Acelere la ingeniería y la automatización de semiconductores

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Estructura de bastidor
• Capacidad de carga
• Interfaz con OHT
• Consideraciones de seguridad y sala blanca

Categoría de producto:
COMPONENTES
Perfiles estructurales de aluminio para salas limpias y elementos de conexión

VENTAJAS

• Aluminio anodizado para reducir la generación de partículas
• Cubra las ranuras en T abiertas con tapas para cumplir con los requisitos de las salas blancas
• Compatibilidad con entornos de clase ISO 3-4
• Soportes de montaje y elementos de fijación
  (acero inoxidable M8 o superior) resistente a las vibraciones

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Movimiento de obleas sin salpicaduras
• Contaminación por partículas reducida al mínimo

Categoría de producto:
SUBCONJUNTO
Manipulación de obleas por lotes:
Transporte preciso y sin fisuras de los portadores de obleas a través de cada etapa del proceso de limpieza húmeda

VENTAJAS

• Ingeniería de precisión
  El control de movimiento multieje y los movimientos de elevación con limitación de sacudidas permiten una manipulación de las obleas de gran precisión. Garantiza un movimiento suave y repetible para reducir al mínimo la tensión mecánica.
• Alto rendimiento y eficiencia
  Optimizado para transferencias continuas y rápidas de obleas sin comprometer la seguridad ni la precisión. Aumenta la productividad al tiempo que mantiene una calidad constante en los procesos.
• Manipulación suave y sin salpicaduras
  Diseñado para minimizar el estrés mecánico y químico en las obleas. Garantiza la integridad de las superficies delicadas de las obleas durante el procesamiento en húmedo.

Hoja de datos: Sistema de manipulación de obleas para la limpieza por lotes de obleas

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Compatibilidad con las principales plataformas de CMP y metrología
• Cumplimiento de SEMI E84/E87

Categoría de producto:
SUBCONJUNTO
Manipulación de obleas individuales:
Solución de transporte de obleas de alta precisión para la limpieza de obleas individuales entre el proceso de CMP y el proceso posterior

VENTAJAS

• Transporte de alta precisión
  Garantiza un movimiento preciso y estable de las obleas entre el proceso de CMP y los procesos posteriores. Reduce al mínimo la desalineación de las obleas y los errores de manipulación.
• Integración perfecta con CMP
  Diseñado específicamente para el traslado entre equipos de CMP y las estaciones de limpieza o procesamiento posteriores.
• Alto rendimiento y eficiencia
  Optimizado para un transporte rápido de obleas sin comprometer la precisión. Mejora el rendimiento general del proceso y la eficiencia de la producción.

Hoja de datos: Sistema de manipulación de obleas para la limpieza de obleas individuales

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Higiene y control de la contaminación:
  Sala limpia con clasificación ISO 5 como mínimo. No utilizar lubricantes que desprendan gases ni generen partículas; a menudo se utilizan cojinetes secos o grasas compatibles con el vacío
• Compatibilidad térmica y de materiales:
  Resistencia a las temperaturas de proceso (hasta unos 450 °C para el CVD, y más altas para algunos procesos de PVD) sin deformarse

Categoría de producto:
SUBCONJUNTO
Elevación de pines de oblea:
Nuestro sistema de manipulación de obleas para deposición garantiza funciones precisas de elevación y posicionamiento

VENTAJAS

• Elevación y soporte precisos de la oblea
  Garantiza la elevación y el descenso precisos de las obleas durante la deposición, lo que evita un contacto con la superficie que podría dañar películas delicadas.
• Compatibilidad con vacío y sala limpia
  Fabricado con materiales ultrapuros y de baja emisión de gases para cumplir con los estrictos requisitos de las salas blancas y de vacío
• Posicionamiento estable y repetible
  Ofrece una repetibilidad a nivel micrométrico para mantener un espesor uniforme de la película y una alineación precisa del proceso

Hoja de datos: Sistema de manipulación de obleas para deposición

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Traslado fiable y sin contaminación de obleas a entornos de grabado críticos
• Alineación precisa, posicionamiento seguro y transferencia fluida entre casetes, FOUP y cámaras de grabado

Categoría de producto:
SUBCONJUNTO
Transferencia de obleas ultrafiable y sin contaminación hacia entornos críticos de grabado

VENTAJAS

• Alineación y posicionamiento de precisión
  Garantiza el centrado y la orientación precisos de las obleas para una transferencia fiable a las cámaras de grabado.
• Integración fluida de la automatización
  Totalmente compatible con brazos robóticos, cargadores de FOUP y sistemas de automatización de fábrica (FA) para operaciones de alto rendimiento.
• Alta durabilidad en ciclos
  Diseñado para un funcionamiento continuo 24/7 con una longevidad mecánica probada y requisitos de mantenimiento mínimos.

Hoja de datos: Sistema de manipulación de obleas para la carga en el proceso de grabado

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Idoneidad para la limpieza previa y posterior al grabado
• Eliminación de partículas y residuos de alta calidad
• Consumo de productos químicos y estrés de la oblea reducidos al mínimo

Categoría de producto:
SUBCONJUNTO
Sistema de limpieza de obleas individuales de última generación para el procesamiento húmedo de precisión en la fabricación de semiconductores

VENTAJAS

• Precisión posicional a nivel micrométrico
  El control preciso de la altura de elevación garantiza la correcta alineación con boquillas de pulverización, inmersión o dosificación.
• Generación ultrabaja de partículas
  Mecánica limpia y optimizada para el contacto, con el fin de minimizar la contaminación durante los procesos húmedos corrosivos.
• Listo para la automatización
  Se integra perfectamente con los sistemas de manipulación en bancos húmedos y los módulos de transferencia robótica.

Hoja de datos: Sistema de manipulación de obleas para grabado húmedo

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Manipulación cuidadosa:
  Perfiles de aceleración delicados para evitar el deslizamiento o la rotura de las obleas
• Entorno limpio:
  Diseño antiestático para reducir la atracción de partículas
• Posicionamiento preciso:
  Alinee las obleas con precisión en el puerto de entrada de la siguiente máquina
• Integración:
  Comunicación con los puertos de carga de ambas herramientas y con la automatización de fábrica

Categoría de producto:
SUBCONJUNTO
Pulido mediante unidad de giro:
Sistema para la manipulación ultraprecisa de obleas durante la planarización químico-mecánica

VENTAJAS

• Control rotacional estable
  Diseñado para un movimiento de giro suave y sin vibraciones para lograr superficies planas sin defectos.
• Resistente a productos químicos y lodos
  Materiales fabricados con componentes resistentes a la corrosión para soportar lodos abrasivos y productos químicos agresivos para el pulido mecánico con compuesto (CMP).
• Integración perfecta de herramientas
  Totalmente compatible con la manipulación automatizada de obleas y las plataformas de automatización de procesos CMP.

Hoja de datos: Sistema de manipulación de obleas para CMP

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Precisión y exactitud
• Rendimiento y tiempo de ciclo
• Higiene y control de la contaminación

Categoría de producto:
CONJUNTO DE SOLUCIONES
Inspección y ensayo de obleas con ctrlX MOTION y sistemas lineales

VENTAJAS

• Rectitud y planitud de los raíles lineales:
  ≤1 µm/100 mm
• Repetibilidad de posicionamiento:
  ≤±0.5 µm (X/Y), ≤±1 µrad (rotación)
• Movimiento coordinado multieje con perfiles de aceleración limitada para movimientos suaves y rápidos
• Control de movimiento en lazo cerrado con planificación de trayectorias para ejes X/Y/Z/θ
• Integración con SECS/GEM

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Posicionamiento lineal submicrónico
• Cumplimiento de sala limpia
• Alta rigidez y amortiguación de vibraciones
• Sincronización de husillo

Categoría de producto:
CONJUNTO DE SOLUCIONES
ctrlX MOTION con ejes lineales y diagnóstico integrado

VENTAJAS

• Accionamientos con bajo juego mecánico: alta calidad superficial
• Alta repetibilidad: menores rechazos
• Sistema de control escalable: se adapta a cualquier tamaño
• Diagnóstico integrado: mantenimiento reducido
• Perfiles de movimiento predefinidos: rápida puesta en marcha

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Movimiento XY de alta velocidad y sin holgura
• Corrección de trayectoria en función de visión
• Repetibilidad submicrónica
• Clase de sala blanca 5-6

Categoría de producto:
CONJUNTO DE SOLUCIONES
Solución de movimiento con control XYZ utilizando ctrlX CORE

VENTAJAS

• Posicionamiento de alta velocidad: cortes más rápidos
• Movimiento estable: movimiento de hoja preciso
• Módulos compactos: preparados para sala limpia
• Interfaces de automatización abiertas – enlace PLC/HMI sencillo
• Herramienta de diagnóstico: rápida resolución de problemas
• Accionamientos energéticamente eficientes: costes reducidos

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Movimiento de la etapa:
  Repetibilidad; sincronización con óptica/sensores, compensación térmica
• Movimiento del plato:
  Aceleración y desaceleración suaves, precisión de posicionamiento (XYZ)
• Etapa de oblea con amortiguación activa:
  Movimiento preciso, repetibilidad, posicionamiento exacto

Categoría de producto:
CONJUNTO DE SOLUCIONES
Soluciones de movimiento de etapa y plato con ctrlX MOTION, accionamientos y controles y sistemas lineales

VENTAJAS

• Alineación precisa de la oblea con óptica de inspección
• Evita el deslizamiento o la vibración de la oblea
• Comportamiento constante a lo largo del tiempo: estabilidad del proceso en todo el rango de temperaturas
• Precisión subnanométrica para la detección de defectos
• Activación precisa de cámaras o sensores durante el movimiento

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Repetibilidad
• Alta precisión de posicionamiento
• Compensación térmica y corrección de deriva
• Sincronización con sistemas ópticos de inspección / sensores

Categoría de producto:
CONJUNTO DE SOLUCIONES
Solución básica de movimiento para unión (ctrlX Motion) con integración de control de fuerza en lazo cerrado

VENTAJAS

• Componentes con control preciso de la fuerza en Z para una alta calidad de unión
• Integración de EtherCAT para una comunicación fluida
• Conjunto de soluciones con HMI y lógica de control personalizables: menos errores y uso seguro
• Retroalimentación en tiempo real: reducción de rechazos
• Integración flexible del sistema

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Monitorización de la fuerza y la posición de la prensa de moldeo
• Ejes rígidos y térmicamente estables
• Sellado del proceso y limpieza
• Accionamiento de ejes paralelos

Categoría de producto:
CONJUNTO DE SOLUCIONES
Kit de movimiento de alta fuerza con control en bucle cerrado (ctrlX MOTION)

VENTAJAS

• Componentes para un cierre preciso del molde, sin sistema hidráulico
• Mantenimiento sencillo: tiempo de inactividad reducido
• Presión y posición en bucle cerrado: alta estabilidad
• Perfiles de movimiento personalizados: control específico para cada producto
• Cableado reducido: armario más despejado

SU CADENA DE VALOR NECESITA...

• Indexación de alta velocidad
• Integración con los equipos de prueba
• Colocación repetible
• Movimiento limpio y seguridad
• Captura de datos

Categoría de producto:
CONJUNTO DE SOLUCIONES
ctrlX S-MOTION con HMI modular e interfaz de visión

VENTAJAS

• Componentes que permiten una alta dinámica y un movimiento preciso: para ciclos de prueba rápidos y resultados exactos
• Conectividad compatible con MES: apto para la fábrica digital
• Hardware y software de movimiento escalables: actualizaciones sencillas
• Integración flexible con líneas de prueba existentes: CAPEX reducido