Félvezető lapkák mozgatása
A Bosch Rexroth félvezető lapkák mozgatására és kezelésére szolgáló megoldásai tökéletesen kiegyensúlyozzák a nagy dinamikájú szervohajtásokat, a nagy merevségű lineáris alrendszereket és a pneumatikus aktuátorokat – nagy merevséggel, túlfutás és holtjáték nélkül. Ez kevesebb üresjárati időt és szabványos anyagmozgatást tesz lehetővé a front-end műveletek során. A rezgéseket ezenkívül a mozgásvezérlő rendszerekben előredefiniált algoritmusok küszöbölik ki. A simább mozgássorozatok pedig magasabb rendű mozgásprofilokat és spline-függvényeket tesznek lehetővé.
Félvezetőlapka-fázisok
Félvezetőlapka-fázisok (wafer stages) programunkat a nanométeres tartományon belüli nagy pontosságú mozgásvezérlésre terveztük. Ezért ideális a félvezető lapkák kiigazítására, pozicionálására és a minőségellenőrzési fázisban történő tesztelésre. Az MPC precíziós mozgásvezérlő rendszer nagy pontosságot garantál 1–5 nm-es felbontással, valamint lassú, egyenletes mozgást ≥ 50 nm/s sebességgel. Speciális szervomotorok és vasmentes lineáris és nyomatékmotorok növelik a dinamikus teljesítményt. A nagy pontosságú lineáris vezetők kiküszöbölik a vibrációt. Az automatizálási csomagot egy pneumatikus alrendszer egészíti ki. A magasabb rendű mozgásprofilok és spline-függvények egyenletesebb mozgássorozatokat eredményeznek.
Rugalmas szállítópálya-rendszer
A Rexroth FTS rugalmas szállítópálya-rendszer leegyszerűsítve és a legnehezebb körülmények között is képes egy külső, érintésmentes mozgatási rendszer feladatait ellátni. Kamrán kívül szerelt tekercsek biztosítják a hajtóerőt a tömítést nem igénylő mágneses hordozók számára. A külső rögzítés a rendelkezésre állást is növeli. Ez a lineáris mozgatástechnikai rendszer gyakorlatilag minden terhelési tényezőhöz, pontossági szinthez és mozgásprofilhoz alkalmas. A rendszer kivételes rugalmasságot biztosít, és lehetővé teszi, hogy az egyes hordozók különböző sebességgel mozogjanak előre és hátra.
Portál
A Bosch Rexroth portálrendszerek a síkképernyők és napelem-panelek esetében nagy pontosságú, csavarodásmentes pozicionálást biztosítanak. A portálautomatizálási rendszerek választéka széles méret- és terhelhetőségi tartományokba tartozó részegységeket tartalmaz. A mozgásvezérlő rendszer két tengely nagy dinamikájú, nagy pontosságú koordinációját biztosítja, mindegyik saját szabályozási hurokkal rendelkezik, mechanikus kapcsolat nélkül. A maximális kontúrpontosságot a Sercos-alapú valós idejű szinkronizálás biztosítja.
Regisztráció
Szervomotoros meghajtások a jobb pontosság, sebesség és gépi kimenetek érdekében, elakadásmentes formátumváltásokkal. A nagy dinamikájú szervohajtások és a kompakt lineáris mozgatástechnika minimalizálja a formátumváltás közbeni adagolás idejét. A zökkenőmentes elektronikus átvitel és a regisztervezérlés lehetővé teszi a késedelem nélküli formátumváltásokat.
Többzónás szövetfeszültség-szabályozás
Stabilabb gyártási folyamat többszörös szövetfeszültség-szabályozási zónák révén. A korszerű átcsévélő gépek a stabil, megbízható gyártási folyamat garantálása érdekében különböző, a szövetfeszültséget szabályozó zónákat igényelnek. A Rexroth többzónás szövetfeszültség-szabályozás egy „szétkapcsolási” technikát alkalmaz, hogy megkönnyítse a több feszítési zóna használatát egy gépen belül.
Szövet puffer
Egy szövetszakasz rövid megállításától - mint ahogyan az ellenőrzések során történik - a folyamatos szövetszállításig az üzemben, a rövidebb átfutási idő és a termelékenység növelése érdekében.
Laminálási folyamat
A laminálás folyamata – több fóliaszerű réteg és egy alapanyag egyesítése – nagy sebességet és pontos, nagy felületre kiterjedő szövetfeszítést igényel. A nyílt rendszerarchitektúra lehetővé teszi a harmadik féltől származó részegységek egyszerű integrálását. A kompakt vezérlőszekrények csökkentik a gép beépítési helyigényét.
Lézeres eljárás
A Bosch Rexroth nagy teljesítményű, vezérlőalapú szabályozórendszerei lehetővé teszik a lézeres megmunkálási folyamatot a szüntelen szövettovábbítás során. Előnyt jelent a folyamatos szövettovábbítás, a gép nagyobb termelékenysége a gyorsabb átfutási idők révén, valamint az alacsonyabb költségek, mivel nincs szükség további vezérlőrendszerre, így szekrényre sem.
Bevonatképzés
A részecskéktől mentes szubsztrátum szállításának biztosítása elengedhetetlen a bevonatképzés során, különösen, ha OLED megvilágítási alkalmazásokról van szó. E célból a Rexroth a lineáris mozgatásokhoz az FTS rugalmas szállítópálya-rendszert kínálja, amely nagy vákuumban is használható. Nem bocsát ki idegen részecskéket, ezáltal javítja a bevonatképzési folyamatok minőségét. A mágneses hordozók hajtásáról a kamrán kívülre szerelt tekercsek gondoskodnak. Nincs szükség tömítésekre, és a rendelkezésre állás is nő, mivel az összes elektromos alkatrész a kamrán kívül van felszerelve.