AUTOMATISERINGSTECHNOLOGIE VOOR DE HALFGELEIDER- EN ELEKTRONICAINDUSTRIE.

Wafer-handeling

Bosch Rexroth oplossingen voor wafer-handling en waferverwerking zijn ontworpen om de perfecte balans te vinden tussen hoogdynamische servoaandrijvingen, zeer stijve lineaire subsystemen en pneumatische aandrijvingen - met een hoge stijfheid en zonder doorschieten of speling. Dit zorgt voor minder inactieve tijd en gestandaardiseerde afhandeling tijdens uw front-end operaties. Bovendien worden trillingen voorkomen door vooraf gedefinieerde algoritmen in de motion control-systemen. En vloeiendere bewegingssequenties maken bewegingsprofielen en spiebanen-functies van hogere orde mogelijk.

Waferfasen

Ons programma voor waferfasen is ontworpen voor zeer nauwkeurige motion control binnen het nanometerbereik. Het is daarom ideaal voor het uitlijnen, positioneren en testen van wafers in de kwaliteitscontrolefase. Het Precision Motion Control-systeem MPC garandeert een hoge precisie met een resolutie van 1 - 5 nm en een langzame uniforme beweging ≥ 50 nm/s. Speciale servomotoren en ijzerloze lineaire en koppelmotoren verbeteren de dynamische prestaties. Uiterst nauwkeurige lineaire geleidingen elimineren trillingen. De toevoeging van een pneumatisch subsysteem maakt het automatiseringspakket compleet. Bewegingsprofielen van hogere orde en spiebaanfuncties produceren vloeiendere bewegingssequenties.

Flexibele transportsystemen

Vereenvoudigd en in staat om onder de meest uitdagende omstandigheden te presteren, integreert het Rexroth flexibele transportsysteem FTS een extern contactloos bewegingssysteem. Spoelen die buiten de kamer zijn gemonteerd, leveren aandrijfkracht voor magnetische dragers die geen afdichtingen nodig hebben. De externe montage verhoogt ook de beschikbaarheid. Deze lineaire bewegingstechnologie is geschikt voor vrijwel alle belastingsfactoren, precisieniveaus en bewegingsprofielen. Het systeem biedt uitzonderlijke flexibiliteit en stelt individuele dragers in staat om met verschillende snelheden vooruit en achteruit te gaan.

Portaal

Voor flat-panel displays en zonnecellen bieden Bosch Rexroth portaalsystemen een torsievrije positionering met een hoge nauwkeurigheid. Inbegrepen in dit assortiment portaalautomatiseringssystemen zijn componenten met een breed scala aan afmetingen en belastingsclassificaties. Het motion control-systeem zorgt voor een zeer dynamische, uiterst nauwkeurige coördinatie van twee assen, elk met een eigen regellus, zonder enige mechanische verbinding. Bovendien wordt maximale contourprecisie gegarandeerd door op Sercos gebaseerde realtime synchronisatie.

Registratie

Servomotoraandrijvingen voor verbeterde nauwkeurigheid, snelheid en machine-uitgangen met naadloze formaatwijzigingen. Hoogdynamische servoaandrijvingen en compacte lineaire bewegingstechnologie minimaliseren de invoertijden tijdens formaatwisselingen. Naadloze elektronische transmissies en registercontrole maken formaatwijzigingen zonder vertraging mogelijk.

Besturing van de baanspanning in meerdere zones

Een stabieler productieproces mogelijk maken door meerdere besturingszones voor de baanspanning te vergemakkelijken. Moderne roll-to-roll-machines hebben verschillende besturingszones voor de baanspanning nodig om een stabiel en betrouwbaar productieproces te garanderen. Rexroth Multizone baanspanningsbesturing maakt gebruik van een "ontkoppelingstechniek" om meerdere spanningszones in een machine te vergemakkelijken.

Webbuffer

Van het kort stilleggen van een baansectie, zoals bij inspectiewerkzaamheden tot continu baantransport in de fabriek en verhoogde productiviteit door kortere cyclustijden.

Lamineerproces

Het proces van lamineren – het verbinden van meerdere filmachtige lagen met een basismateriaal – vereist een hoge baansnelheid en exacte baanspanning over een groot oppervlak. Open systeemarchitectuur maakt eenvoudige integratie van componenten van derden mogelijk. Compacte schakelkasten verkleinen het installatieoppervlak van de machine.

Laserproces

Krachtige, controllergebaseerde besturingssystemen van Bosch Rexroth maken het laserbewerkingsproces mogelijk tijdens continu baantransport. Continu baantransport in de machine, hogere productiviteit van de machine door snellere cyclustijden en lagere kosten zonder dat er een schakelkast nodig is, omdat er geen extra besturingssysteem nodig is.

Coatingproces

Zorgen voor deeltjesvrij substraattransport is absoluut essentieel voor het coatingproces, vooral als het gaat om OLED-verlichtingstoepassingen. Hiervoor biedt Rexroth het flexibele transportsysteem FTS voor lineaire rijbewegingen, dat onder hoogvacuüm omstandigheden kan worden ingezet. Het geeft geen vreemde deeltjes af en stoot ze niet af, waardoor de kwaliteit van coatingprocessen wordt verbeterd. Spoelen die buiten de kamer zijn gemonteerd, leveren aandrijfkracht voor magnetische dragers. Er zijn geen afdichtingen nodig en de beschikbaarheid neemt toe omdat alle elektrische componenten buiten de kamer zijn gemonteerd.

Bespaar energie en grondstoffen

Plastic Electronics 'per meter' beschrijft de productie van opvouwbare of organische displays, oprolbare tablet-pc's en organische zonnecellen op flexibele basismaterialen en geprinte RFID-chips. De producten worden gedrukt als kranten op een manier die milieuvriendelijk is, hulpbronnen spaart, de kosten stroomlijnt en compatibel is met op volume gebaseerde productietechnieken. Deze technologie strekt zich uit van het laboratorium tot de fabriek en opent een geheel nieuwe wereld van productmogelijkheden.

Configureerbaar

Met zijn flexibele transportsysteem FTS zet Bosch Rexroth een nieuwe standaard voor configureerbaarheid: In dit systeem worden alle elektronische onderdelen buiten de proceskamer gemonteerd. Dit verschaft een contactloze methode voor het verplaatsen van de wafers door de omsloten proceskamer. Het systeem is gemakkelijk te onderhouden en de besturingseenheid biedt de gebruiker tal van extra bewegingshandelingen.

Industriële ervaring

Bosch Rexroth is altijd snel geweest met het ontdekken en promoten van toekomstige technologieën en ontwikkelingen. De zonne-energie-industrie is hier slechts een voorbeeld van en biedt een solide basis voor de ontwikkeling van Plastic Electronics. Het vervullen van de nieuwe taken op dit gebied vereist gedegen knowhow in twee sectoren van de industrie: printen en elektronica. Bosch Rexroth heeft vele jaren waardevolle ervaring opgedaan in beide toepassingsomgevingen en is bekend met de coatingprocessen in de elektronica-industrie en de traditionele productieprocessen die worden gebruikt door de grafische industrie.

Reserveonderdelen

Bosch Rexroth biedt een uitgebreid spectrum aan diensten voor het repareren, onderhouden en moderniseren van heterogene machines.

Reparaties

Snelle en betrouwbare reparatie in plaats van dure vervanging – Dankzij een snelle reparatie kunnen machine en productie blijven draaien.

Buitendienst

Heeft u hulp ter plaatse nodig? Onze Bosch Rexroth-buitendienst ondersteunt u tijdens werkzaamheden.

Modernisering

We veranderen oud in nieuw en nieuw in nog nieuwer! Door onze expertise kan de levensduur van uw productlijn aanzienlijk worden verlengd met volledige productiviteit met retrofit-oplossingen.