Håndtering af halvlederskiver
Bosch Rexroths løsninger til håndtering og behandling af halvlederskiver er designet til perfekt at balancere højdynamiske servodrev, lineære undersystemer med høj stivhed og pneumatiske aktuatorer – med høj stivhed og uden overskridelse eller tilbageslag. Dette muliggør mindre tomgangstid og standardiseret håndtering i hele din frontend-operation. Derudover forhindres vibration med foruddefinerede algoritmer i bevægelsesstyringssystemerne. Og jævnere bevægelsessekvenser muliggør meget bedre bevægelsesprofiler og samlingsfunktioner.
Halvlederplader
Vores udvalg af halvlederplader er designet med henblik på meget præcis bevægelsesstyring i nanometerområdet. Det er derfor ideelt til flugtning, positionering og test af skiver i kvalitetskontrolfasen. MPC-styringssystemet til præcisionsbevægelse garanterer høj præcision med en opløsning på 1-5 nm samt langsom ensartet bevægelse ≥ 50 nm/s. Særlige servomotorer og jernløse lineære og momentmotorer forbedrer den dynamiske ydeevne. Lineære styr med høj præcision eliminerer vibrationer. Tilføjelsen af et pneumatisk undersystem fuldender automatiseringspakken. Meget bedre bevægelsesprofiler og samlingsfunktioner giver jævnere bevægelsessekvenser.
Fleksibelt transportsystem
Forenklet og i stand til at yde under de mest udfordrende forhold integrerer Rexroth fleksible transportsystem FTS et eksternt berøringsfrit bevægelsessystem. Spoler monteret uden for kammeret giver drivkraft til magnetiske medbringere, der ikke kræver tætninger. Den eksterne montering øger også tilgængeligheden. Denne lineære bevægelsesteknologi er velegnet til stort set alle belastningsfaktorer, præcisionsniveauer og bevægelsesprofiler. Systemet tillader enestående fleksibilitet og gør det muligt for individuelle transportører at bevæge sig frem og tilbage ved varierende hastigheder.
Portal
Til fladspanelskærme og solcellemoduler giver Bosch Rexroth portalsystemer vridningsfri positionering med høj nøjagtighed. Inkluderet i denne serie af portalautomatiseringssystemer er komponenter i en bred vifte af størrelser og belastningsklasser. Bevægelsesstyringssystemet giver højdynamisk, højpræcisionskoordinering af to akser, hver med sin egen styringssløjfe, uden nogen mekanisk forbindelse. Desuden sikres maksimal konturpræcision gennem Sercos-baseret realtidssynkronisering.
Registrering
Servomotordrev giver forbedret nøjagtighed, hastighed og maskineudgange med problemfrie formatændringer. Højdynamiske servodrev og kompakt lineær bevægelsesteknologi minimerer fodertider under formatændringer. Problemfri elektronisk transmission og registerstyring muliggør formatændringer uden forsinkelse.
Multizone-webspændingsstyring
Muliggør en mere stabil produktionsproces ved at muliggøre flere webspændings-styringszoner. Moderne roll-to-roll-maskiner kræver forskellige webspændings-styringszoner for at sikre en stabil og pålidelig produktionsproces. Rexroth Multizone-webspændingsstyring bruger en "afkoblings"-teknik til at muliggøre flere spændingszoner i en maskine.
Web-buffer
Fra kort stop af en websektion, som ved inspektionsarbejde, til kontinuerlig webtransport i anlægget og øget produktivitet takket være reducerede cyklustider Fra kort stop af en websektion, som ved inspektionsarbejde, til kontinuerlig webtransport i anlægget og øget produktivitet takket være reducerede cyklustider.
Lamineringsproces
Lamineringsprocessen – sammenføjning af flere filmlignende lag med et grundmateriale – kræver en høj webhastighed og præcis spænding af webbet tværs over et stort område. Åben systemarkitektur muliggør nem integration af tredjepartskomponenter. Kompakte betjeningsskabe reducerer maskinens installationsflade.
Laserproces
Højtydende, controllerbaserede styringssystemer fra Bosch Rexroth gør laserbearbejdningsprocessen mulig under kontinuerlig webtransport. Kontinuerlig webtransport i maskinen, højere produktivitet af maskinen via hurtigere cyklustider og lavere omkostninger uden behov for et styreskab, da der ikke er behov for et ekstra styresystem.
Coatingproces
Sikring af partikelfri materialetransport er absolut afgørende for coatingprocessen, især når det involverer OLED-belysningsanvendelser. Til dette formål tilbyder Rexroth det fleksible transportsystem FTS til lineære kørselsesbevægelser, som kan bruges under høje vakuumforhold. Det afgiver ikke fremmedlegemer under nogen form og forbedrer derved kvaliteten af coatingprocesserne. Spoler monteret uden for kammeret giver drivkraft til magnetiske medbringere. Der er ikke behov for pakninger, og tilgængeligheden stiger, fordi alle de elektriske komponenter er monteret uden for kammeret.
