Manipulace s wafery
Řešení společnosti Bosch Rexroth pro manipulaci s wafery a jejich zpracování jsou navržena tak, aby dokonale vyvažovala vysoce dynamické servopohony, vysoce pevné lineární subsystémy a pneumatické pohony – s vysokou pevností a bez překmitů nebo odskoků. To umožňuje nižší dobu nečinnosti a standardizovanou manipulaci po celou dobu front-endových operací. Navíc dochází k prevenci vibrací pomocí předem definovaných algoritmů v systémech řízení pohybu. Plynulejší pohybové sekvence umožňují profily vyššího řádu a funkce spline.
Fáze waferů
Náš program pro fáze waferů byl navržen jako vysoce precizní řízení pohybů v nanometrovém rozsahu. Je proto ideální pro zarovnávání, polohování a testování waferů ve fázi kontroly kvality. Přesný systém Motion Control MPC zaručuje vysokou přesnost s rozlišením 1–5 nm stejně jako pomalý rovnoměrný pohyb ≥ 50 nm/s. Speciální servomotory a bezželezné lineární a momentové motory obohacují dynamický výkon. Vysoce přesné lineární vedení eliminuje vibrace. Automatizační balíček zahrnuje i přidání pneumatického subsystému. Pohybové profily vyššího řádu a funkce spline produkují plynulejší pohybové sekvence.
Flexibilní transportní systém
Flexibilní transportní systém FTS společnosti Rexroth je zjednodušený, schopný provozu v těch nejnáročnějších podmínkách a integruje externí bezkontaktní pohybový systém. Cívky namontované mimo komoru poskytují hnací výkon pro magnetické nosiče, které nevyžadují těsnění. Externí montáž zvyšuje dostupnost. Tato lineární technika je vhodná pro téměř všechny stupně vytížení, úrovně přesnosti a pohybové profily. Systém umožňuje výjimečnou flexibilitu a dovoluje jednotlivým nosičům pohyb dopředu a dozadu různými rychlostmi.
Portál
Pro displeje s plochými panely a solární moduly poskytují portálové systémy společnosti Bosch Rexroth polohování bez torze s vysokou přesností. V této řadě portálových automatizačních systémů jsou zahrnuty komponenty široké škály velikostí a únosností. Systém Motion Control poskytuje vysoce dynamickou a přesnou koordinaci ve dvou osách, každou s vlastní řídicí smyčkou bez jakéhokoliv mechanického spojení. Maximální přesnost kontur je také zajištěna prostřednictvím synchronizace v reálném čase založené na Sercos.
Registrace
Servomotorové pohony pro vyšší přesnost, rychlost a strojové výstupy s hladkými změnami formátu. Vysoce dynamické servopohony a kompaktní lineární technika minimalizují časy plnění během změn formátu. Plynulé elektronické převody a řízení registru umožňují změny bez prodlev.
Řízení napnutí vícezónové sítě
Stabilnější výrobní proces usnadněním zón řízení napnutí sítě. Moderní stroje typu roll-to-roll vyžadují různé řídicí zóny napnutí sítě k zajištění stabilního a spolehlivého výrobního procesu. Vícezónové řízení napnutí sítě od společnosti Rexroth využívá techniku „decoupling“ k zřízení více zón napnutí ve stroji.
Síťový tlumič
Od krátkého zastavení sítě, k jakému dochází během inspekční práce, po spojitou přepravu sítě v závodě a rozšířenou produktivitu díky omezeným časům cyklu. Od krátkého zastavení sekce, k jakému dochází během inspekční práce, po spojitou přepravu v závodě a rozšířenou produktivitu díky omezeným časům cyklu.
Laminační proces
Proces laminace – spojování více vrstev v podobě filmu se základním materiálem – vyžaduje vysokou rychlost sítě a přesné napětí napříč velkou oblastí. Architektura otevřeného systému umožňuje snadnou integraci komponentů třetí strany. Kompaktní skříňový rozvaděč redukuje instalační povrch stroje.
Laserový proces
Vysoce výkonný řídicí systém založený na kontroléru od společnosti Bosch Rexroth umožňuje proces laserového opracování během spojité přepravy sítě. Plynulá přeprava sítě ve stroji, vyšší produktivita stroje díky rychlejší době cyklu a nižší náklady bez skříňového rozvaděče, jelikož dodatečný řídicí systém není potřeba.
Proces nanášení
Pro proces nanášení je zajištění přepravy substrátu bez částic absolutně zásadní, zvláště když zahrnuje aplikace OLED osvětlení. Za tímto účelem společnost Rexroth nabízí flexibilní transportní systém FTS pro pohyby lineárního pojezdu, který může být použit v podmínkách vakua. Neuvolňuje ani nevypouští žádné cizí částice, díky čemuž vylepšuje kvalitu procesů nanášení. Cívky namontované mimo komoru poskytují hnací výkon pro magnetické nosiče. Není třeba těsnění a dostupnost je zvýšenapomocí namontování všech elektrických komponent mimo komoru.