Wafer-handeling
Bosch Rexroth oplossingen voor wafer-handling en waferverwerking zijn ontworpen om de perfecte balans te vinden tussen hoogdynamische servoaandrijvingen, zeer stijve lineaire subsystemen en pneumatische aandrijvingen - met een hoge stijfheid en zonder doorschieten of speling. Dit zorgt voor minder inactieve tijd en gestandaardiseerde afhandeling tijdens uw front-end operaties. Bovendien worden trillingen voorkomen door vooraf gedefinieerde algoritmen in de motion control-systemen. En vloeiendere bewegingssequenties maken bewegingsprofielen en spiebanen-functies van hogere orde mogelijk.
Waferfasen
Ons programma voor waferfasen is ontworpen voor zeer nauwkeurige motion control binnen het nanometerbereik. Het is daarom ideaal voor het uitlijnen, positioneren en testen van wafers in de kwaliteitscontrolefase. Het Precision Motion Control-systeem MPC garandeert een hoge precisie met een resolutie van 1 - 5 nm en een langzame uniforme beweging ≥ 50 nm/s. Speciale servomotoren en ijzerloze lineaire en koppelmotoren verbeteren de dynamische prestaties. Uiterst nauwkeurige lineaire geleidingen elimineren trillingen. De toevoeging van een pneumatisch subsysteem maakt het automatiseringspakket compleet. Bewegingsprofielen van hogere orde en spiebaanfuncties produceren vloeiendere bewegingssequenties.
Flexibele transportsystemen
Vereenvoudigd en in staat om onder de meest uitdagende omstandigheden te presteren, integreert het Rexroth flexibele transportsysteem FTS een extern contactloos bewegingssysteem. Spoelen die buiten de kamer zijn gemonteerd, leveren aandrijfkracht voor magnetische dragers die geen afdichtingen nodig hebben. De externe montage verhoogt ook de beschikbaarheid. Deze lineaire bewegingstechnologie is geschikt voor vrijwel alle belastingsfactoren, precisieniveaus en bewegingsprofielen. Het systeem biedt uitzonderlijke flexibiliteit en stelt individuele dragers in staat om met verschillende snelheden vooruit en achteruit te gaan.
Portaal
Voor flat-panel displays en zonnecellen bieden Bosch Rexroth portaalsystemen een torsievrije positionering met een hoge nauwkeurigheid. Inbegrepen in dit assortiment portaalautomatiseringssystemen zijn componenten met een breed scala aan afmetingen en belastingsclassificaties. Het motion control-systeem zorgt voor een zeer dynamische, uiterst nauwkeurige coördinatie van twee assen, elk met een eigen regellus, zonder enige mechanische verbinding. Bovendien wordt maximale contourprecisie gegarandeerd door op Sercos gebaseerde realtime synchronisatie.
Registratie
Servomotoraandrijvingen voor verbeterde nauwkeurigheid, snelheid en machine-uitgangen met naadloze formaatwijzigingen. Hoogdynamische servoaandrijvingen en compacte lineaire bewegingstechnologie minimaliseren de invoertijden tijdens formaatwisselingen. Naadloze elektronische transmissies en registercontrole maken formaatwijzigingen zonder vertraging mogelijk.
Besturing van de baanspanning in meerdere zones
Een stabieler productieproces mogelijk maken door meerdere besturingszones voor de baanspanning te vergemakkelijken. Moderne roll-to-roll-machines hebben verschillende besturingszones voor de baanspanning nodig om een stabiel en betrouwbaar productieproces te garanderen. Rexroth Multizone baanspanningsbesturing maakt gebruik van een "ontkoppelingstechniek" om meerdere spanningszones in een machine te vergemakkelijken.
Webbuffer
Van het kort stilleggen van een baansectie, zoals bij inspectiewerkzaamheden tot continu baantransport in de fabriek en verhoogde productiviteit door kortere cyclustijden.
Lamineerproces
Het proces van lamineren – het verbinden van meerdere filmachtige lagen met een basismateriaal – vereist een hoge baansnelheid en exacte baanspanning over een groot oppervlak. Open systeemarchitectuur maakt eenvoudige integratie van componenten van derden mogelijk. Compacte schakelkasten verkleinen het installatieoppervlak van de machine.
Laserproces
Krachtige, controllergebaseerde besturingssystemen van Bosch Rexroth maken het laserbewerkingsproces mogelijk tijdens continu baantransport. Continu baantransport in de machine, hogere productiviteit van de machine door snellere cyclustijden en lagere kosten zonder dat er een schakelkast nodig is, omdat er geen extra besturingssysteem nodig is.
Coatingproces
Zorgen voor deeltjesvrij substraattransport is absoluut essentieel voor het coatingproces, vooral als het gaat om OLED-verlichtingstoepassingen. Hiervoor biedt Rexroth het flexibele transportsysteem FTS voor lineaire rijbewegingen, dat onder hoogvacuüm omstandigheden kan worden ingezet. Het geeft geen vreemde deeltjes af en stoot ze niet af, waardoor de kwaliteit van coatingprocessen wordt verbeterd. Spoelen die buiten de kamer zijn gemonteerd, leveren aandrijfkracht voor magnetische dragers. Er zijn geen afdichtingen nodig en de beschikbaarheid neemt toe omdat alle elektrische componenten buiten de kamer zijn gemonteerd.
