Manipolazione di wafer
Le soluzioni Bosch Rexroth per la movimentazione e la lavorazione di wafer sono pensate per bilanciare alla perfezione servoazionamenti altamente dinamici, sottosistemi lineari ad alta rigidità e attuatori pneumatici – senza backlash o sovraelongazioni. Ciò consente minori tempi di inattività ed una movimentazione standardizzata attraverso le operazioni front-end. Inoltre algoritmi predefiniti nei sistemi Motion Control impediscono lo sviluppo di vibrazioni. Sequenze di movimento più fluido consentono funzioni spline e profili di movimento di ordine superiore.
Livelli di wafer
Il nostro programma di livelli di wafer è stato progettato per applicazioni motion control di alta precisione nell’ordine di nanometri. È quindi ideale per l’allineamento, il posizionamento e il collaudo dei wafer nella fase del controllo qualità. Il sistema precision motion control MPC garantisce alta precisione con una risoluzione di 1 - 5 nm oltre a movimento lento uniforme ≥ 50 nm/s. Speciali servomotori, motori lineari ironless e motori torque potenziano le prestazioni dinamiche. Le guide lineari di alta precisione eliminano le vibrazioni. L’aggiunta di un sottosistema pneumatico completa il pacchetto di automazione. Funzioni spline e profili di movimento di ordine superiore consentono sequenze di movimento più fluido.
Sistema di trasporto flessibile
In versione semplificata e in grado di operare in condizioni estreme, il sistema di trasporto flessibile FTS (Flexible Transport System) di Rexroth integra un sistema per il movimento senza contatto esterno. Le bobine montate esternamente alla camera forniscono la potenza di azionamento per i trasportatori magnetici che non richiedono dispositivi di tenuta. Il montaggio esterno contribuisce anche ad incrementare la disponibilità. Questa tecnologia di movimento lineare è adatta virtualmente a qualsiasi fattore di carico, livello di precisione e profilo di movimento. Grazie all’eccezionale flessibilità consentita dal sistema, i singoli trasportatori possono spostarsi avanti e indietro a varie velocità.
Portale
Per display a schermo piatto e pannelli solari, i sistemi a portale Bosch Rexroth offrono alta precisione di posizionamento senza torsioni. Questa gamma di sistemi di automazione a portale include componenti disponibili in numerose dimensioni e capacità di carico. Il Sistema Motion Control fornisce alta dinamica e precisione per il coordinamento dei due assi, ciascuno dei quali è abbinato ad un proprio loop di controllo, senza alcuna connessione meccanica. Inoltre la precisione di contornatura è assicurata dalla sincronizzazione in tempo reale basata su Sercos.
Registrazione
Servoazionamenti per aumentare precisione, velocità e rendimento della macchina con variazioni del formato senza soluzione di continuità. Servoazionamenti a dinamica elevata e tecnologia lineare compatta riducono i tempi di inserimento durante le variazioni del formato. Trasmissione continua di dati elettronici e controllo della registrazione consentono variazioni del formato senza ritardi.
Controllo di tensione multizona
Consentire processi di produzione più stabili agevolando zone multiple di controllo tensione. Le moderne macchine roll-to-roll richiedono diverse zone per il controllo di tensione per assicurare uno stabile e affidabile processo di produzione. Il controllo di tensione multizone Rexroth usa una tecnica di disaccoppiamento per facilitare le molteplici zone di tensione in un macchina.
Buffer
Dal breve arresto di una sezione del web, come accade per interventi di verifica, al trasporto continuo su nastro nell’impianto, fino all’aumento di produttività grazie a ridotti tempi ciclo.
Processo di laminazione
Il processo di laminazione – unione di più strati tipo pellicola con un materiale base – richiede alta velocità di scorrimento e una tensione precisa del nastro in un’ampia zona. L’architettura di sistema aperta permette la facile integrazione di componenti di terzi. I compatti armadietti di comando riducono la superficie di installazione della macchina.
Lavorazione laser
I sistemi di controllo ad alte prestazioni basati su controller Bosch Rexroth rendono possibile la lavorazione laser durante il trasporto continuo su nastro. Trasporto continuo su nastro nella macchina, maggiore produttività della macchina grazie a tempi ciclo ridotti e costi inferiori senza necessità di pannelli di comando, in quanto non servono ulteriori sistemi di controllo.
Processo di coating
Assicurare l'assenza di particolato per il substrato in fase di trasporto è un aspetto essenziale del processo di coating, in particolare per applicazioni di illuminazione OLED. A tal fine Rexroth mette a disposizione il sistema di trasporto flessibile FTS (Flexible Transport System) per movimenti di traslazione lineare utilizzabili in condizioni di vuoto. Non sviluppa né rilascia particelle estranee, migliorando così la qualità dei processi di rivestimento. Le bobine montate esternamente alla camera forniscono la potenza di azionamento per i trasportatori magnetici. La maggiore disponibilità è favorita anche dall’assenza di dispositivi di tenuta, in quanto non necessari, e dall’installazione dei componenti elettrici all’esterno della camera.
