Waferhåndtering
Waferhåndterings- og waferbehandlingsløsningene fra Bosch Rexroth er utviklet for å balansere høydynamiske servomotorer, svært rigide lineære undersystemer og pneumatiske aktuatorer – med høy presisjon og uten oversving eller tilbakeslag. Dette muliggjør mindre nedetid og standardisert håndtering på tvers av frontend-operasjonene dine. Forhåndsdefinerte algoritmer forebygger også vibrasjon i motion control-systemer. Og jevnere bevegelsessekvenser muliggjør bevegelsesprofiler og spline-funksjoner av høyere orden.
Waferstadier
Programmet vårt for waferstadier er utviklet for bevegelsesstyring med høy presisjon innenfor nanometerområdet. Det er derfor ideelt for waferjustering, -posisjonering og -testing i kvalitetskontrollfasen. Det nøyaktige motion control-systemet MPC garanterer høy presisjon med en oppløsning på 1–5 nm samt sakte og jevn bevegelse ≥50 nm/s. Egne servomotorer og jernløse lineære- og dreiemomentmotorer forbedrer den dynamiske ytelsen. Lineære føringer med høy nøyaktighet eliminerer vibrasjon. Bruken av et pneumatisk undersystem kompletterer automatiseringspakken. Bevegelsesprofiler og spline-funksjoner av høyere orden gir jevnere bevegelsessekvenser.
Fleksibelt transportsystem
Rexroths fleksible transportsystem (FTS) integrerer et eksternt kontaktfritt bevegelsessystem, noe som forenkler det og gjør det mulig å yte under de vanskeligste forhold. Spoler montert utenfor kammeret gir drivkraft for magnetiske bærere som ikke krever tetninger. Den eksterne monteringen gjør dem også enklere tilgjengelig. Denne lineærteknologien er egnet for alle lastfaktorer, presisjonsnivåer og bevegelsesprofiler. Systemet muliggjør enestående fleksibilitet og gjør det mulig å bevege individuelle transportbånd fremover og bakover ved varierende hastigheter.
Portal
Bosch Rexroths panelsystemer leverer en torsjonsfri posisjonering med høy nøyaktighet for flatpaneler og solcellemoduler. Disse portalautomatiseringssystemene inkluderer deler i mange forskjellige størrelser og med forskjellige lastvurderinger. Motion control-systemet leverer en svært dynamisk koordinasjon av to akser med høy presisjon, hver med sin egen kontrollsløyfe, og uten mekanisk tilkobling. Maksimal konturpresisjon sikres også gjennom Sercos-basert sanntidssynkronisering.
Registrering
Servomotorer for forbedret nøyaktighet, hastighet og maskinresultater med sømløse formatendringer. Høydynamiske servomotorer og kompakt lineærteknologi reduserer matetider under formatendringer. Sømløse elektroniske overføringer og registerkontroll muliggjør formatendringer uten forsinkelse.
Nettspenningskontroll med flere soner
Muliggjør en mer stabil produksjonsprosess ved å legge til rette for flere spenningskontrollsoner. Moderne rull-til-rull-maskiner krever forskjellige spenningskontrollsoner for å sikre en stabil og pålitelig produksjonsprosess. Rexroth Multizone-nettspenningskontroll bruker en frakoblingsteknikk for å muliggjøre flere spenningssoner i en maskin.
Nettbuffer
Fra korte stopp av en nettseksjon, for eksempel under inspeksjonsarbeid, til kontinuerlig nettransport i anlegget og forbedret produktivitet takket være reduserte syklustider. Fra korte stopp av en nettseksjon, for eksempel under inspeksjonsarbeid, til kontinuerlig nettransport i anlegget og forbedret produktivitet takket være reduserte syklustider.
Lamineringsprosess
Lamineringsprosessen – sammenføyning av flere filmlignende lag med et grunnmateriale – krever høy banehastighet og nøyaktig spenning i et stort område. En åpen systemarkitektur muliggjør enkel integrering av tredjepartskomponenter. De kompakte koblingsskapene reduserer maskinens installasjonsflate.
Laserprosess
Styreenhetbaserte styresystemer med høy ytelse fra Bosch Rexroth gjør prosessen for laserbehandlingsprosessen mulig under kontinuerlig nettransport. Kontinuerlig nettransport i maskinen, høyere maskinproduktivitet som følge av raskere syklustider og lavere kostnader uten behov for koblingsskap, siden et ekstra kontrollsystem ikke er nødvendig.
Beleggprosess
Det er avgjørende å sikre en partikkelfri transport av substrater under beleggprosessen, spesielt når den brukes i anvendelser med OLED-belysning. Derfor tilbyr Rexroth det fleksible transportsystemet FTS for lineære bevegelser, som kan brukes under forhold med høyt vakuum. Det avgir eller avsondrer ikke fremmede partikler, og forbedrer dermed kvaliteten på beleggprosesser. Spoler montert utenfor kammeret gir drivkraft for magnetiske bærere. Tetninger er ikke nødvendige, og tilgjengeligheten øker som følge av at alle de elektriske delene er montert på utsiden av kammeret.
