Foco nos produtos:
Acelere a engenharia e a automação de semicondutores
Damos as boas-vindas ao seu experiente parceiro de engenharia e automação para mecatrônica e Motion Control. Oferecemos suporte com engenharia de alta velocidade e soluções prontas para uso em toda a cadeia de valor de semicondutores e eletrônicos.
Um histórico de mais de 20 anos aliado a uma alta capacidade de resposta
Ganhe velocidade do laboratório à fábrica — com estreita colaboração desde o primeiro protótipo. Descubra a simplicidade com subconjuntos mecatrônicos prontos para uso e Motion Control de precisão projetado para sua aplicação. Todos eles se encaixam fácil e perfeitamente no design da sua máquina. Domine a escalabilidade com manufatura replicável. Maximize a sustentabilidade e a longevidade com nossos componentes de qualidade internos. E para qualquer suporte, nossas equipes de engenharia especializadas estão sempre perto de você.
Front-end
Transporte de discos OHT
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Estrutura do quadro
- Capacidade de carga
- Interface com OHT
- Segurança e considerações sobre salas limpas
Categoria do produto:
COMPONENTES
Perfis estruturais de alumínio e elementos de conexão para salas limpas
BENEFÍCIOS
- Alumínio anodizado para reduzir a geração de partículas
- Cobrir compartimentos em T abertos com tampas de compartimentos para conformidade com salas limpas
- Compatibilidade com ambientes ISO Classe 3–4
-
Suportes de montagem e fixadores
(M8 inoxidável ou mais forte) resistente à vibração
Limpeza de discos — Sistema de manuseio de discos para limpeza de lotes de discos
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Movimento de discos sem respingos
- Contaminação por partículas minimizada
Categoria do produto:
SUBCONJUNTO
Manuseio de discos em lotes:
Transporte contínuo e preciso dos suportes de discos ao longo de todas as fases do processo de limpeza úmida
BENEFÍCIOS
-
Engenharia de precisão
O Motion Control de vários eixos e as elevações com limitações de solavancos permitem um manuseio de discos altamente preciso. Garante um movimento suave e repetível para uma tensão mecânica mínima. -
Alta taxa de rendimento e eficiência
Otimizado para transferências rápidas e contínuas de discos sem comprometer a segurança ou a precisão. Aumenta a produtividade e, ao mesmo tempo, mantém a qualidade consistente do processo. -
Manuseio suave e sem respingos
Projetado para minimizar o estresse mecânico e químico em discos. Garante a integridade das superfícies de discos sensíveis durante o processamento úmido.
Ficha técnica: Sistema de manuseio de discos para limpeza de lotes de discos
Limpeza de discos — Sistema de manuseio de discos para limpeza de discos isolados
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Compatibilidade com todas as principais plataformas de CMP e metrologia
- Conformidade com SEMI E84/E87
Categoria do produto:
SUBCONJUNTO
Manuseio de discos isolados:
Solução de transporte de discos de alta precisão para a limpeza de discos isolados entre os processos CMP e downstream
BENEFÍCIOS
-
Transporte de alta precisão
Garante um movimento de discos preciso e estável entre os processos CMP e downstream. Minimiza erros de alinhamento e manipulação de discos. -
Integração perfeita com CMP
Concebidos especificamente para transferência entre equipamentos CMP e estações de limpeza ou processamento subsequentes. -
Alta taxa de rendimento e eficiência
Otimizado para transporte rápido de discos sem comprometer a precisão. Melhora o rendimento geral do processo e a eficiência da produção.
Ficha técnica: Sistema de manuseio de discos para limpeza de discos isolados
Deposição
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
-
Limpeza e controle da contaminação:
Sala limpa com classificação mínima ISO 5. Sem lubrificantes que eliminam gases ou criam partículas — geralmente rolamentos secos ou graxas compatíveis com vácuo -
Temperatura e compatibilidade do material:
Tolerância a temperaturas de processo (até ~450 °C para CVD, maior para alguns PVD) sem deformação
Categoria do produto:
SUBCONJUNTO
Pinos de elevação de discos:
Nosso sistema de manuseio de discos para deposição garante funções precisas de elevação e posicionamento
BENEFÍCIOS
-
Elevação precisa de discos e suporte
Garante levantamento e abaixamento precisos de discos durante a deposição, evitando o contato superficial que poderia danificar filmes delicados. -
Compatibilidade com vácuo e sala limpa
Construído a partir de materiais ultralimpos e com baixa emissão de gases para atender aos rigorosos requisitos de vácuo e sala limpa -
Posicionamento estável e repetível
Oferece repetibilidade em nível de micrômetro para manter a espessura uniforme do filme e o alinhamento preciso do processo
Gravação — Sistema de manuseio de discos para carregamento em gravação
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Transferência de discos confiável e sem contaminação para ambientes críticos de gravação
- Alinhamento preciso, posicionamento seguro e separação suave entre cassetes, FOUP e câmaras de gravação
Categoria do produto:
SUBCONJUNTO
Entrega de transferência de discos ultraconfiável e sem contaminação em ambientes críticos de gravação
BENEFÍCIOS
-
Alinhamento e posicionamento de precisão
Garantia de centralização e orientação precisas da discos para transferência confiável em câmaras de gravação. -
Integração perfeita da automação
Totalmente compatível com braços robóticos, carregadores FOUP e sistemas de automação de fábrica (AF) para operação de alta taxa de rendimento. -
Alta durabilidade de ciclo
Projetado para operação contínua 24 horas por dia, 7 dias por semana, com longevidade mecânica comprovada e requisitos mínimos de manutenção.
Ficha técnica: Sistema de manuseio de discos para carregamento em gravação
Gravação — Sistema de manuseio de discos para gravação úmida
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Adequação para limpeza pré e pós-gravação
- Remoção de alta qualidade de partículas e resíduos
- Consumo de produtos químicos e estresse do disco minimizados
Categoria do produto:
SUBCONJUNTO
Sistema de limpeza de última geração para discos isolados no processamento úmido de precisão na manufatura de semicondutores
BENEFÍCIOS
-
Precisão de posicionamento em nível micrométrico
O controle preciso da altura de elevação garante um alinhamento adequado com bicos de pulverização, imersão ou distribuição. -
Geração ultrabaixa de partículas
Mecânica limpa e otimizada para contato para minimizar a contaminação durante o processamento úmido corrosivo. -
Pronto para automação
Integra-se perfeitamente com sistemas de manuseio de bancada úmidos e módulos de transferência robóticos.
Ficha técnica: Sistema de manuseio de discos para gravação úmida
CMP
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
-
Manuseio suave:
Perfis de aceleração suave para evitar o deslizamento ou a quebra de discos -
Ambiente limpo:
Design antiestático para reduzir a atração de partículas -
Posicionamento preciso:
Alinhe os discos exatamente na porta de entrada da próxima ferramenta -
Integração:
Comunicação com as portas de carregamento e a automação de fábrica de ambas as ferramentas
Categoria do produto:
SUBCONJUNTO
Polimento da unidade de rotação:
Sistema para manuseio ultrapreciso de discos durante a planarização químico-mecânica
BENEFÍCIOS
-
Controle rotacional estável
Projetado para um movimento de rotação suave e sem vibrações para obter superfícies planas sem defeitos. -
Resistente a produtos químicos e polpa
Materiais construídos com componentes resistentes à corrosão para suportar polpa abrasiva e produtos químicos CMP agressivos. -
Integração contínua de ferramentas
Totalmente compatível com o tratamento automatizado de discos e plataformas de automação de processo CMP.
Inspeção e teste de discos
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Precisão e exatidão
- Rendimento e tempo de ciclo
- Limpeza e controle da contaminação
Categoria do produto:
CONJUNTO DE SOLUÇÕES
Inspeção e teste de discos com ctrlX MOTION e sistemas lineares
BENEFÍCIOS
-
Retidão e planicidade dos trilhos lineares:
≤ 1 µm/100 mm -
Repetibilidade de posicionamento:
≤ ±0,5 µm (X/Y), ≤ ±1 µrad (rotação) - Movimento coordenado de vários eixos com perfis com limitações de solavancos para movimentos suaves e rápidos
- Motion Control de loop fechado com planejamento de trajetória para os eixos X/Y/Z/θ
- Integração com SECS/GEM
Back-end
Moagem traseira de discos
—
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Posicionamento linear de submicrométrico
- Conformidade com salas limpas
- Alta rigidez, amortecimento de vibração
- Sincronização do mandril
Categoria do produto:
CONJUNTO DE SOLUÇÕES
ctrlX MOTION com eixos lineares e diagnóstico integrado
BENEFÍCIOS
- Acionamentos com baixa folga — alta qualidade de superfície
- Alta repetibilidade — menos rejeições
- Sistema de controle escalável — para qualquer tamanho
- Diagnóstico integrado — manutenção reduzida
- Perfis de movimento predefinidos — comissionamento rápido
Corte de discos
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Movimento XY de alta velocidade e sem reação
- Correção de trajeto baseada na visão
- Repetibilidade submicrométrica
- Sala limpa classe 5-6
Categoria do produto:
CONJUNTO DE SOLUÇÕES
Solução de movimento com controle XYZ usando ctrlX CORE
BENEFÍCIOS
- Posicionamento de alta velocidade — cortes mais rápidos
- Movimento estável — movimento preciso da lâmina
- Módulos compactos — pronto para ambientes limpos
- Interfaces de automação abertas — link fácil CLP/IHM
- Ferramenta de diagnóstico — solução rápida de problemas
- Acionamentos com uso eficiente de energia — custos mais baixos
Teste de chips
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
-
Movimento do estágio:
Repetibilidade; sincronização com sistemas ópticos/sensores, compensação térmica -
Movimento do mandril:
Aceleração/desaceleração suave, precisão de posicionamento (XYZ) -
Estágio de disco com amortecimento ativo:
Movimento preciso, repetibilidade, posicionamento preciso
Categoria de produto:
CONJUNTO DE SOLUÇÕES
Soluções de movimento de estágio e mandril com ctrlX MOTION, acionamentos e controles e sistemas lineares
BENEFÍCIOS
- Alinhamento preciso de discos com óptica de inspeção
- Evita o deslizamento ou a vibração dos discos
- Movimento consistente ao longo do tempo — estabilidade do processo em toda a faixa de temperatura
- Precisão subnanométrica para detecção de defeitos
- Acionamento preciso de câmeras ou sensores durante o movimento
Fixação de chips
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Repetibilidade
- Alta precisão de posicionamento
- Compensação térmica e correção de desvios
- Sincronização com sistemas ópticos/sensores de inspeção
Categoria do produto:
CONJUNTO DE SOLUÇÕES
Solução básica de movimento de fixação (ctrlX Motion) + integração de loop de força
BENEFÍCIOS
- Componentes com controle preciso da força Z para alta qualidade de fixação
- Integração EtherCAT para uma comunicação perfeita
- Conjunto de soluções com HMI personalizável e lógica de controle — menos erros, utilização segura
- Feedback em tempo real — redução de sucata
- Integração flexível do sistema
Moldagem de chips
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Monitoramento da força/posição da prensa de molde
- Eixos rígidos e termicamente estáveis
- Processo de selagem e limpeza
- Atuação em eixos paralelos
Categoria do produto:
CONJUNTO DE SOLUÇÕES
Kit de movimento de alta força com controle de loop fechado (ctrlX MOTION)
BENEFÍCIOS
- Componentes para fechamento preciso do molde — sem sistema hidráulico
- Fácil manutenção — baixo tempo de inatividade
- Pressão e posição em loop fechado — alta estabilidade
- Perfis de movimento personalizados — controle específico do produto
- Fiação reduzida — gabinete mais limpo
Teste final
SUA CADEIA DE VALOR PRECISA DE...
- Indexação de alta velocidade
- Integração com testadores
- Colocação repetível
- Movimento limpo e segurança
- Captura de dados
Categoria do produto:
CONJUNTO DE SOLUÇÕES
ctrlX S-MOTION com IHM modular e interface de visão
BENEFÍCIOS
- Componentes que permitem movimentos de alta dinâmica e precisão — para ciclos de teste rápidos e resultados precisos
- Conectividade pronta para MES — ajuste digital de fábrica
- Hardware e software com mobilidade dimensionável — atualizações fáceis
- Integração flexível com linhas de teste existentes — CAPEX reduzido
Produção de eletrônicos
Tecnologia de montagem em superfície (SMT)
Soldagem
Inspeção
Transporte de chips
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