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Semi-conducteurs et électronique

Semi-conducteurs et électronique

TECHNOLOGIE D’AUTOMATISATION POUR L’INDUSTRIE DES SEMI-CONDUCTEURS ET DE L’ÉLECTRONIQUE

L’industrie des semi-conducteurs et de l'électronique regroupe la conception et la fabrication de semi-conducteurs et des composants auxquels ils sont destinés tels que les circuits intégrés.

Ses besoins en automatisation sont très spécifiques. Par exemple : des modules mécatroniques capables d'une grande souplesse de mouvement lors de la manipulation des plaquettes, un transport sans contact des matériaux dans les chambres de traitement et une précision de positionnement de l'ordre du nanomètre.

Grâce à notre vaste expérience en matière d’applications, les défis que vous rencontrez nous sont familiers. Issues de nos technologies dédiées à l’industrie des semi-conducteurs et de l’électronique, nos solutions répondront exactement à vos spécifications et vous garantiront d'excellentes performances.

WE MOVE.

Manipulation de plaquettes

Manipulation de plaquettes

Dans nos solutions de manipulation et de traitement de plaquettes, les entraînements d'axes haute dynamique, les sous-systèmes linéaires à rigidité élevée et les vérins pneumatiques s'harmonisent parfaitement pour un fonctionnement sans à-coup ni jeu à l'inversion. Cela permet d'optimiser le temps de fonctionnement et de standardiser les fonctions de manipulation pour toutes vos opérations front-end. De plus, le logiciel de commande est pourvu d'un système anti-vibration basé sur des algorithmes prédéfinis. Des séquences de mouvements plus souples permettent d’obtenir de meilleurs profils de mouvements et des fonctions « spline ».

Porte-plaquettes

Porte-plaquettes

Notre gamme dédiée au porte-plaquettes a été conçue pour fournir une précision de mouvement de l’ordre du nanomètre. Elle est donc idéale pour l’alignement, le positionnement et le test des plaquettes au cours de la phase de contrôle qualité. Le système de motion control MPC garantit une grande précision avec une résolution comprise entre 1 et 5 nm, ainsi qu’un mouvement constant supérieur ou égal à 50 nm/s. Des servomoteurs spéciaux, des moteurs-couples et des moteurs linéaires sans fer assurent une haute dynamique. Des guidages linéaires haute précision garantissent un fonctionnement sans vibration. L’ajout d’un sous-système pneumatique complète le pack d’automatisation. Les profils de mouvements et les fonctions « spline » produisent des séquences de mouvements plus fluides.

Système de transport flexible

Système de transport flexible

Simple d’utilisation et capable de fonctionner dans les conditions les plus difficiles, le système de transport flexible FTS intègre un système externe de mouvement sans contact. Des moteurs linéaires montés à l’extérieur de la chambre fournissent la puissance d’entraînement nécessaire aux chariots magnétiques sans joint. Le montage externe a également pour avantage d'accroitre la disponibilité de l'équipement Cette technologie linéaire s’adapte à quasiment tous les facteurs de charge, tous les degrés de précision et tous les profils de mouvement. Le système offre une incroyable flexibilité et permet aux supports d’avancer ou de reculer à des vitesses variables.

Système gantry

Système gantry

Idéals pour la fabrication des écrans plats et des modules de panneaux solaires, les systèmes gantry de Bosch Rexroth offrent un positionnement sans torsion et de haute précision. Nos systèmes d'automatisation incluent les produits et les caractéristiques requis par votre cahier des charges : composants disponibles en nombreuses tailles et capacités de charge ; Système Motion Control permettant la coordination haute dynamique et précise de deux axes avec leur boucle de commande indépendante, sans liaison mécanique. Vous obtenez également des contours ultra-précis grâce à la synchronisation en temps réel via Sercos.

Registration

Registration

Nos entraînements d'axes offrent à votre machine une précision, une vitesse et un rendement accrus avec des changements de formats extrêmement fluides. Entraînements haute dynamique associés aux guidages linéaires compacts réduisent le temps de chargement lors des changements de format. Les transmissions fluides par cames électroniques et la fonction de commande de registration permettent de réaliser des changements de format ultra-rapides.

Commande de tension de bande multizone

Commande de tension de bande multizone

Afin de garantir un process de production plus stable et plus fiable, les nouvelles générations de machines roll-to-roll requièrent un zonage pour le contrôle de tension de bande. La fonction de commande Multizone web tension control de Rexroth utilise une technique de « découplage » pour faciliter le paramétrage de différentes zones.

Accumulateur

Accumulateur

Qu’il s’agisse d’arrêts brefs d’une section de bande, par exemple pour des besoins d'inspection, ou du transport continu sur la ligne, vous bénéficiez d’une productivité accrue grâce à des cycles plus courts.

Process de pelliculage

Process de pelliculage

Le process de pelliculage, qui permet d’appliquer plusieurs couches de film sur une couche de base, nécessite une vitesse d'avance élevée et une tension très précise sur une grande surface. L’architecture ouverte du système permet d’intégrer facilement des composants tiers. Les armoires de commande compactes réduisent quant à elles l'empreinte au sol.

Traitement laser

Traitement laser

Les systèmes de commande hautes performances sur base contrôleur de Bosch Rexroth rendent le traitement laser possible durant le défilement de la bande. En résulte une productivité accrue de la machine grâce à des temps de cycles plus rapides. Autre avantage : la réduction des coûts grâce à la suppression de l'armoire de commande puisque cette solution ne nécessite aucun système de commande supplémentaire.

Processus de revêtement

Process de vernissage

Assurer le transport d’un substrat sans particule est absolument essentiel pour le process de vernissage, notamment dans les applications destinées à la fabrication d'éclairages OLED. Pour cela Rexroth propose le système de transport flexible FTS pour les mouvements linéaires, adapté à une utilisation en salle blanche. Il n’émet ni ne décharge aucune particule étrangère, ce qui améliore la qualité du process de vernissage. Des moteurs linéaires montés à l’extérieur de la chambre fournissent la puissance d’entraînement nécessaire aux chariots magnétiques. Aucun joint n’est nécessaire et la disponibilité est accrue puisque tous les composants électriques sont montés à l’extérieur de la chambre.

YOU WIN.

Économie d’énergie et de ressources

Économie d’énergie et de ressources

L’électronique organique « au mètre » désigne la production d’écrans pliables ou organiques, de tablettes tactiles enroulables, de cellules solaires organiques sur des matériaux de base souples, ainsi que des puces RFID. Ces produits sont imprimés comme des journaux dans le respect de l’environnement : ils participent à la préservation des ressources et à la réduction des coûts, et sont compatibles avec des techniques de production axées sur le volume. Cette technologie concerne aussi bien les laboratoires que les usines, et ouvre la voie à de nouveaux produits.

Configurabilité

Configurabilité

Avec son système de transport flexible FTS, Bosch Rexroth a créé un nouveau standard de configurabilité : dans ce système, tous les composants électroniques sont montés à l’extérieur de la chambre de traitement. Cela offre une méthode sans contact pour le déplacement des plaquettes à l’intérieur de la chambre de traitement. Le système est facile d’entretien et le module de commande offre de nombreuses options de déplacement supplémentaires.

Expertise industrielle

Expertise industrielle

Bosch Rexroth a toujours été pionnier dans la découverte et la promotion des technologies et développements du futur. L’industrie du solaire est un exemple parmi beaucoup d’autres et fournit un solide précédent à l’évolution de l’électronique organique. Accomplir de nouvelles tâches dans ce domaine demande un savoir-faire avancé dans deux secteurs : l’imprimerie et l’électronique. Bosch Rexroth possède de longues années d’expérience dans ces deux secteurs d’application. Nous connaissons bien les contraintes des process de vernissage dans l’industrie de l'électronique, ainsi que les processus de production traditionnels dans l'industrie de l’imprimerie.

RETOUR D'EXPÉRIENCE.

3D-Micromac AG

3D-MICROMAC AG S’APPUIE SUR UNE SOLUTION D’AUTOMATISATION DE REXROTH

Électronique imprimée : vers la production de masse.

Les circuits électroniques imprimés sur des substrats souples feront partie intégrante de notre quotidien d’ici quelques années. L’entreprise de haute technologie 3D-Micromac AG située à Chemnitz en Allemagne a conçu la ligne de production modulaire MicroFLEX. 3D-Micromac a travaillé en étroite collaboration avec Bosch Rexroth pour l’automatisation de sa machine, y compris le transport de bande avec un contrôle de tension haute précision.

Spécialisée dans la production de composants électroniques imprimés, l’entreprise a développé le système modulaire MicroFLEX. Le process roll-to-roll réduit les coûts de fabrication des circuits électroniques. Leader sur le marché des presses automatisées, Rexroth a mis ses nombreuses années d’expérience au service de ce projet.

Service

Pièces de rechange

Pièces de rechange

Bosch Rexroth offre une gamme complète de services de réparation, de maintenance et de modernisation adaptés à tout type de machine.

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Réparation

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Évitez de remplacer systématiquement grâce à notre service de réparation rapide et fiable. Une intervention rapide assure un fonctionnement continu des machines et une production ininterrompue.

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Vous avez besoin d’aide sur le terrain ? Les équipes de maintenance sur site Bosch Rexroth interviennent directement dans l’environnement de production.

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Nous gardons vos machines à la pointe de la modernité. Grâce à notre expertise, nous pouvons prolonger la durée de vie de vos produits sans compromis sur la productivité grâce à des solutions de retrofit.

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