AUTOMATIZAČNÍ TECHNOLOGIE PRO PRŮMYSL POLOVODIČŮ A ELEKTRONIKY.

Manipulace s wafery

Řešení společnosti Bosch Rexroth pro manipulaci s wafery a jejich zpracování jsou navržena tak, aby dokonale vyvažovala vysoce dynamické servopohony, vysoce pevné lineární subsystémy a pneumatické pohony – s vysokou pevností a bez překmitů nebo odskoků. To umožňuje nižší dobu nečinnosti a standardizovanou manipulaci po celou dobu front-endových operací. Navíc dochází k prevenci vibrací pomocí předem definovaných algoritmů v systémech řízení pohybu. Plynulejší pohybové sekvence umožňují profily vyššího řádu a funkce spline.

Fáze waferů

Náš program pro fáze waferů byl navržen jako vysoce precizní řízení pohybů v nanometrovém rozsahu. Je proto ideální pro zarovnávání, polohování a testování waferů ve fázi kontroly kvality. Přesný systém Motion Control MPC zaručuje vysokou přesnost s rozlišením 1–5 nm stejně jako pomalý rovnoměrný pohyb ≥ 50 nm/s. Speciální servomotory a bezželezné lineární a momentové motory obohacují dynamický výkon. Vysoce přesné lineární vedení eliminuje vibrace. Automatizační balíček zahrnuje i přidání pneumatického subsystému. Pohybové profily vyššího řádu a funkce spline produkují plynulejší pohybové sekvence.

Flexibilní transportní systém

Flexibilní transportní systém FTS společnosti Rexroth je zjednodušený, schopný provozu v těch nejnáročnějších podmínkách a integruje externí bezkontaktní pohybový systém. Cívky namontované mimo komoru poskytují hnací výkon pro magnetické nosiče, které nevyžadují těsnění. Externí montáž zvyšuje dostupnost. Tato lineární technika je vhodná pro téměř všechny stupně vytížení, úrovně přesnosti a pohybové profily. Systém umožňuje výjimečnou flexibilitu a dovoluje jednotlivým nosičům pohyb dopředu a dozadu různými rychlostmi.

Portál

Pro displeje s plochými panely a solární moduly poskytují portálové systémy společnosti Bosch Rexroth polohování bez torze s vysokou přesností. V této řadě portálových automatizačních systémů jsou zahrnuty komponenty široké škály velikostí a únosností. Systém Motion Control poskytuje vysoce dynamickou a přesnou koordinaci ve dvou osách, každou s vlastní řídicí smyčkou bez jakéhokoliv mechanického spojení. Maximální přesnost kontur je také zajištěna prostřednictvím synchronizace v reálném čase založené na Sercos.

Registrace

Servomotorové pohony pro vyšší přesnost, rychlost a strojové výstupy s hladkými změnami formátu. Vysoce dynamické servopohony a kompaktní lineární technika minimalizují časy plnění během změn formátu. Plynulé elektronické převody a řízení registru umožňují změny bez prodlev.

Řízení napnutí vícezónové sítě

Stabilnější výrobní proces usnadněním zón řízení napnutí sítě. Moderní stroje typu roll-to-roll vyžadují různé řídicí zóny napnutí sítě k zajištění stabilního a spolehlivého výrobního procesu. Vícezónové řízení napnutí sítě od společnosti Rexroth využívá techniku „decoupling“ k zřízení více zón napnutí ve stroji.

Síťový tlumič

Od krátkého zastavení sítě, k jakému dochází během inspekční práce, po spojitou přepravu sítě v závodě a rozšířenou produktivitu díky omezeným časům cyklu. Od krátkého zastavení sekce, k jakému dochází během inspekční práce, po spojitou přepravu v závodě a rozšířenou produktivitu díky omezeným časům cyklu.

Laminační proces

Proces laminace – spojování více vrstev v podobě filmu se základním materiálem – vyžaduje vysokou rychlost sítě a přesné napětí napříč velkou oblastí. Architektura otevřeného systému umožňuje snadnou integraci komponentů třetí strany. Kompaktní skříňový rozvaděč redukuje instalační povrch stroje.

Laserový proces

Vysoce výkonný řídicí systém založený na kontroléru od společnosti Bosch Rexroth umožňuje proces laserového opracování během spojité přepravy sítě. Plynulá přeprava sítě ve stroji, vyšší produktivita stroje díky rychlejší době cyklu a nižší náklady bez skříňového rozvaděče, jelikož dodatečný řídicí systém není potřeba.

Proces nanášení

Pro proces nanášení je zajištění přepravy substrátu bez částic absolutně zásadní, zvláště když zahrnuje aplikace OLED osvětlení. Za tímto účelem společnost Rexroth nabízí flexibilní transportní systém FTS pro pohyby lineárního pojezdu, který může být použit v podmínkách vakua. Neuvolňuje ani nevypouští žádné cizí částice, díky čemuž vylepšuje kvalitu procesů nanášení. Cívky namontované mimo komoru poskytují hnací výkon pro magnetické nosiče. Není třeba těsnění a dostupnost je zvýšenapomocí namontování všech elektrických komponent mimo komoru.

Ušetřete energii a zdroje

Plastová elektronika popisuje výrobu skládacích nebo organických displejů, rolovacích tabletových PC a organických solárních článků na materiálech s flexibilní bází stejně jako tištěné RFID čipy. Produkty jsou tištěny jako noviny způsobem, který je enviromentálně šetrný, šetří zdroje, zefektivňuje náklady a je kompatibilní s výrobními technikami založenými na objemu. Tato technologie se rozšiřuje z laboratoře do továren a otevírá zcela nové možnosti produktů.

Konfigurovatelné

S flexibilním transportním systémem FTS společnost Bosch Rexroth nastavuje nový standard konfigurovatelnosti: V tomto systému jsou všechny elektronické díly montovány mimo procesní komoru. To poskytuje bezkontaktní metodu pro přesun waferů skrze uzavřené procesní komory. Systém se snadno udržuje a kontrolní jednotka nabízí uživateli mnoho dodatečných pohybových operací.

Zkušenosti v oboru

Společnost Bosch Rexroth vždy rychle objevovala a propagovala budoucí technologie a vývoj. Solární průmysl je jen jedním z příkladů a poskytuje solidní základ pro vývoj plastové elektroniky. Splnění nových úloh v této oblasti vyžaduje solidní know-how ve dvou sektorech oboru – tisk a elektronika. Společnost Bosch Rexroth má mnohaleté cenné zkušenosti v obou aplikačních prostředích a je obeznámena s procesy nanášení v elektronickém průmyslu a tradičními produkčními procesy používanými tiskovým průmyslem.

Náhradní díly

Bosch Rexroth nabízí komplexní spektrum služeb pro opravy, údržbu a modernizaci heterogenních strojů.

Opravy

Rychlá a spolehlivá oprava místo nákladné výměny – díky rychlé opravě může stroj i výroba pokračovat v provozu.

Servis u zákazníků

Potřebujete pomoc na místě? Náš servis Bosch Rexroth vás podporuje během provozu.

Modernizace

Měníme staré na nové a nové na ještě novější! Díky své odbornosti můžeme výrazně prodloužit životnost vaší produktové řady a udělat z ní plně produktivní renovační řešení.