Produits phares :
Accélérez l’ingénierie et l’automatisation des semi-conducteurs
Découvrez votre partenaire expérimenté en ingénierie et en automatisation, spécialisé dans la mécatronique et la commande de mouvement. Nous vous accompagnons avec des solutions d’ingénierie ultra-rapides et des solutions prêtes à l’emploi tout au long de la chaîne de valeur des semi-conducteurs et de l’électronique.
Plus de 20 ans d’expérience, alliés à une grande réactivité
Gagnez en rapidité du laboratoire à la production : grâce à une collaboration étroite dès le premier prototype. Laissez place à la simplicité avec des sous-ensembles mécatroniques prêts à l’emploi et une commande de mouvement de précision conçue pour votre application. Tous s’intègrent facilement et parfaitement dans la conception de votre machine. Maîtrisez l’évolutivité avec la fabrication de copies conformes. Optez pour la durabilité et la longévité avec nos composants de qualité fabriqués en interne. Et si vous avez besoin d’assistance, nos équipes d’ingénieurs spécialisés se tiennent toujours à votre disposition.
Front-end
Transport de plaquettes OHT
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Structure du cadre
- Capacité de charge
- Interface avec OHT
- Considérations relatives à la sécurité et aux salles blanches
Catégorie de produit :
COMPOSANTS
Profilés d’étayage et éléments de connexion en aluminium pour salle blanche
AVANTAGES
- Aluminium anodisé pour réduire la production de particules
- Protection des rainures en T ouvertes avec des caches conformes aux normes des salles blanches
- Compatibilité avec les environnements ISO Classe 3–4
-
Supports et fixations de montage
(M8 inoxydable ou d’une résistance supérieure) résistant aux vibrations
Nettoyage de plaquettes – Système de manutention de plaquettes pour le nettoyage par lots de plaquettes
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Mouvement de plaquettes sans éclaboussures
- Réduction de la contamination par les particules
Catégorie de produit :
SOUS-ENSEMBLE
Manutention des plaquettes par lots :
Transport fluide et précis des barquettes de plaquettes à chaque étape du processus de nettoyage humide
AVANTAGES
-
Une ingénierie de précision
La commande de mouvement multi-axes et les levages limitant les à-coups permettent une manipulation très précise des plaquettes. Assure un mouvement répétable et fluide pour une contrainte mécanique minimale. -
Un débit élevé et une grande efficacité
Optimisé pour des transferts de plaquettes rapides et continus sans compromettre la sécurité ou la précision. Augmente la productivité tout en maintenant une qualité de processus constante. -
Une manipulation douce et sans éclaboussures
Conçu pour minimiser les contraintes mécaniques et chimiques sur les plaquettes. Assure l’intégrité des surfaces sensibles des plaquettes pendant le traitement humide.
Fiche technique : système de manutention de plaquettes pour le nettoyage par lots de plaquettes
Nettoyage de plaquettes – Système de manutention de plaquettes pour le nettoyage de plaquettes individuelles
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Compatibilité avec toutes les principales plateformes CMP et de métrologie
- Conformité SEMI E84/E87
Catégorie de produit :
SOUS-ENSEMBLE
Manipulation de plaquettes individuelles :
Solution de transport de plaquettes de haute précision pour le nettoyage de plaquettes individuelles entre CMP et processus en aval
AVANTAGES
-
Transport de haute précision
Assure un mouvement précis et stable des plaquettes entre l’équipement CMP et les processus en aval. Minimise les erreurs d’alignement et de manipulation des plaquettes. -
Intégration CMP transparente
Conçu spécialement pour le transfert entre l’équipement CMP et les stations de nettoyage ou de traitement ultérieures. -
Un débit élevé et une grande efficacité
Optimisé pour un transport rapide des plaquettes sans compromettre la précision. Améliore le rendement global du processus et l’efficacité de la production.
Fiche technique : système de manutention de plaquettes pour le nettoyage de plaquettes individuelles
Dépôt
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
-
Propreté et contrôle de la contamination :
Salle blanche ISO 5 au minimum. Pas de lubrifiants qui dégagent ou créent des particules, souvent des roulements secs ou des graisses compatibles avec le vide -
Compatibilité de la température et des matériaux
Tolérance des températures de processus (jusqu’à ~450 °C pour les CVD, plus élevée pour certains PVD) sans déformation
Catégorie de produit :
SOUS-ENSEMBLE
Levage de broches pour plaquettes :
Notre système de manutention de plaquettes pour le dépôt garantit des fonctions de levage et de position précises
AVANTAGES
-
Élévation précise des plaquettes et assistance
Assure un levage et un abaissement précis des plaquettes pendant le dépôt, empêchant le contact de surface qui pourrait endommager les films délicats. -
Compatibilité avec le vide et les salles blanches
Construit à partir de matériaux ultra-propres et à faible dégazage pour répondre aux exigences strictes en matière de vide et de salle blanche -
Positionnement stable et répétable
Permet une répétabilité au micromètre près pour maintenir une épaisseur de film uniforme et un alignement précis du processus
Fiche technique : système de manutention de plaquettes pour le dépôt
Gravure – Système de manutention de plaquettes pour le chargement en gravure
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Transfert de plaquettes fiable et sans contamination dans des environnements de gravure critiques
- Alignement précis, positionnement sécurisé et transfert fluide entre les cassettes, les FOUP et les chambres de gravure
Catégorie de produit :
SOUS-ENSEMBLE
Livraison d’un transfert de plaquettes ultra-fiable et sans contamination dans des environnements de gravure critiques
AVANTAGES
-
Alignement et positionnement de précision
Assure un centrage et une orientation précis des plaquettes pour un transfert fiable dans les chambres de gravure. -
Intégration fluide de l’automatisation
Entièrement compatible avec les bras robotisés, les chargeuses FOUP et les systèmes d’automatisation industrielle pour un fonctionnement à haut débit. -
Durabilité de cycle élevée
Conçu pour un fonctionnement continu 24h/24 et 7j/7 avec une longévité mécanique éprouvée et des besoins de maintenance réduits.
Fiche technique : système de manutention de plaquettes pour le chargement en gravure
Gravure – Système de manutention de plaquettes pour la gravure humide
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Convient pour le nettoyage préalable et postérieur à la gravure
- Élimination des particules et des résidus de haute qualité
- Réduction de la consommation de produits chimiques et des contraintes subies par les plaquettes
Catégorie de produit :
SOUS-ENSEMBLE
Système de nettoyage de plaquettes individuelles de pointe pour le traitement humide de précision dans la fabrication de semi-conducteurs
AVANTAGES
-
Précision de position de l’ordre du micron
Le contrôle précis de la hauteur de levage assure un alignement correct avec les buses de pulvérisation, d’immersion ou de distribution. -
Génération de particules ultra-faible
Composants mécaniques propres et optimisés pour le contact afin de minimiser la contamination pendant le traitement humide corrosif. -
Prêt pour l’automatisation
S’intègre parfaitement aux systèmes de manipulation sur banc humide et aux modules de transfert robotisés.
Fiche technique : système de manutention de plaquettes pour la gravure humide
CMP
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
-
Manipulation en douceur :
Profilés d’accélération en douceur pour éviter le glissement ou la rupture des plaquettes -
Environnement propre :
Conception antistatique pour réduire l’attraction des particules -
Positionnement précis :
Alignez les plaquettes avec précision au port d’entrée de l’outil suivant -
Intégration :
Communication avec les ports de chargement et l’automatisation industrielle des deux outils
Catégorie de produit :
SOUS-ENSEMBLE
Polissage de l’unité de rotation :
Système pour la manipulation ultra-précise des plaquettes pendant la planarisation mécanochimique
AVANTAGES
-
Contrôle de rotation stable
Conçu pour un mouvement de rotation lisse et sans vibrations afin d’obtenir des surfaces planes sans défaut. -
Résistant aux produits chimiques et à la boue
Matériaux construits avec des composants résistants à la corrosion pour résister aux boues abrasives et aux produits chimiques CMP agressifs. -
Intégration transparente d’outils
Entièrement compatible avec les plateformes automatisées de manutention de plaquettes et d’automatisation de processus CMP.
Fiche technique : système de manutention de plaquettes pour CMP
Inspection et contrôle de plaquettes
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Précision et exactitude
- Débit et temps de cycle
- Propreté et contrôle de la contamination
Catégorie de produits :
ENSEMBLE DE SOLUTIONS
Inspection et contrôle de plaquettes avec ctrlX MOTION et les systèmes linéaires
AVANTAGES
-
Rectitude et planéité des rails linéaires :
≤ 1 µm/100 mm -
Répétabilité du positionnement :
≤ ±0,5 µm (X/Y), ≤ ±1 µrad (rotation) - Mouvement coordonné multi-axes avec profilés limitant les à-coups pour des déplacements fluides et rapides
- Commande de mouvement en boucle fermée avec planification de trajectoire pour les axes X/Y/Z/θ
- Intégration avec SECS/GEM
Back-end
Broyage arrière de plaquettes
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Positionnement linéaire à l’échelle submicronique
- Conformité aux normes des salles blanches
- Rigidité élevée, amortissement des vibrations
- Synchronisation des broches
Catégorie de produit :
ENSEMBLE DE SOLUTIONS
ctrlX MOTION avec axes linéaires et diagnostics intégrés
AVANTAGES
- Entraînements à faible jeu – qualité de surface élevée
- Haute répétabilité – moins de rejets
- Système de contrôle évolutif – s’adapte à toutes les tailles
- Diagnostics intégrés – maintenance réduite
- Profils de mouvement prédéfinis – mise en service rapide
Découpage de plaquettes
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Mouvement XY à grande vitesse et sans jeu
- Correction de trajectoire basée sur la vision
- Répétabilité à l’échelle submicronique
- Salle blanche de classe 5-6
Catégorie de produit :
ENSEMBLE DE SOLUTIONS
Solution de mouvement avec contrôle XYZ utilisant ctrlX CORE
AVANTAGES
- Positionnement à grande vitesse – coupes plus rapides
- Mouvement stable – mouvement précis de la lame
- Modules compacts – prêts pour les salles blanches
- Interfaces d’automatisation ouvertes – liaison PLC/HMI facile
- Outil de diagnostic – dépannage rapide
- Entraînements à haut rendement énergétique – réduction des coûts
Test de puces
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
-
Mouvement de la platine :
Répétabilité ; synchronisation avec les optiques / capteurs, compensation thermique -
Mouvement du mandrin :
Accélération / décélération en douceur, précision du positionnement (XYZ) -
Platine à amortissement actif :
Mouvement précis, répétabilité, positionnement précis
Catégorie de produits :
ENSEMBLE DE SOLUTIONS
Solutions de déplacement de la platine et du mandrin avec ctrlX MOTION, entraînements et contrôleurs ainsi que systèmes linéaires
AVANTAGES
- Alignement précis des plaquettes avec l’optique d’inspection
- Empêche le glissement ou la vibration des plaquettes
- Mouvement constant dans le temps – stabilité du processus sur toute la plage de température
- Précision subnanométrique pour la détection des défauts
- Déclenchement précis des caméras ou des capteurs en cas de mouvement
Collage de puces
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Répétabilité
- Grande précision de positionnement
- Compensation thermique et correction de la dérive
- Synchronisation avec les optiques / capteurs d’inspection
Catégorie de produit :
ENSEMBLE DE SOLUTIONS
Solution de base pour le mouvement de collage (ctrlX Motion) + intégration de la boucle de force
AVANTAGES
- Composants avec contrôle précis de la force Z pour une qualité de collage élevée
- Intégration EtherCAT pour une communication fluide
- Ensemble de solutions avec HMI et logique de contrôle personnalisables – moins d’erreurs, utilisation sécurisée
- Retour d’information en temps réel – réduction des rebuts
- Intégration flexible du système
Moulage de puces
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Surveillance de la force / position de la presse à mouler
- Axes rigides et thermiquement stables
- Étanchéité et propreté du processus
- Actionnement d’axes parallèles
Catégorie de produit :
ENSEMBLE DE SOLUTIONS
Kit de mouvement à force élevée avec contrôle en boucle fermée (ctrlX MOTION)
AVANTAGES
- Composants pour une fermeture précise du moulage – sans hydraulique
- Maintenance facile – temps d’arrêt réduit
- Pression et position en boucle fermée – grande stabilité
- Profils de mouvement personnalisés – contrôle spécifique au produit
- Réduction du câblage – armoire plus propre
Test final
VOTRE FLUX DE VALEUR A BESOIN ...
- Indexation à grande vitesse
- Intégration avec les testeurs
- Positionnement répétable
- Mouvement propre et sécurité
- Capture de données
Catégorie de produit :
ENSEMBLE DE SOLUTIONS
ctrlX S-MOTION avec interface HMI modulaire et de vision
AVANTAGES
- Composants permettant une dynamique élevée et un mouvement de précision – pour des cycles de test rapides et des résultats précis
- Connectivité compatible MES – adaptée à l’usine numérique
- Matériel et logiciels de mouvement évolutifs – mises à jour faciles
- Intégration flexible avec les lignes de test existantes – réduction des dépenses en capital
Production de composants électroniques
Technologie de montage en surface (SMT)
Soudure
Inspection
Transport de puces
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Des solutions plus intelligentes pour la production de semi-conducteurs
Découvrez nos solutions avancées pour l’ensemble de la chaîne de processus des semi-conducteurs : des composants certifiés pour salles blanches pour la manipulation des plaquettes aux systèmes dynamiques pour les tests de puces. Cette vidéo de Semicon Europa 2025 présente nos dernières innovations.
Une évolutivité garantie
Confiance, rapidité et langue commune : voilà les avantages d’une collaboration avec notre équipe internationale d’experts. Implantés au cœur des pôles d’activité de l’industrie des semi-conducteurs, nous réunissons un large éventail de compétences. Au-delà d’une ingénierie de pointe, vous pouvez compter sur un niveau exceptionnel d’intégration verticale, ce qui rend nos produits insensibles aux problèmes de chaîne d’approvisionnement. Grâce à notre réseau international de production, nous sommes à vos côtés, où que vous soyez.
