Focusproducten:
Versnel halfgeleiderengineering en -automatisering
Welkom bij uw ervaren engineering- en automatiseringspartner voor mechatronica en motion control. Wij ondersteunen u met snelle engineering en kant-en-klare oplossingen voor de volledige waardestroom van halfgeleiders en elektronica.
Een trackrecord van meer dan 20 jaar gecombineerd met snelle responstijd
Win aan snelheid Van het lab naar de fab – met nauwe samenwerking vanaf het eerste prototype. Ontgrendel eenvoud Met kant-en-klare mechatronische subassemblages en precieze motion control ontworpen voor uw toepassing. Allemaal passen ze eenvoudig en naadloos in uw machineontwerp. Meesterschaalbaarheid met exact kopieerbare productie. Benut duurzaamheid en een lange levensduur met onze interne hoogwaardige componenten. En voor ondersteuning kunt u altijd terecht bij onze deskundige engineeringteams.
Front-end
Wafertransport OHT
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Framestructuur
- Laadvermogen
- Interface naar OHT
- Veiligheid en cleanroom-overwegingen
Productcategorie:
COMPONENTEN
Aluminium steunprofielen en verbindingselementen voor cleanrooms
VOORDELEN
- Geanodiseerd aluminium om deeltjesvorming te verminderen
- Dek open T-sleuven af met sleufbedekking voor cleanroom-compliance
- Compatibiliteit met ISO-omgevingen van klasse 3–4
-
Montagebeugels en bevestigingsmiddelen
(M8 roestvrij of sterker) bestand tegen trillingen
Wafer Cleaning – Waferhandlingsysteem voor het batchreinigen van wafers
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG...
- Spatvrije waferbeweging
- Minimale deeltjescontaminatie
Productcategorie:
SUBASSEMBLAGE
Batch-wafer-handling:
Naadloos, nauwkeurig transport van wafercassettes door elke fase van het natte reinigingsproces
VOORDELEN
-
Precisie-engineering
De motion control met meerdere assen en schokbeperkende liftbewegingen maakt een uiterst nauwkeurige waferhandling mogelijk. Zorgt voor herhaalbare, soepele beweging voor minimale mechanische spanning. -
Hoge doorvoer en efficiëntie
Geoptimaliseerd voor continue, snelle wafertransfers zonder afbreuk te doen aan veiligheid of precisie. Verhoogt de productiviteit met behoud van een consistente proceskwaliteit. -
Voorzichtige en spatvrije handling
Ontworpen om mechanische en chemische spanning op wafers te minimaliseren. Waarborgt de integriteit van gevoelige waferoppervlakken tijdens natte verwerking.
Gegevensblad: Waferhandlingsysteem voor het batchreinigen van wafers
Wafer Cleaning – Waferhandlingsysteem voor het reinigen van afzonderlijke wafers
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG...
- Compatibiliteit met alle belangrijke CMP- en metrologieplatforms
- Naleving SEMI E84/E87
Productcategorie:
SUBASSEMBLAGE
Handling van afzonderlijke wafers:
De zeer nauwkeurige oplossing voor wafertransport voor het reinigen van afzonderlijke wafers tussen CMP en stroomafwaarts proces
VOORDELEN
-
transport met hoge precisie
Zorgt voor een nauwkeurige en stabiele waferbeweging tussen CMP en stroomafwaartse processen. Minimaliseert fouten in de uitlijning en de handling van wafers. -
Naadloze CMP-integratie
Speciaal ontworpen voor overdracht tussen CMP-apparatuur en daaropvolgende reinigings- of verwerkingsstations. -
Hoge doorvoer en efficiëntie
Geoptimaliseerd voor snel wafertransport zonder dat dit ten koste gaat van de precisie. Verhoogt de totale procesopbrengst en de efficiëntie van de productie.
Gegevensblad: Waferhandlingsysteem voor het reinigen van afzonderlijke wafers
Depositie
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG...
-
Hygiëne en contaminatiebescherming:
Minimum ISO 5-cleanroom. Geen smeermiddelen die gassen afgeven of deeltjes vormen – vaak droge lagers of vacuümbestendige vetten -
Temperatuur en materiaalcompatibiliteit:
Tolerantie van procestemperaturen (tot ~450 °C voor CVD, hoger voor sommige PVD) zonder vervorming
Productcategorie:
SUBASSEMBLAGE
Wafer-pin-lift:
Ons wafersysteem voor depositie garandeert nauwkeurige lift- en positiefuncties
VOORDELEN
-
Nauwkeurige wafelhoogte en ondersteuning
Zorgt ervoor dat wafers nauwkeurig worden getild en neergelaten tijdens het depositieproces, waardoor contact met het oppervlak wordt voorkomen, wat delicate films kan beschadigen. -
Vacuüm- en cleanroomcompatibiliteit
Gemaakt van ultra-schone, laag ontgassende materialen om te voldoen aan strenge vacuüm- en cleanroomvereisten -
Stabiele, herhaalbare positionering
Biedt herhaalbaarheid op micrometerniveau om een uniforme filmdikte en nauwkeurige procesuitlijning te behouden
Etsen – waferhandlingsysteem voor het laden in de etsinstallatie
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Betrouwbare, contaminatievrije waferoverdracht naar kritieke etsomgevingen
- Nauwkeurige uitlijning, veilige positionering en soepele hand-off tussen cassettes, FOUP's en etskamers
Productcategorie:
SUBASSEMBLAGE
Levering van ultrabetrouwbare, contaminatievrije waferoverdracht in kritieke etsomgevingen
VOORDELEN
-
precisielijn en positionering
Zorgt voor nauwkeurige wafercentrering en oriëntatie voor betrouwbare overdracht in etskamers. -
Naadloze automatiseringsintegratie
Volledig compatibel met robotarmen, FOUP-laders en fabrieksautomatiseringssystemen (FA) voor bediening met hoge doorvoer. -
Hoge cyclusduurzaamheid
Gebouwd voor continu 24/7 gebruik met bewezen mechanische levensduur en minimale onderhoudsvereisten.
Gegevensblad: Waferhandlingsysteem voor het laden in de etsinstallatie
Etsen – Waferhandlingsysteem voor natte ets
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Geschikt voor pre- en post-etsreiniging
- Hoogwaardige verwijdering van deeltjes en residu
- Geminimaliseerd chemisch verbruik en waferspanning
Productcategorie:
SUBASSEMBLAGE
Geavanceerd reinigingssysteem voor afzonderlijke wafers voor nauwkeurige natte bewerkingen in de halfgeleiderproductie
VOORDELEN
-
Positienauwkeurigheid op micronniveau
De precieze besturing van de hefhoogte zorgt voor een correcte uitlijning met sproei-, dompel- of doseerkoppen. -
ultralage deeltjesvorming
Schone, contact-geoptimaliseerde mechanica om contaminatie tijdens corrosieve natte verwerking te minimaliseren. -
Klaar voor automatisering
Integreert naadloos met handlingsystemen voor natte banken en robottransfermodules.
CMP
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
-
Voorzichtige handling:
Vloeiende acceleratieprofielen om te voorkomen dat de wafer wegglijdt of breekt -
Schone omgeving:
Antistatisch ontwerp om deeltjesaantrekking te verminderen -
Nauwkeurige positionering:
Precieze uitlijning van wafers op de invoerpoort van de volgende tool -
Integratie:
Communicatie met de laadpoorten van beide tools en fabrieksautomatisering
Productcategorie:
SUBASSEMBLAGE
Spin Unit Polishing:
Systeem voor ultra-nauwkeurige waferbehandeling tijdens chemische-mechanische planarisatie
VOORDELEN
-
stabiele rotatiebesturing
Ontworpen voor soepele, trillingsvrije draaibeweging om defectvrije planar-oppervlakken te verkrijgen. -
Chemisch en slurrybestendig
Materialen vervaardigd met corrosiebestendige componenten om bestand te zijn tegen schurende slurries en agressieve CMP-chemicaliën. -
Naadloze toolintegratie
Volledig compatibel met geautomatiseerde waferverwerking en CMP-procesautomatiseringsplatforms.
Waferinspectie en -tests
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Precisie en nauwkeurigheid
- Doorvoer en cyclustijd
- Netheid en contaminatiecontrole
Productcategorie:
OPLOSSINGSSET
Waferinspectie en -tests met ctrlX MOTION en lineaire systemen
VOORDELEN
-
Rechtheid en vlakheid van lineaire rails:
≤ 1 µm/100 mm -
Herhaalbaarheid van positionering:
≤ ±0,5 µm (X/Y), ≤ ±1 µrad (rotatie) - Gecoördineerde beweging met meerdere assen en schokbeperkte profielen voor vloeiende, snelle bewegingen
- Motion control in gesloten lus met trajectplanning voor X/Y/Z/θ assen
- Integratie met SECS/GEM
Back-end
Wafer-Back-Grinding
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Lineaire positionering op submicronniveau
- Cleanroom-compliance
- Hoge stijfheid, trillingsdemping
- Spindelsynchronisatie
Productcategorie:
OPLOSSINGSSET
ctrlX MOTION met lineaire assen en geïntegreerde diagnostiek
VOORDELEN
- Aandrijvingen met lage backlash – hoge oppervlaktekwaliteit
- Hoge herhaalbaarheid – minder afwijzingen
- Schaalbaar besturingssysteem – geschikt voor elk formaat
- Geïntegreerde diagnostiek – minder onderhoud
- Vooraf gedefinieerde bewegingsprofielen – snelle inbedrijfsstellingen
Wafersnijden
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Snelle, backlash-vrije XY-beweging
- Visiegebaseerde padcorrectie
- Herhaalbaarheid op submicronniveau
- Cleanroom klasse-5-6
Productcategorie:
OPLOSSINGSSET
Bewegingsoplossing met XYZ-besturing met gebruik van ctrlX CORE
VOORDELEN
- Positionering met hoge snelheid – sneller snijden
- Stabiele beweging – nauwkeurige bladbeweging
- Compacte modules – cleanroom-ready
- Open automatiseringsinterfaces – eenvoudige PLC/HMI-koppeling
- Diagnosetool – snelle probleemoplossing
- Energiezuinige aandrijvingen – lagere kosten
Chip-testing
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
-
Beweging van het platform:
Herhaalbaarheid; synchronisatie met optiek/sensoren, thermische compensatie -
Beweging van de spanklem:
Soepele versnelling/vertraging, positioneringsnauwkeurigheid (XYZ) -
Actief gedempte wafer-stage:
Precieze beweging, herhaalbaarheid, nauwkeurige positionering
Productcategorie:
OPLOSSINGSSET
Oplossing voor platform- en spanklembeweging met ctrlX MOTION, aandrijvingen en besturingen en lineaire systemen
VOORDELEN
- Precieze uitlijning van wafers met inspectie-optiek
- Voorkomt slippen of trillen van de wafer
- Consistente beweging doorheen de tijd – processtabiliteit over het hele temperatuurbereik
- Sub-nanometerprecisie voor defectdetectie
- Nauwkeurige activering van camera's of sensoren tijdens beweging
Die-Bonding
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Herhaalbaarheid
- Hoge positioneernauwkeurigheid
- Thermische compensatie & driftcorrectie
- Synchronisatie met inspectieoptiek/sensoren
Productcategorie:
OPLOSSINGSSET
Basisoplossing voor Bonding-Motion-oplossing (ctrlX Motion) + integratie van force loop
VOORDELEN
- Componenten met nauwkeurige Z-krachtcontrole voor hoge verbindingskwaliteit
- EtherCAT-integratie voor naadloze communicatie
- Oplossingsset met aanpasbare HMI & besturingslogica – minder fouten, veilig gebruik
- Realtime feedback – minder uitval
- Flexibele systeemintegratie
Chip Molding
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Bewaking van perskracht/positie
- Stijve, thermisch stabiele assen
- Procesafdichting en netheid
- Parallelle asbediening
Productcategorie:
OPLOSSINGSSET
Krachtige motion kit met gesloten-lusregeling (ctrlX MOTION)
VOORDELEN
- Componenten voor nauwkeurig sluiten van matrijzen – zonder hydrauliek
- Eenvoudig onderhoud – weinig uitvaltijd
- gesloten-lusdruk en positie – hoge stabiliteit
- Aangepaste bewegingsprofielen – productspecifieke besturing
- Minder bedrading – overzichtelijkere behuizing
Eindtoets
UW WAARDESTROOM HEEFT NODIG ...
- Hoge-snelheidsindexering
- Integratie met testers
- Herhaalbare plaatsing
- Schone beweging en veiligheid
- Gegevensverzameling
Productcategorie:
OPLOSSINGSSET
ctrlX S-MOTION met modulaire HMI- en zichtinterface
VOORDELEN
- Componenten die een hoge dynamiek en precieze beweging mogelijk maken – voor snelle testcycli en accurate resultaten
- Connectiviteit klaar voor MES – digitale fabrieksinpassing
- Schaalbare bewegingshardware en -software – eenvoudige updates
- Flexibele integratie met bestaande testlijnen – minder CAPEX
Elektronica-productie
Oppervlaktebevestigingstechnologie (SMT)
Soldering
Inspectie
Chiptransport
Vind de juiste automatiseringsoplossing voor uw uitdaging
Ontdek de Bosch Rexroth Application Catalog: een dynamische verzameling van echte automatiseringstoepassingen, gekoppeld aan de juiste producten, tools en deskundige partners. Van het identificeren van de ideale oplossing voor uw uitdaging tot het versnellen van de implementatie met gevalideerde modellen; de catalogus begeleidt u van idee tot uitvoering.
Slimmere oplossingen voor halfgeleiderproductie
Ontdek onze geavanceerde oplossingen voor de volledige procesketen van halfgeleiders en gecertificeerde componenten voor waferhandling tot dynamische systemen voor chiptesten. Deze video van Semicon Europa 2025 toont onze nieuwste innovaties.
Geproduceerd voor schaalbaarheid
Vertrouwen, snelheid en een gemeenschappelijke taal – dit zijn de voordelen van het werken met ons wereldwijde team van experts. Gevestigd in het hart van de belangrijkste centra van de halfgeleiderindustrie, brengen we een breed scala aan expertise samen. Naast toonaangevende engineering kunt u rekenen op een zeer hoog niveau van verticale integratie, waardoor onze producten niet onderhevig zijn aan problemen in de toeleveringsketen. Met ons wereldwijde productienetwerk zijn wij altijd dicht bij u.
