Προϊόντα εστίασης:
Επιτάχυνση της μηχανικής ημιαγωγών και της αυτοματοποίησης
Καλώς ήρθατε στον έμπειρο συνεργάτη μηχανικής και αυτοματισμού σας για τη μηχατρονική και τον έλεγχο κίνησης. Σας υποστηρίζουμε με μηχανική υψηλής ταχύτητας και έτοιμες προς χρήση λύσεις σε ολόκληρη της ροή αξίας ημιαγωγών και ηλεκτρονικών.
Ρεκόρ 20+ ετών σε συνδυασμό με γρήγορη απόκριση
Αύξηση ταχύτητας από το εργαστήριο στην παραγωγή – με στενή συνεργασία ήδη από το πρώτο πρωτότυπο.Ξεκλειδώστε την απλότητα με έτοιμα προς χρήση μηχανοτρονικά υποσυστήματα και έλεγχο κίνησης ακριβείας που έχουν σχεδιαστεί για την εφαρμογή σας. Όλα αυτά ταιριάζουν εύκολα και απρόσκοπτα στο σχεδιασμό του μηχανήματός σας.Δυνατότητα κλιμάκωσης προτύπου με την αντιγραφή-ακριβή κατασκευή. Αξιοποιήστε τη βιωσιμότητα και τη μακροζωία με τα εσωτερικά ποιοτικά συστατικά μας. Και για οποιαδήποτε υποστήριξη, οι εξειδικευμένες ομάδες μηχανικών μας είναι πάντα κοντά σας.
Προσκήνιο
Μεταφορά δισκίων OHT
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Δομή πλαισίου
- Χωρητικότητα φορτίου
- Διασύνδεση σε OHT
- Ασφάλεια & ζητήματα σχετικά με το καθαρό δωμάτιο
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΤΟΙΧΕΙΑ
Σχεδιαγράμματα δοκών στέγης αργιλίου αποστειρωμένων δωματίων και συνδέοντας στοιχεία
ΟΦΕΛΗ
- Ανοδιωμένο αλουμίνιο για μείωση της παραγωγής σωματιδίων
- Καλύψτε τις ανοιχτές υποδοχές T με καλύμματα υποδοχών για συμμόρφωση με τις απαιτήσεις αποστειρωμένων δωματίων
- Συμβατότητα με περιβάλλοντα ISO Class 3–4
-
Στηρίγματα και σύνδεσμοι στερέωσης
(Μ8 ανοξείδωτο ή ισχυρότερο) αντιστέκεται στη δόνηση
Καθαρισμός δισκίων – Σύστημα χειρισμού δισκίων για τον καθαρισμό της παρτίδας δισκίων
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Κίνημα δισκίουχωρίς παφλασμό
- Ελαχιστοποιημένη μόλυνση σωματιδίων
Κατηγορία προϊόντος:
ΥΠΟΣΥΓΚΡΟΤΗΜΑ
Χειρισμός δισκίου παρτίδας:
Απρόσκοπτη, ακριβής μεταφορά των σκαφών δισκίων μέσω κάθε σταδίου της διαδικασίας υγρού καθαρισμού
ΟΦΕΛΗ
-
Μηχανική ακριβείας
Ο έλεγχος κίνησης πολλαπλών αξόνων και η ανύψωση με περιορισμό χτυπήματος επιτρέπουν εξαιρετικά ακριβή χειρισμό δισκίων. Εξασφαλίζει επαναλαμβανόμενη, ομαλή κίνηση για ελάχιστη μηχανική καταπόνηση. -
Υψηλή διεκπεραιωτική ικανότητα & Αποδοτικότητα
Βελτιστοποιημένο για συνεχείς, γρήγορες μεταφορές δισκίων χωρίς συμβιβασμούς στην ασφάλεια ή την ακρίβεια. Αυξάνει την παραγωγικότητα, διατηρώντας παράλληλα σταθερή ποιότητα διεργασιών. -
Απαλή & Χειρισμός χωρίς πιτσιλιές
Σχεδιασμένος για να ελαχιστοποιήσει τη μηχανική και χημική πίεση στους δίσκους. Εξασφαλίζει την ακεραιότητα των ευαίσθητων επιφανειών δισκίων κατά τη διάρκεια της υγρής επεξεργασίας.
Δελτίο πληροφοριών: Σύστημα χειρισμού δισκίων για τον καθαρισμό της παρτίδας δισκίων
Καθαρισμός δισκίων - Σύστημα χειρισμού δισκίων για τον ενιαίο καθαρισμό δισκίων
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Συμβατότητα με όλες τις μεγάλες πλατφόρμες CMP και μετρολογίας
- Συμμόρφωση με SEMI E84/E87
Κατηγορία προϊόντος:
ΥΠΟΣΥΓΚΡΟΤΗΜΑ
Ενιαίος χειρισμός δισκίων:
Λύση μεταφοράς δισκίων υψηλής ακρίβειας για τον ενιαίο καθαρισμό δισκίων μεταξύ CMP & διεργασία επόμενου σταδίου
ΟΦΕΛΗ
-
Μεταφορά υψηλής ακρίβειας
Εξασφαλίζει την ακριβή και σταθερή μετακίνηση δισκίων μεταξύ της ΔΕΑ και των προς τα κάτω διαδικασιών. Ελαχιστοποιεί την κακή ευθυγράμμιση των δισκίων και τα σφάλματα χειρισμού. -
Ομαλή ενοποίηση CMP
Ειδικά σχεδιασμένος για τη μεταφορά μεταξύ του εξοπλισμού και των επακόλουθων σταθμών καθαρισμού ή επεξεργασίας. -
Υψηλή διεκπεραιωτική ικανότητα & Αποδοτικότητα
Βελτιστοποιημένο για γρήγορη μεταφορά δισκίων χωρίς συμβιβασμούς στην ακρίβεια. Ενισχύει τη συνολική απόδοση της διαδικασίας και την αποδοτικότητα της παραγωγής.
Δελτίο πληροφοριών: Σύστημα χειρισμού δισκίων για τον ενιαίο καθαρισμό δισκίων
Απόθεση
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
-
Έλεγχος καθαριότητας και μόλυνσης:
ISO 5 καθαρό δωμάτιο στο ελάχιστο. Χωρίς λιπαντικά που προκαλούν αέρια ή δημιουργούν σωματίδια – συχνά ξηρά ρουλεμάν ή συμβατά με κενό γράσα -
Συμβατότητα θερμοκρασίας και υλικού:
Ανοχή σε θερμοκρασίες διεργασίας (έως ~450 °C για CVD, υψηλότερες για ορισμένα PVD) χωρίς παραμόρφωση
Κατηγορία προϊόντος:
ΥΠΟΣΥΓΚΡΟΤΗΜΑ
Ανελκυστήρας καρφιτσών δισκίων:
Το σύστημα χειρισμού δισκίων μας για την απόθεση εγγυάται τις ακριβείς λειτουργίες ανελκυστήρων και θέσης
ΟΦΕΛΗ
-
Ακριβής ανύψωση δισκίων & Υποστήριξη
Εξασφαλίζει την ακριβή ανύψωση και το χαμήλωμα των δισκίων κατά τη διάρκεια της απόθεσης, αποτρέποντας την επαφή επιφάνειας που θα μπορούσε να βλάψει τις λεπτές ταινίες. -
Κενό & Συμβατότητα καθαρού δωματίου
Κατασκευασμένος από τα εξαιρετικά καθαρά, χαμηλής εξάτμισης υλικά για να καλύψει τις αυστηρές απαιτήσεις κενών και καθαρών δωματίων -
Σταθερή, επαναλαμβανόμενη τοποθέτηση
Παρέχει επαναληψιμότητα επιπέδου μικρομέτρου για τη διατήρηση ομοιόμορφου πάχους φιλμ και ακριβούς ευθυγράμμισης διεργασίας
Χάραξη – σύστημα χειρισμού δισκίων για τη φόρτωση σε μονάδα χάραξης
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Αξιόπιστη, χωρίς επιμολύνσεις μεταφορά γκοφρετών στα κρίσιμα περιβάλλοντα χάραξης
- Ακριβής ευθυγράμμιση, ασφαλής τοποθέτηση και ομαλή αποσύνδεση μεταξύ κασετών, FOUP και αιθουσών χαρακτικής
Κατηγορία προϊόντος:
ΥΠΟΣΥΓΚΡΟΤΗΜΑ
Παράδοση της εξαιρετικά αξιόπιστης, χωρίς μόλυνση μεταφοράς γκοφρετών στα κρίσιμα περιβάλλοντα χαρακτικής
ΟΦΕΛΗ
-
Στοίχιση ακριβείας & Τοποθέτηση
Εξασφαλίζει ακριβή κεντράρισμα και προσανατολισμό γκοφρετών για αξιόπιστη μεταφορά σε θαλάμους χαρακτικής. -
Ομαλή ενοποίηση αυτοματισμού
Πλήρως συμβατό με ρομποτικούς βραχίονες, φορτωτές FOUP και συστήματα αυτοματισμού εργοστασίων (FA) για λειτουργία υψηλής απόδοσης. -
Ανθεκτικότητα υψηλού κύκλου
Κατασκευασμένο για συνεχή λειτουργία 24/7 με αποδεδειγμένη μηχανική μακροζωία και ελάχιστες απαιτήσεις συντήρησης.
Δελτίο πληροφοριών: Σύστημα διαχείρισης δισκίων για φόρτωση σε μονάδα χάραξης
Χάραξη – Σύστημα διαχείρισης δισκίων για υγρή μονάδα χάραξης
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Καταλληλότητα για τον καθαρισμό πριν και μετά τη χάραξη
- Υψηλής ποιότητας αφαίρεση σωματιδίων και υπολειμμάτων
- Ελαχιστοποιημένη χημική κατανάλωση και τάση δισκίων
Κατηγορία προϊόντος:
ΥΠΟΣΥΓΚΡΟΤΗΜΑ
Τελευταίας τεχνολογίας σύστημα καθαρισμού μονού δίσκου για υγρή επεξεργασία ακριβείας στην κατασκευή ημιτόνων
ΟΦΕΛΗ
-
Ακρίβεια θέσης επιπέδου μικρών
Ο ακριβής έλεγχος ύψους ανελκυστήρων εξασφαλίζει σωστή ευθυγράμμιση με τα ακροφύσια ψεκασμού, βύθισης ή διανομής. -
Παραγωγή εξαιρετικά χαμηλών σωματιδίων
Καθαρή, επαφή-βελτιστοποιημένη μηχανική για να ελαχιστοποιήσει τη μόλυνση κατά τη διάρκεια της διαβρωτικής υγρής επεξεργασίας. -
Η αυτοματοποίηση είναι έτοιμη
Ενσωματώνεται άψογα με τα συστήματα διαχείρισης βρεγμένου πάγκου και τις ρομποτικές μονάδες μεταφοράς.
Δελτίο πληροφοριών: Σύστημα χειρισμού δισκίων για υγρή χάραξη
CMP
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
-
Απαλό χειρισμό:
Ομαλά σχεδιαγράμματα επιτάχυνσης για να αποτρέψει την ολίσθηση ή τη θραύση δισκίων -
Καθαρό περιβάλλον:
Αντιστατικό σχέδιο για να μειώσει την έλξη μορίων -
Ακριβή τοποθέτηση:
Στοίχιση πλακιδίων ακριβώς στη θύρα εισόδου του επόμενου εργαλείου -
Ενοποίηση:
Επικοινωνία με τις θύρες φόρτωσης και τον εργοστασιακό αυτοματισμό και των δύο εργαλείων
Κατηγορία προϊόντος:
ΥΠΟΣΥΓΚΡΟΤΗΜΑ
Στίλβωση μονάδων περιστροφής:
Σύστημα για εξαιρετικά ακριβή χειρισμό δισκίων κατά τη διάρκεια του χημικού μηχανικού πλανισμού
ΟΦΕΛΗ
-
Σταθερός περιστροφικός έλεγχος
Κατασκευασμένος για την ομαλή, δόνηση-ελεύθερη κίνηση περιστροφής για να επιτύχει τις ατέλειες-ελεύθερες επίπεδες επιφάνειες. -
Χημικός & Ανθεκτικός στην κοπριά
Υλικά που κατασκευάζονται με τα αντιδιαβρωτικά συστατικά για να αντισταθούν τις λειαντικές πολτοί και τις επιθετικές χημικές ουσίες. -
Ομαλή ενσωμάτωση εργαλείων
Πλήρως συμβατό με αυτοματοποιημένες πλατφόρμες χειρισμού δισκίων και αυτοματοποίησης διεργασιών CMP.
Επιθεώρηση δισκίων & Δοκιμή
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Ακρίβεια
- Ταχύτητα και χρόνος κύκλων
- Έλεγχος καθαριότητας και μόλυνσης
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΥΝΟΛΟ ΛΥΣΕΩΝ
Επιθεώρηση δισκίων & δοκιμή με ctrlX MOTION και γραμμικά συστήματα
ΟΦΕΛΗ
-
Ευθραυστότητα και επιπεδότητα των γραμμικών ραγών:
≤ 1 μm/100 mm -
Επαναληψιμότητα τοποθέτησης:
≤ ±0.5 μm (X/Y), ≤ ±1 μrad (περιστροφή) - Συντονισμένη κίνηση πολλαπλών αξόνων με προφίλ περιορισμένης κίνησης για ομαλές, γρήγορες κινήσεις
- Έλεγχος κίνησης κλειστού βρόγχου με προγραμματισμό τροχιάς για άξονες X/Y/Z/θ
- Ενσωμάτωση με SECS/GEM
Παρασκήνιο
Πίσω-λείανση γκοφρετών
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Γραμμική τοποθέτηση υπομικρών
- Συμμόρφωση με το Cleanroom
- Υψηλή ακαμψία, απόσβεση δόνησης
- Συγχρονισμό ατράκτου
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΥΝΟΛΟ ΛΥΣΕΩΝ
CtrlX MOTION με γραμμικούς άξονες και ενσωματωμένο διαγνωστικό έλεγχο
ΟΦΕΛΗ
- Δίσκοι με χαμηλή ανάδραση – υψηλή ποιότητα επιφάνειας
- Υψηλή επαναληψιμότητα – λιγότερες απορρίψεις
- Κλιμακούμενο σύστημα ελέγχου – ταιριάζει σε οποιοδήποτε μέγεθος
- Ενσωματωμένοι διαγνωστικοί έλεγχοι – μειωμένη συντήρηση
- Προκαθορισμένα προφίλ κίνησης – γρήγορη θέση σε λειτουργία
Κοπή δίσκου
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Υψηλής ταχύτητας, κίνηση XY χωρίς σπασμωδικές κινήσεις
- Διόρθωση διαδρομής βάσει όρασης
- Επαναληψιμότητα υπομικρών
- Κατηγορία καθαριστηρίου 5-6
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΥΝΟΛΟ ΛΥΣΕΩΝ
Λύση κίνησης με έλεγχο XYZ χρησιμοποιώντας ctrlX CORE
ΟΦΕΛΗ
- Εντοπισμός θέσης υψηλής ταχύτητας – ταχύτερες περικοπές
- Σταθερή κίνηση – ακριβής μετακίνηση λεπίδων
- Συμπαγείς μονάδες – με δυνατότητα καθαρισμού δωματίου
- Ανοικτές διεπαφές αυτοματισμού – εύκολη σύνδεση PLC/HMI
- Εργαλείο διαγνωστικών ελέγχων – γρήγορη αντιμετώπιση προβλημάτων
- Μονάδες δίσκου που εξοικονομούν ενέργεια – χαμηλότερο κόστος
Δοκιμή chip
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
-
Μετακίνηση σταδίου:
Επαναληψιμότητα, συγχρονισμό με οπτικά/αισθητήρες, θερμική αντιστάθμιση -
Κίνημα Τσακ:
Ομαλή επιτάχυνση / επιβράδυνση, ακρίβεια τοποθέτησης (XYZ) -
Ενεργό στάδιο αφαίρεσης δισκίων:
Ακριβής μετακίνηση, επανάληψη, ακριβής προσδιορισμός θέσης
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΥΝΟΛΟ ΛΥΣΕΩΝ
Λύσεις κίνησης stage και chuck με ctrlX MOTION, μονάδες δίσκου & έλεγχοι και γραμμικά συστήματα
ΟΦΕΛΗ
- Ακριβής ευθυγράμμιση δισκίων με τα οπτικά επιθεώρησης
- Αποτρέπει την ολίσθηση ή τη δόνηση δισκίων
- Σταθερή κίνηση με την πάροδο του χρόνου – σταθερότητα διεργασίας σε όλο το εύρος θερμοκρασίας
- Ακρίβεια υπονανομέτρου για την ανίχνευση ελαττωμάτων
- Ακριβής ενεργοποίηση καμερών ή αισθητήρων κατά την κίνηση
Συγκόλληση chip
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Επαναληψιμότητα
- Υψηλή ακρίβεια προσδιορισμού θέσης
- Θερμική αντιστάθμιση & διόρθωση μετατόπισης
- Συγχρονισμός με τα οπτικά/τους αισθητήρες επιθεώρησης
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΥΝΟΛΟ ΛΥΣΕΩΝ
Βασική λύση κίνησης συγκόλλησης (κίνηση CtrlX) + ολοκλήρωση βρόχου δύναμης
ΟΦΕΛΗ
- Εξαρτήματα με ακριβή έλεγχο Ζ-δύναμης για υψηλή ποιότητα συγκόλλησης
- Ενσωμάτωση EtherCAT για απρόσκοπτη επικοινωνία
- Σύνολο λύσεων με προσαρμόσιμο HMI & λογική ελέγχου – λιγότερα σφάλματα, ασφαλής χρήση
- Ανατροφοδότηση σε πραγματικό χρόνο – μειωμένα απορρίμματα
- Ευέλικτη ενοποίηση συστημάτων
Μορφοποίηση chip
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Έλεγχο δύναμης/θέσης Τύπου φορμών
- Άκαμπτους, θερμικά σταθερούς άξονες
- Σφράγιση διεργασιών & καθαριότητα
- Ενεργοποίηση παράλληλου άξονα
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΥΝΟΛΟ ΛΥΣΕΩΝ
Κιτ κίνησης υψηλής δύναμης με έλεγχο κλειστού βρόχου (ctrlX MOTION)
ΟΦΕΛΗ
- Εξαρτήματα για την ακριβή περάτωση φορμών – χωρίς υδραυλικά συστήματα
- Εύκολη συντήρηση – χαμηλός χρόνος εκτός λειτουργίας
- Πίεση και θέση κλειστού βρόχου – υψηλή σταθερότητα
- Προσαρμοσμένα προφίλ κίνησης – έλεγχος ειδικά για το προϊόν
- Μειωμένη καλωδίωση – καθαρότερο ντουλάπι
Τελική δοκιμή
Η ΡΟΗ ΑΞΙΑΣ ΣΑΣ ΧΡΕΙΑΖΕΤΑΙ...
- Κατηγοριοποίηση υψηλής ταχύτητας
- Ενσωμάτωση με δοκιμαστές
- Επαναλαμβανόμενη τοποθέτηση
- Καθαρή κίνηση και ασφάλεια
- Καταγραφή δεδομένων
Κατηγορία προϊόντος:
ΣΥΝΟΛΟ ΛΥΣΕΩΝ
CtrlX S-MOTION με αρθρωτό HMI και οπτική διασύνδεση
ΟΦΕΛΗ
- Εξαρτήματα που επιτρέπουν κίνηση υψηλής δυναμικής και ακριβείας – για γρήγορους κύκλους δοκιμών και ακριβή αποτελέσματα
- Συνδεσιμότητα έτοιμη για MES – ψηφιακή εργοστασιακή προσαρμογή
- Κλιμακούμενο υλικό και λογισμικό κίνησης – εύκολες ενημερώσεις
- Ευέλικτη ενσωμάτωση με υπάρχουσες γραμμές δοκιμής – μειωμένη CAPEX
Παραγωγή ηλεκτρονικών
Τεχνολογία Surface Mount (SMT)
Συγκόλληση
Επιθεώρηση
Μεταφορά chip
Βρείτε τη σωστή λύση αυτοματοποίησης για την πρόκλησή σας
Εξερευνήστε τον κατάλογο εφαρμογών της Bosch Rexroth: μια δυναμική συλλογή από πραγματικές εφαρμογές αυτοματισμού, σε συνδυασμό με τα κατάλληλα προϊόντα, εργαλεία και έμπειρους συνεργάτες. Από τον εντοπισμό της ιδανικής λύσης για την πρόκληση σας έως την επιτάχυνση της υλοποίησης με επικυρωμένα πρότυπα, ο κατάλογος σάς καθοδηγεί από την ιδέα στην εκτέλεση.
Πιο έξυπνες λύσεις για παραγωγή ημιαγωγών
Εξερευνήστε τις προηγμένες λύσεις μας για ολόκληρη την αλυσίδα διεργασιών ημιαγωγών, από εξαρτήματα πιστοποιημένα με καθαρό χώρο για χειρισμό δισκίων έως δυναμικά συστήματα για δοκιμή τσιπ. Αυτό το βίντεο από το Semicon Europa 2025 παρουσιάζει τις τελευταίες καινοτομίες μας.
Κατασκευασμένα για δυνατότητα κλιμάκωσης
Εμπιστοσύνη, ταχύτητα και μια κοινή γλώσσα – αυτά είναι τα πλεονεκτήματα της συνεργασίας με την παγκόσμια ομάδα εμπειρογνωμόνων μας. Στην καρδιά των hotspots της βιομηχανίας ημιαγωγών, συγκεντρώνουμε ένα ευρύ φάσμα τεχνογνωσίας. Πέρα από την κορυφαία μηχανική, μπορείτε να βασιστείτε σε ένα εξαιρετικά υψηλό επίπεδο κάθετης ολοκλήρωσης, το οποίο καθιστά τα προϊόντα μας ανεξάρτητα από τα ζητήματα της αλυσίδας εφοδιασμού. Με το παγκόσμιο δίκτυο κατασκευής μας, είμαστε εκεί που είστε.
