Halbleitertechnik

Passende Lösungen für höchste Präzision: Bosch Rexroth bietet das weltweit größte Automatisierungsspektrum für die Halbleitertechnik

Halbleitertechnik
 
 

Mit mehreren hundert Arbeitsschritten und Bewegungen im Nanometerbereich ist in der Halbleitertechnik maximale Präzision gefragt. Die Halbleiterindustrie sucht Automatisierungspartner, die innovative und individuell zugeschnittene Systemlösungen bereitstellen. Das technologieübergreifende Portfolio von Bosch Rexroth gilt in der Branche als Leading-Edge in Funktion und Qualität für alle Prozessschritte in der Elektronikfertigung.

Mit dem Linear Motion System setzt Bosch Rexroth einen Maßstab in Sachen Konfigurierbarkeit: In diesem System sind alle elektronischen Bauteile außerhalb der Prozesskammer angebracht. Dadurch lassen sich Wafer berührungsfrei durch die geschlossene Prozesskammer bewegen. Bei einfachster Wartung ermöglicht die Steuerung dem Anwender zusätzlich vielfältige Bewegungsmuster.

Darüber hinaus können Kunden von Bosch Rexroth auf zahlreiche Module für Wafer-Handling, Wafer-Stages, Back-End, Gantry und Lösungen für Plastic Electronics zurückgreifen. Ob ruckfreie, langsame Bewegung oder High-Speed-Positionierung – im gesamten Spektrum wird höchste Präzision erreicht.

Auf der ganzen Welt vertrauen unsere Kunden auf unser dichtes Netzwerk von Branchenexperten. Das ermöglicht eine fachkundige Beratung vor Ort und schnellen Service. Der Know-how-Schutz des Kunden wird dabei immer gewährleistet – dies stellt Bosch Rexroth seit mehr als einem Jahrzehnt unter Beweis.