Hungary Hungarian
Félvezetők és elektronika

Félvezetők és elektronika

AUTOMATIZÁLÁSI TECHNOLÓGIA A FÉLVEZETŐ- ÉS ELEKTRONIKAI IPAR SZÁMÁRA.

A félvezetőipar félvezetők és félvezető eszközök, például integrált áramkörök tervezésével és gyártásával foglalkozik.

A félvezető- és elektronikai gyártóiparnak nagyon speciális automatizálási igényei vannak. Ide tartoznak az olyan mechatronikai modulok, amelyekkel a félvezető lapka egyenletesen mozgatható, érintésmentesen továbbítható a folyamatkamrákon keresztül és nanométeres pontosságú pozicionálásról gondoskodnak.

Széles körű alkalmazási tapasztalataink alapján pontosan ismerjük az Ön kihívásait, és megfelelő megoldásokat tudunk nyújtani a kiváló teljesítmény biztosítása érdekében. Ügyfeleink a félvezető- és elektronikai ipar számára összeállított technológiai portfóliónk előnyeit élvezhetik.

WE MOVE.

Félvezető lapkák mozgatása

Félvezető lapkák mozgatása

A Bosch Rexroth félvezető lapkák mozgatására és kezelésére szolgáló megoldásai tökéletesen kiegyensúlyozzák a nagy dinamikájú szervohajtásokat, a nagy merevségű lineáris alrendszereket és a pneumatikus aktuátorokat – nagy merevséggel, túlfutás és holtjáték nélkül. Ez kevesebb üresjárati időt és szabványos anyagmozgatást tesz lehetővé a front-end műveletek során. A rezgéseket ezenkívül a mozgásvezérlő rendszerekben előredefiniált algoritmusok küszöbölik ki. A simább mozgássorozatok pedig magasabb rendű mozgásprofilokat és spline-függvényeket tesznek lehetővé.

Félvezetőlapka-fázisok

Félvezetőlapka-fázisok

Félvezetőlapka-fázisok (wafer stages) programunkat a nanométeres tartományon belüli nagy pontosságú mozgásvezérlésre terveztük. Ezért ideális a félvezető lapkák kiigazítására, pozicionálására és a minőségellenőrzési fázisban történő tesztelésre. Az MPC precíziós mozgásvezérlő rendszer nagy pontosságot garantál 1–5 nm-es felbontással, valamint lassú, egyenletes mozgást ≥ 50 nm/s sebességgel. Speciális szervomotorok és vasmentes lineáris és nyomatékmotorok növelik a dinamikus teljesítményt. A nagy pontosságú lineáris vezetők kiküszöbölik a vibrációt. Az automatizálási csomagot egy pneumatikus alrendszer egészíti ki. A magasabb rendű mozgásprofilok és spline-függvények egyenletesebb mozgássorozatokat eredményeznek.

Rugalmas szállítópálya-rendszer

Rugalmas szállítópálya-rendszer

A Rexroth FTS rugalmas szállítópálya-rendszer leegyszerűsítve és a legnehezebb körülmények között is képes egy külső, érintésmentes mozgatási rendszer feladatait ellátni. Kamrán kívül szerelt tekercsek biztosítják a hajtóerőt a tömítést nem igénylő mágneses hordozók számára. A külső rögzítés a rendelkezésre állást is növeli. Ez a lineáris mozgatástechnikai rendszer gyakorlatilag minden terhelési tényezőhöz, pontossági szinthez és mozgásprofilhoz alkalmas. A rendszer kivételes rugalmasságot biztosít, és lehetővé teszi, hogy az egyes hordozók különböző sebességgel mozogjanak előre és hátra.

Portál

Portál

A Bosch Rexroth portálrendszerek a síkképernyők és napelem-panelek esetében nagy pontosságú, csavarodásmentes pozicionálást biztosítanak. A portálautomatizálási rendszerek választéka széles méret- és terhelhetőségi tartományokba tartozó részegységeket tartalmaz. A mozgásvezérlő rendszer két tengely nagy dinamikájú, nagy pontosságú koordinációját biztosítja, mindegyik saját szabályozási hurokkal rendelkezik, mechanikus kapcsolat nélkül. A maximális kontúrpontosságot a Sercos-alapú valós idejű szinkronizálás biztosítja.

Regisztráció

Regisztráció

Szervomotoros meghajtások a jobb pontosság, sebesség és gépi kimenetek érdekében, elakadásmentes formátumváltásokkal. A nagy dinamikájú szervohajtások és a kompakt lineáris mozgatástechnika minimalizálja a formátumváltás közbeni adagolás idejét. A zökkenőmentes elektronikus átvitel és a regisztervezérlés lehetővé teszi a késedelem nélküli formátumváltásokat.

Többzónás szövetfeszültség-szabályozás

Többzónás szövetfeszültség-szabályozás

Stabilabb gyártási folyamat többszörös szövetfeszültség-szabályozási zónák révén. A korszerű átcsévélő gépek a stabil, megbízható gyártási folyamat garantálása érdekében különböző, a szövetfeszültséget szabályozó zónákat igényelnek. A Rexroth többzónás szövetfeszültség-szabályozás egy „szétkapcsolási” technikát alkalmaz, hogy megkönnyítse a több feszítési zóna használatát egy gépen belül.

Szövet puffer

Szövet puffer

Egy szövetszakasz rövid megállításától - mint ahogyan az ellenőrzések során történik - a folyamatos szövetszállításig az üzemben, a rövidebb átfutási idő és a termelékenység növelése érdekében.

Laminálási folyamat

Laminálási folyamat

A laminálás folyamata – több fóliaszerű réteg és egy alapanyag egyesítése – nagy sebességet és pontos, nagy felületre kiterjedő szövetfeszítést igényel. A nyílt rendszerarchitektúra lehetővé teszi a harmadik féltől származó részegységek egyszerű integrálását. A kompakt vezérlőszekrények csökkentik a gép beépítési helyigényét.

Lézeres eljárás

Lézeres eljárás

A Bosch Rexroth nagy teljesítményű, vezérlőalapú szabályozórendszerei lehetővé teszik a lézeres megmunkálási folyamatot a szüntelen szövettovábbítás során. Előnyt jelent a folyamatos szövettovábbítás, a gép nagyobb termelékenysége a gyorsabb átfutási idők révén, valamint az alacsonyabb költségek, mivel nincs szükség további vezérlőrendszerre, így szekrényre sem.

Bevonatképzés

Bevonatképzés

A részecskéktől mentes szubsztrátum szállításának biztosítása elengedhetetlen a bevonatképzés során, különösen, ha OLED megvilágítási alkalmazásokról van szó. E célból a Rexroth a lineáris mozgatásokhoz az FTS rugalmas szállítópálya-rendszert kínálja, amely nagy vákuumban is használható. Nem bocsát ki idegen részecskéket, ezáltal javítja a bevonatképzési folyamatok minőségét. A mágneses hordozók hajtásáról a kamrán kívülre szerelt tekercsek gondoskodnak. Nincs szükség tömítésekre, és a rendelkezésre állás is nő, mivel az összes elektromos alkatrész a kamrán kívül van felszerelve.

YOU WIN.

Energiát és erőforrásokat takarít meg

Energiát és erőforrásokat takarít meg

A műanyag elektronika az összehajtogatható vagy szerves kijelzők, az összetekercselhető táblagépek és a rugalmas alapanyagokra felhelyezett szerves napelemek, valamint a nyomtatott RFID chipek gyártását jelenti. A termékeket az újságokhoz hasonlóan nyomtatják, környezetbarát, erőforrás-kímélő, költségtakarékos módon, ami a mennyiségalapú gyártási technológiákkal kompatibilis. Ez a technológia a laboratóriumtól a gyárig terjed, és a lehetséges termékek teljesen új világát nyitja meg.

Konfigurálható

Konfigurálható

Az FTS rugalmas szállítópálya-rendszerrel a Bosch Rexroth új mércét állít fel a konfigurálhatóság terén: ebben a rendszerben az összes elektronikus alkatrész a folyamatkamrán kívül van felszerelve. Ez egy érintésmentes rendszert biztosít a félvezető lapkák mozgatásához a zárt folyamatkamrában. A rendszer könnyen karbantartható, ráadásul a vezérlőegység számos további mozgatási műveletet kínál a felhasználónak.

Ipari tapasztalat

Ipari tapasztalat

A Bosch Rexroth folyamatosan fedezi fel és támogatja a jövőbe mutató technológiákat és fejlesztéseket. A napenergia-ipar csak egy példa erre, és szilárd alapot biztosít a műanyag elektronika fejlődéséhez. Az ezen a területen felmerülő új feladatok megoldása két iparág alapos szaktudását igényli: a nyomdaiparét és az elektronikáét. A Bosch Rexroth sokéves értékes tapasztalatra tett szert mindkét alkalmazási környezetben, és ismeri az elektronikai iparban alkalmazott felületbevonási eljárásokat, valamint a nyomdaiparban alkalmazott hagyományos gyártási folyamatokat.

ESETTANULMÁNYOK

3D-Micromac AG

3D-MICROMAC AG A REXROTH AUTOMATIZÁLÁSI MEGOLDÁSÁRA TÁMASZKODIK

Nyomtatott elektronika: úton a tömeggyártás felé.

A rugalmas hordozókra nyomtatott elektronikus áramkörök néhány éven belül a mindennapi életünk részét fogják képezni. A németországi Chemnitzben működő 3D-Micromac AG csúcstechnológiai vállalat kifejlesztette a Microflex moduláris gyártósorát. A 3D-Micromac szorosan együttműködött a Rexrothtal a gépek automatizálása terén, ideértve a nagy pontosságú feszességszabályozással ellátott szövetszállítást is.

A nyomtatott elektronika gyártására szakosodott vállalat kifejlesztette a moduláris MicroFLEX rendszert. Az átcsévélési eljárás csökkenti az elektronikus áramkörök gyártási költségeit. A Rexroth a rotációs nyomdagépek automatizálása terén piacvezetőként szerzett sokéves tapasztalattal rendelkezik.

Szerviz

Pótalkatrészek

Pótalkatrészek

A Bosch Rexroth a gépek javításához, karbantartásához és korszerűsítéséhez széles körű szervizszolgáltatásokat kínál.

További információ
Javítás

Javítás

Gyors és megbízható javítás a költséges csere helyett – ennek köszönhetően a gép ismét működhet, és folytatódhat a termelés.

További információ
Helyszíni szerviz

Helyszíni szerviz

Segítségre van szüksége a helyszínen? A Bosch Rexroth helyszíni szervize támogatja Önt az üzemeltetés során.

További információ
Modernizáció

Modernizáció

A régiből újat, az újból pedig még újabbat csinálunk! Szakértelmünk alapján retrofit megoldásokat biztosítunk az Ön gépei számára, jelentősen meghosszabbítva azok élettartamát, és megőrizve termelékenységüket.

További információ