半導体・電子機器

半導体および電子機器産業向けオートメーションテクノロジー

WE MOVE.

ウエハーハンドリング

ボッシュレックスロスののウエハーハンドリングおよびウエハー処理ソリューションは、ハイダイナミックなサーボドライブ、高剛性のリニアサブシステムおよび空圧アクチュエータについて、高剛性を持ちオーバーショットやバックラッシュなしで完璧なバランスを持つよう設計されています。これは、アイドル時間の低減やフロントエンドオペレーションを通じた標準ハンドリングにつながります。加えて、モーションコントロールシステムの事前定義アルゴリズムにより、振動が予防されます。また、よりスムーズなモーションシーケンスにより、さらに高位のモーションプロファイルやスプライン関数が可能です。

ウエハーステージ

当社のウエハーステージプログラムは、ナノメーターレベルの高精度モーションコントロール用に設計してきました。従って、品質管理フェーズのウエハーアラインメントやポジショニング、テスティングに理想的です。高精度のモーションコントロールシステム(MPC)が、1～5nmの解像度の高精度と、50 nm/秒以上の等速直線運動を保証します。特殊なサーボモータやアイアンレスリニア、トルクモータによりダイナミックなパフォーマンスが強化され、さらに高精度リニアガイドを用いるため、振動を排除します。また、空圧サブシステムを加えることでオートメーションパッケージが完成し、より高位のモーションプロファイルやスプライン関数はよりスムーズなモーションシーケンスを生み出します。

柔軟な運搬システム

シンプルでありつつ最も困難な環境でも稼働できるボッシュレックスロスのの柔軟なリニア運搬システム(FTS)では、外部非接触モーションシステムが統合されています。室外マウントのコイルがもたらすのは、密封を必要としない磁気キャリアのためのドライブパワーです。外部マウントはまた、可用性の向上にもつながります。リニア技術は、実質的にすべての荷重要素や精度レベル、モーションプロファイルに適しています。このシステムは、他に類を見ない柔軟性を叶え、またそれぞれのキャリアや様々な速度での前後稼働を可能にします。

ガントリー

ボッシュレックスロスは、平板ディスプレイや太陽光モジュール向けに、高精度でねじれのないポジショニングを実現しています。ガントリーのオートメーションシステムに含まれているのは、幅広いサイズや定格荷重に対応するコンポーネントです。モーションコントロールシステムはハイダイナミック、高精度の2軸コーディネートを可能にし、それぞれに独自の制御ループがつきます。機械的接続は一切ありません。また、Sercosのリアルタイム同期により、最高精度の輪郭を得られます。

レジスタ

シームレスなフォーマット変更で正確性や速度、マシン出力の改善を叶えるサーボモータドライブです。ハイダイナミックなサーボドライブとコンパクトなリニア技術により、フォーマット変更中のフィード時間が最小化されます。また、シームレスな電子透過とレジスタ制御は、遅延のないフォーマット変更を可能にします。

テンションコントロール

複数のウェブテンション制御を活用し、より安定した生産プロセスを可能にします。現代のロール・トゥ・ロールマシンでは、安定した確実な生産プロセスに様々なテンション張力制御が必要です。レックスロスのMultizoneウェブ張力制御では、「デカップリング」技術を使用し、マシン内の複数のテンションを円滑にしています。

ウェブバッファ

サイクルタイムの短縮により、点検作業中に発生するウェブセクション一時停止から、工場内の連続的ウェブ運搬と生産性強化までを叶えます。

ラミネーション加工

複数のフィルム状の層を基材に取り付けるラミネーション加工では、広範囲での正確なウェブ張力と高いウェブ速度が必要です。オープンシステムアーキテクチャにより、サードパーティコンポーネントを統合しやすくなりました。コンパクトなスイッチキャビネットも、マシンの取付面縮小に役立っています。

レーザー加工

ボッシュレックスロスの高性能でコントローラ型の制御システムは、連続でウェブ運搬を行っている時でもレーザーマシニング加工ができるようにします。追加の制御システムが必要ないため、マシン内での連続のウェブ運搬、より高速なサイクルタイムと低コストによるマシンの生産性向上を、スイッチキャビネット不要で実現できます。

コーティング加工

コーティング加工、特にOLED照明アプリケーション関連の際は、粒子混入ゼロの基板搬送が絶対的に必要です。このため、レックスロスはリニア移動モーション用の柔軟な運搬システムであるFTSをご用意しました。このシステムは真空空間でも利用可能です。異物排出がまったくないので、コーティング加工の品質向上につながります。室外マウントのコイルがもたらすのは、磁気キャリアのためのドライブパワーです。密封の必要はありません。また、すべての電気コンポーネントが室外にマウントされているため、可用性もアップします。

YOU WIN.

エネルギーおよび資源の節約

プラスチックエレクトロニクス「メートル単位」は、折り畳み可能またはオーガニックのディスプレイ、ロールアップ型タブレットPC、そしてオーガニックな太陽電池、そして柔軟性のある基材や印刷されたRFIDチップの生産について述べています。こうした製品はまるで新聞であるかのように環境に優しく印刷され、資源の保全やコストの合理化を果たします。また、量重視の生産テクニックにも対応可能です。この技術は研究所から工場へと広く利用でき、製品の可能性にとってのまさに新世界を開きます。

構成機能

ボッシュレックスロスはその柔軟な運搬システム(FTS)により、構成機能の新基準を生み出します。このシステムでは、電気部品はすべて処理室の外にマウントされます。これにより、包囲された処理室全体で、ウエハー移動用の非接触メソッドが実現可能です。システムとして維持がしやすく、また制御ユニットはユーザーに数多くの追加モーション稼働を提供します。

業界経験

ボッシュレックスロスは常に、未来のテクノロジーや開発をすばやく発見し、促進してきました。ソーラー産業はその一例にすぎず、進化するプラスチックエレクトロニクスに強固な基礎を与える存在です。この分野で新しいタスクを達成するには、印刷とエレクトロニクスという2つの業界におけるしっかりとしたノウハウが必要です。ボッシュレックスロスはこの両方のアプリケーション環境において長年にわたり貴重な経験を獲得してきており、電子機器産業のコーティング加工、そして印刷業界で用いられる従来の生産プロセスに知識を有しています。

ケーススタディ

レックスロスのオートメーションソリューションを活用する3D-Micromac AG

プリンテッドエレクトロニクス大量生産を目指して

私たちの数年後の日常生活を形作る、柔軟な基盤を用いたプリンテッドエレクトロニクス回路。ドイツのケムニッツ市のハイテク企業である3D-Micromac AGは、Microflexというモジュラー生産ラインを開発してきました。そして、レックスロスと協働で、高精度の張力制御のウェブ運搬を含むマシン自動化に取り組んできました。

プリンテッドエレクトロニクス製造に献身した同社は、モジュール式MicroFLEXシステムを開発しました。ロール・トゥ・ロールプロセスは電子回路の製造コストを削減します。レックスロスは輪転印刷オートメーションの市場リーダーとして、その長年の経験を貢献しています。