüksek sertlik, titreşim sönümleme
- Mil senkronizasyonu
Ürün Kategorisi:
ÇÖZÜM KÜMESİ
ctrlX MOTION ile doğrusal eksenler ve entegre tanılama
YARARLAR
- Düşük geri tepmeli tahrikler - yüksek yüzey kalitesi
- Yüksek tekrarlanabilirlik - daha az ıskarta
- Ölçeklenebilir kontrol sistemi - her boyuta uygun
- Tümleşik tanılama - daha az bakım
- Önceden tanımlanmış hareket profilleri - hızlı devreye alma
Wafer Dilimleme (Dicing)
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Yüksek hızlı, geri tepmesiz XY hareketi
- Görüş tabanlı yol düzeltmesi
- Mikron altı tekrarlanabilirlik
- Temiz oda sınıfı 5-6
Ürün Kategorisi:
ÇÖZÜM KÜMESİ
CtrlX CORE kullanarak XYZ kontrolü ile hareket çözümü
YARARLAR
- Yüksek hızlı konumlandırma - daha hızlı kesim
- Kararlı hareket - hassas bıçak hareketi
- Kompakt modüller - temiz odaya hazır
- Açık otomasyon arayüzleri - kolay PLC/HMI bağlantısı
- Tanılama aracı - hızlı sorun giderme
- Enerji açısından verimli tahrikler - daha düşük maliyetler
Çip Testi
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
-
Sahne hareketi:
Tekrarlanabilirlik; optik/sensör senkronizasyonu, termal kompanzasyon -
Sıkma aynası hareketi:
Yumuşak hızlanma / yavaşlama, konumlandırma doğruluğu (XYZ) -
Aktif sönümlenmiş wafer aşaması:
Hassas hareket, tekrarlanabilirlik, doğru konumlandırma
Ürün Kategorisi:
ÇÖZÜM KÜMESİ
ctrlX MOTION, sürücüler ile sahne alanı ve sıkma aynası hareketi çözümleri ve kontroller ve doğrusal sistemler
YARARLAR
- Denetim optikleri ile hassas wafer hizalaması
- Wafer kaymasını veya titreşimini önler
- Zaman içinde tutarlı hareket - sıcaklık aralığında işlem stabilitesi
- Kusur tespiti için nanometre altı hassasiyet
- Hareket sırasında kamera veya sensörlerin doğru tetiklenmesi
Die Bağlama (Die Bonding)
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Tekrarlanabilirlik
- Yüksek konumlandırma hassasiyeti
- Isıl dengeleme ve sürüklenme düzeltmesi
- Denetim optikleri / sensörleri ile senkronizasyon
Ürün Kategorisi:
ÇÖZÜM KÜMESİ
Temel yapıştırma hareketi çözümü (ctrlX Motion) + kuvvet döngüsü entegrasyonu
YARARLAR
- Yüksek yapıştırma kalitesi için hassas Z kuvveti kontrolüne sahip bileşenler
- Sorunsuz iletişim için EtherCAT entegrasyonu
- Özelleştirilebilir HMI ile çözüm kümesi ve kontrol mantığı - daha az hata, güvenli kullanım
- Gerçek zamanlı geri bildirim - azaltılmış ıskarta
- Esnek sistem entegrasyonu
Çip Kalıplama (Molding)
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Kalıp pres kuvveti/pozisyon izleme
- Sert, ısıl olarak stabil eksenler
- İşlem sızdırmazlığı ve temizlik
- Paralel eksen eylemi
Ürün Kategorisi:
ÇÖZÜM KÜMESİ
Kapalı döngü kontrollü, yüksek kuvvetli hareket kiti (ctrlX MOTION)
YARARLAR
- Hassas kalıp kapatma için bileşenler - hidroliksiz
- Kolay bakım - düşük arıza süresi
- Kapalı döngü basınç ve konum - yüksek stabilite
- Özel hareket profilleri - ürüne özel kontrol
- Azaltılmış kablolama - daha temiz kabin
Final Test
DEĞER AKIŞINIZIN İHTİYAÇLARI...
- Yüksek hızlı indeksleme
- Test cihazları ile entegrasyon
- Tekrarlanabilir yerleştirme
- Temiz hareket ve güvenlik
- Veri yakalama
Ürün Kategorisi:
ÇÖZÜM KÜMESİ
ctrlX S-MOTION, modüler HMI ve görüntü arayüzü
YARARLAR
- Hızlı test döngüleri ve doğru sonuçlar için yüksek dinamik ve hassas hareket sağlayan bileşenler
- MES için hazır bağlantı - dijital fabrika uyumu
- Ölçeklenebilir hareket donanımı ve yazılımı - kolay güncellemeler
- Mevcut test hatlarıyla esnek entegrasyon - azaltılmış CAPEX
Elektronik Üretimi
Yüzey Montaj Teknolojisi (SMT)
Lehim
Denetleme
Çip Taşıma
Zorluklarınız için Doğru Otomasyon Çözümünü Bulun
Bosch Rexroth Uygulama Kataloğunu keşfedin: Doğru ürünler, araçlar ve uzman ortaklarla eşleştirilmiş gerçek otomasyon uygulamalarının dinamik bir koleksiyonu. Katalog, karşılaştığınız zorluklar için ideal çözümü belirlemekten doğrulanmış şablonlarla uygulamayı hızlandırmaya kadar her aşamada size yol gösterir.
Yarı İletken Üretiminde Daha Akıllı Çözümler
Yonga plakası elleçleme için temiz oda sertifikalı bileşenlerden çip testi için dinamik sistemlere kadar tüm yarı iletken süreç zincirinde gelişmiş çözümlerimizi keşfedin. Semicon Europa 2025'ten bu video en son yeniliklerimizi sergiliyor.
Ölçeklenebilirlik için üretildi
Güven, hız ve ortak bir dil - bunlar küresel uzman ekibimizle çalışmanın avantajlarıdır. Yarı iletken endüstrisinin odak noktalarının kalbinde yer alan, geniş bir uzmanlık yelpazesini bir araya getiriyoruz. Lider mühendisliğin ötesinde, ürünlerimizi tedarik zinciri sorunlarından bağımsız kılan son derece yüksek bir dikey entegrasyon seviyesine güvenebilirsiniz. Küresel üretim ağımızla, bulunduğunuz yerdeyiz.
