Χειρισμός Wafer δίσκου
Ο χειρισμός και ηεπεξεργασία του Wafer δίσκου με προϊόντα - λύσειςτης Bosch Rexroth σχεδιάζονται με γνώμονατην ισορροπία για μέγιστη δυναμικήμετάδοση κίνησης με servo, άκαμπτα γραμμικά συστημάτα και πνευματικούς ενεργοποιητές. Αυτό προσφέρει μικρότερη περίοδο αδράνειας και τυποποιημένο χειρισμό καθ' όλη τη διάρκεια των λειτουργιών σας. Επιπρόσθετα, αποτρέπεται η δόνηση μέσω προκαθορισμένων αλγορίθμων στα συστήματα ελέγχου κίνησης με servo. Και οι ομαλότερες αλληλουχίες κίνησης επιτρέπουν για ποιο περίπλοκα προφίλ κίνησης.
Στάδια Wafer δίσκου
Το πρόγραμμα επεξεργασίας των διάφορων σταδίων του Wafer δίσκου της Bosch Rexroth έχει σχεδιαστεί για έλεγχο κίνησης υψηλής ακρίβειας εντός του εύρους νανομέτρων. Είναι λοιπόν ιδανικό για την ευθυγράμμιση την τοποθέτηση και τον έλεγχο του δίσκου, στη φάση ελέγχου της ποιότητας. Το σύστημα ελέγχου κίνησης ακριβείας MPC εγγυάται υψηλή ακρίβεια με ανάλυση 1 - 5 nm καθώς και χαμηλή ταχύτητα για ομοιόμορφη κίνηση ≥ 50 nm/s. Οι ειδικοί σερβοκινητήρες και οι γραμμικοί κινητηρες ironless μαζί με τους κινητήρες ροπής ενισχύουν τη απόδοση. Οι γραμμικοί οδηγοί υψηλής ακρίβειας εξαλείφουν τη δόνηση. Η προσθήκη πνευματικού υποσυστήματος συμπληρώνει το πακέτο αυτοματισμού. Τα προφίλ κίνησης υψηλότερης σειράς και οι λειτουργίες σφήνας παράγουν ομαλότερες αλληλουχίες κίνησης.
Ευέλικτα συστήματα μεταφοράς
Απλοποιημένο και δυνατό να λειτουργήσει στις πιο δύσκολες συνθήκες, το σύστημα μεταφοράς FTS της Rexroth ενσωματώνει ένα εξωτερικό σύστημα κίνησης χωρίς επαφή. Πηνία τοποθετημένα έξω από τον θάλαμο παρέχουν ισχύ για μετάδοση κίνησης σε μαγνητικά φορεία που δεν απαιτούν στεγανοποίηση. Η εξωτερική τοποθέτηση επίσης αυξάνει τη διαθεσιμότητα του συστηματος. Αυτή η τεχνολογία γραμμικής κίνησης είναι κατάλληλη για όλους τους συντελεστές φορτίων, τα επίπεδα ακρίβειας και τα προφίλ κίνησης. Το σύστημα διαθέτει μοναδική ευελιξία και επιτρέπει σε μεμονωμένα φορεία να μετακινηθούν προς τα εμπρός και προς τα πίσω σε μεταβλητές ταχύτητες.
Gantry systems
Για την παραγωγή επίπεδων οθονών και ηλιακών πάνελ, τα συστήματα γέφυρας (Gantry) της Bosch Rexroth παρέχουν τοποθέτηση χωρίς στρέψη με υψηλή ακρίβεια. Σε αυτή τη σειρά συστημάτων αυτοματισμού γέφυρας περιλαμβάνονται εξαρτήματα μεγάλης ποικιλίας σε μεγέθη και φορτία. Τα συστήματα ελέγχου κίνησης παρέχουν μεγάλη δυναμική, υψηλή ακρίβεια για συντονισμό δύο αξόνων, κάθε ένα με το δικό του βρόγχο ελέγχου, χωρίς μηχανική σύνδεση. Επίσης, διασφαλίζεται μέγιστη ακρίβεια περιγράμματος (Contour) με συγχρονισμό μέσω του διαύλου Sercos σε πραγματικό χρόνο.
Εγγραφή
Σερβοκινητήρες για μέγιστη ακρίβεια, ταχύτητα και απόδοση του μηχανήματος με απρόσκοπτη αλλαγή format. Οι μεγάλης δυναμικής σερβομηχανισμοί για μετάδοσης κίνησης και η συμπαγής τεχνολογία γραμμικής κίνησης ελαχιστοποιεί τους χρόνους τροφοδότησης κατά τη διάρκεια αλλαγών στο format. Οι απρόσκοπτες ηλεκτρονικές μεταδόσεις κίνησης (Cams) και ο έλεγχος εγγραφής (Register control)επιτρέπουν αλλαγές στο format χωρίς καθυστέρηση.
Έλεγχος τάνυσης πολλαπλών ζωνών
Επιτρέπει μια πιο σταθερή διαδικασία παραγωγής διευκολύνοντας τις ζώνες ελέγχου τάνυσης πολλαπλών ζωνών. Τα σύγχρονα μηχανήματα roll-to-roll απαιτούν διαφορετικές ζώνες ελέγχου τάνυσης πολλαπλών ζωνών για να διασφαλίσουν σταθερή, αξιόπιστη διαδικασία παραγωγής. Ο έλεγχος τάνυσης τ πολλαπλών ζωνών χρησιμοποιεί την τεχνική «decoupling» για να διευκολύνει τις ζώνες τάνυσης πολλαπλών ζωνών σε μια μηχανή.
Web Buffer
Από τη σύντομη διακοπή ενός τμήματος ιστού, όπως συμβαίνει κατά τη διάρκεια μιας εργασίας επίβλεψης, στη συνεχόμενη μεταφορά ιστού σε μια μονάδα και ενισχυμένη παραγωγικότητα χάρη στους μειωμένους κύκλους.
Διαδικασία στρωματοποίησης
Η διαδικασία στρωματοποίησης –σύνδεσης πολλαπλών στρωμάτων που μοιάζουν με μεμβράνη με ένα υλικό βάσης– απαιτεί υψηλή ταχύτητα και αντοχή του ιστού σε όλη τη μεγάλη περιοχή. Η αρχιτεκτονική ανοιχτών συστημάτων επιτρέπει εύκολη ενσωμάτωση των υλικών από τρίτους προμηθευτές. Οι συμπαγείς πίνακες ελέγχου μειώνουν το αποτύπωμα της επιφάνειας εγκατάστασης της μηχανής.
Διαδικασία λέιζερ
Τα βασισμένα σε ελεγκτή, υψηλής απόδοσης συστήματα ελέγχου από την Bosch Rexroth κάνουν τη διαδικασία των μηχανών λέιζερ λειτουργική κατά τη συνεχή μεταφορά υλικού. Συνεχής μεταφορά υλικού στη μηχανή, υψηλότερη παραγωγικότητα της μηχανής μέσω γρηγορότερων χρόνων κύκλου και χαμηλότερα κόστη χωρίς να απαιτείται πίνακας ελέγχου, από τη στιγμή που δεν απαιτείται πρόσθετο σύστημα ελέγχου.
Διαδικασία επικάλυψης
Η διασφάλιση μεταφοράς υποστρώματος χωρίς σωματίδια είναι απολύτως απαραίτητη για τη διαδικασία επικάλυψης, ειδικά όταν περιλαμβάνει εφαρμογές φωτισμού OLED. Για αυτόν τον σκοπό, η Rexroth προσφέρει το ευέλικτο σύστημα μεταφοράς FTS για γραμμικές κινήσεις μεταφοράς, που μπορούν να χρησιμοποιηθούν υπό υψηλές συνθήκες κενού. Δεν εκπέμπει ή εκκενώνει τυχόν ξένα σωματίδια, συνεπώς βελτιώνει την ποιότητα των διαδικασιών επικάλυψης. Πηνία τοποθετημένα έξω από το θάλαμο παρέχουν ισχύ μετάδοσης κίνησης για μαγνητικά φορεία. Δεν υπάρχει ανάγκη για στεγανοποίηση και αυξήσεις διαθεσιμότητας καθώς όλα τα ηλεκτρικά εξαρτήματα συναρμολογούνται έξω από τον θάλαμο.
