Sản phẩm chủ lực:
Tăng tốc kỹ thuật và tự động hóa trong ngành bán dẫn
Chào mừng bạn đến với đối tác giàu kinh nghiệm trong lĩnh vực kỹ thuật và tự động hóa, chuyên về cơ điện tử và điều khiển chuyển động. Chúng tôi hỗ trợ bạn với năng lực kỹ thuật tốc độ cao và các giải pháp sẵn sàng sử dụng trong toàn bộ chuỗi giá trị bán dẫn và điện tử.
Hơn 20 năm kinh nghiệm cùng khả năng phản hồi nhanh chóng
Tăng tốc độ từ phòng thí nghiệm đến nhà máy chế tạo – với sự hợp tác chặt chẽ ngay từ nguyên mẫu đầu tiên. Đơn giản hoá hệ thống với các cụm linh kiện cơ điện tử sẵn sàng sử dụng và hệ thống điều khiển chuyển động chính xác được thiết kế riêng cho ứng dụng của bạn. Tất cả đều dễ dàng và tích hợp hoàn hảo vào thiết kế máy của bạn. Nắm vững khả năng mở rộng với quy trình sản xuất được sao chép chính xác. Thúc đẩy tính bền vững và nâng cao tuổi thọ với các linh kiện chất lượng do chính chúng tôi sản xuất. Bất cứ khi nào cần hỗ trợ, đội ngũ kỹ sư chuyên gia của chúng tôi đều sẵn sàng đồng hành bên bạn.
Front-End
Vận chuyển wafer bằng OHT
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN...
- Kết cấu khung
- Khả năng chịu tải
- Giao diện với OHT
- Các yếu tố an toàn và phòng sạch cần cân nhắc
Danh mục sản phẩm:
CÁC THÀNH PHẦN
Các thanh giằng định hình bằng nhôm và các bộ phận kết nối cho phòng sạch
LỢI ÍCH
- Nhôm anod hóa để giảm sự phát sinh hạt.
- Che các khe chữ T hở bằng nắp đậy để tuân thủ quy định phòng sạch
- Tương thích với môi trường ISO loại 3–4
-
Giá đỡ và linh kiện lắp siết
(Thép không gỉ M8 hoặc loại bền hơn) chống rung
Làm sạch wafer – Hệ thống xử lý wafer để vệ sinh theo lô
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN ...
- Di chuyển bánh wafer không gây bắn tóe
- Giảm thiểu sự nhiễm bẩn hạt
Danh mục sản phẩm:
CỤM LẮP RÁP
Xử lý wafer theo lô:
Vận chuyển khay giữ wafer liền mạch và chính xác qua mọi giai đoạn của quy trình làm sạch ướt
LỢI ÍCH
-
Kỹ thuật chính xác
Điều khiển chuyển động đa trục và cơ chế rút giới hạn giật cho phép xử lý wafer với độ chính xác cao. Đảm bảo chuyển động lặp lại, mượt mà, giảm thiểu ứng suất cơ học. -
Thông lượng và năng suất cao
Tối ưu hóa cho việc vận chuyển wafer liên tục, nhanh chóng, không ảnh hưởng đến độ an toàn hoặc độ chính xác. Thúc đẩy năng suất đồng thời duy trì chất lượng quy trình ổn định. -
Xử lý nhẹ nhàng, không gây bắn tóe
Được thiết kế để giảm thiểu các tác động cơ học và hóa học lên wafer. Đảm bảo tính toàn vẹn của bề mặt wafer nhạy cảm trong quá trình xử lý ướt.
Tờ thông tin: Hệ thống xử lý wafer cho quy trình làm sạch theo lô
Làm sạch wafer – Hệ thống xử lý wafer cho quy trình làm sạch wafer đơn lẻ
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN ...
- Khả năng tương thích với tất cả các nền tảng CMP và đo lường chính.
- Tuân thủ tiêu chuẩn SEMI E84/E87
Danh mục sản phẩm:
CỤM LẮP RÁP
Xử lý wafer đơn lẻ:
Giải pháp vận chuyển wafer với độ chính xác cao cho quy trình làm sạch wafer đơn lẻ giữa quy trình CMP và các quy trình tiếp theo
LỢI ÍCH
-
Vận chuyển độ chính xác cao
Đảm bảo chuyển động wafer chính xác và ổn định giữa CMP và các quy trình tiếp theo. Giảm thiểu lệch vị trí và lỗi xử lý trên wafer. -
Tích hợp liền mạch với hệ thống CMP
Được thiết kế đặc biệt để vận chuyển giữa thiết bị CMP và các trạm làm sạch hoặc xử lý tiếp theo. -
Thông lượng và năng suất cao
Tối ưu hóa cho việc vận chuyển wafer nhanh chóng mà vẫn đảm bảo độ chính xác. Nâng cao tỷ lệ đạt của quy trình và hiệu quả sản xuất.
Tờ thông tin: Hệ thống xử lý wafer cho quy trình làm sạch wafer đơn lẻ
Lắng đọng
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN...
-
Kiểm soát độ sạch và nhiễm bẩn:
Phòng sạch tối thiểu đạt tiêu chuẩn ISO 5. Không sử dụng chất bôi trơn phát thải khí hoặc tạo hạt – thường sử dụng ổ trượt khô hoặc mỡ bôi trơn tương thích chân khô -
Khả năng tương thích về nhiệt độ và vật liệu:
Chịu được nhiệt độ quy trình (lên đến ~450 °C đối với CVD, cao hơn đối với một số phương pháp PVD) mà không bị biến dạng
Danh mục sản phẩm:
CỤM LẮP RÁP
Cơ cấu nâng chốt wafer:
Hệ thống xử lý wafer cho quy trình lắng đọng của chúng tôi đảm bảo chức năng nâng và định vị chính xác
LỢI ÍCH
-
Nâng và hỗ trợ đế wafer chính xác
Đảm bảo việc nâng và hạ wafer chính xác trong quá trình lắng đọng, ngăn ngừa sự tiếp xúc bề mặt có thể làm hỏng các lớp màng mỏng. -
Tương thích với môi trường chân không và phòng sạch
Được chế tạo từ các vật liệu siêu sạch, phát thải khí thấp để đáp ứng các yêu cầu khắt khe về chân không và phòng sạch. -
Định vị ổn định, độ lặp lại cao
Đảm bảo độ lặp lại ở cấp micromet, giúp duy trì độ dày màng đồng đều và căn chỉnh quy trình chính xác
Ăn mòn – Hệ thống xử lý wafer cho hiệu ứng tải trong khâu ăn mòn
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN...
- Vận chuyển wafer với độ tin cậy cao, không nhiễm bẩn vào môi trường khắc quan trọng.
- Căn chỉnh chính xác, định vị an toàn và chuyển giao mượt mà giữa các cassette, FOUP và buồng ăn mòn
Danh mục sản phẩm:
CỤM LẮP RÁP
Đảm bảo vận chuyển wafer với độ tin cậy cao, không nhiễm bẩn vào các môi trường ăn mòn quan trọng
LỢI ÍCH
-
Căn chỉnh và định vị chính xác
Đảm bảo căn chỉnh và định hướng chính xác wafer để vận chuyển với độ tin cậy cao vào buồng ăn mòn. -
Tích hợp tự động hóa liền mạch
Hoàn toàn tương thích với cánh tay robot, bộ nạp FOUP và hệ thống tự động hóa nhà máy (FA) để vận hành với thông lượng cao. -
Độ bền chu kỳ cao
Được thiết kế để hoạt động liên tục 24/7 với độ bền cơ học đã được kiểm chứng và yêu cầu bảo trì tối thiểu.
Tờ thông tin: Hệ thống xử lý wafer cho hiệu ứng tải trong quy trình khắc
Khắc – Hệ thống xử lý wafer cho quá trình khắc ướt
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN ...
- Thích hợp cho việc làm sạch trước và sau khi khắc.
- Loại bỏ hạt và cặn bẩn với hiệu quả cao
- Giảm thiểu tiêu thụ hóa chất và ứng suất trên wafer
Danh mục sản phẩm:
CỤM LẮP RÁP
Hệ thống làm sạch wafer đơn tiên tiến nhất dành cho quy trình xử lý ướt chính xác trong sản xuất chất bán dẫn
LỢI ÍCH
-
Độ chính xác vị trí ở cấp micromet
Điều khiển chính xác độ cao nâng giúp căn chỉnh đúng với các vòi phun, vòi nhúng hoặc vòi cấp hóa chất. -
Phát sinh lượng hạt ở mức cực thấp
Cơ cấu cơ khí sạch, tối ưu hóa tiếp xúc để giảm thiểu nhiễm bẩn trong quá trình xử lý ăn mòn ướt. -
Sẵn sàng cho tự động hóa
Tích hợp liền mạch với các hệ thống wet bench ướt và các mô-đun chuyển giao bằng robot.
CMP
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN ...
-
Thao tác nhẹ nhàng:
Biên dạng gia tốc mượt giúp ngăn ngừa trượt hoặc vỡ wafer -
Môi trường sạch:
Thiết kế chống tĩnh điện giúp giảm sự hút bám của các hạt. -
Định vị chính xác:
Căn chỉnh wafer chính xác tại cổng đầu vào của thiết bị tiếp theo -
Khả năng tích hợp:
Giao tiếp với cả cổng tải của các công cụ và hệ thống tự động hóa nhà máy
Danh mục sản phẩm:
CỤM LẮP RÁP
Đánh bóng thiết bị dạng quay:
Hệ thống xử lý wafer siêu chính xác trong quá trình làm phẳng bề mặt bằng phương pháp cơ học hóa học (CMP)
LỢI ÍCH
-
Điều khiển quay ổn định
Được thiết kế cho chuyển động quay mượt mà, không rung lắc nhằm đạt được bề mặt phẳng không khuyết tật. -
Không hóa chất và slurry
Vật liệu được chế tạo từ các thành phần chống ăn mòn để chịu được slurry mài mòn và hóa chất CMP mạnh. -
Tích hợp công cụ liền mạch
Hoàn toàn tương thích với các hệ thống xử lý wafer tự động và các nền tảng tự động hóa quy trình CMP.
Kiểm tra và thử nghiệm wafer
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN ...
- Độ chính xác và độ chuẩn xác
- Thông lượng và thời gian chu kỳ
- Kiểm soát độ sạch và nhiễm bẩn
Danh mục sản phẩm:
BỘ GIẢI PHÁP
Giải pháp kiểm tra và thử nghiệm wafer với ctrlX MOTION và hệ thống truyền động tuyến tính
LỢI ÍCH
-
Độ thẳng và độ phẳng của ray dẫn hướng:
≤ 1 µm/100 mm -
Độ lặp lại định vị:
≤ ±0.5 µm (X/Y), ≤ ±1 µrad (quay) - Chuyển động phối hợp đa trục với cấu hình giới hạn giật giúp chuyển động mượt mà và nhanh chóng
- Điều khiển chuyển động vòng kín với lập kế hoạch quỹ đạo cho các trục X/Y/Z/θ
- Tích hợp với SECS/GEM
Back-End
Mài mặt sau wafer
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN ...
- Định vị tuyến tính dưới micromet
- Tuân thủ tiêu chuẩn phòng sạch
- Độ cứng cao, khả năng giảm rung
- Đồng bộ hóa trục chính
Danh mục sản phẩm:
BỘ GIẢI PHÁP
ctrlX MOTION với trục tuyến tính và chẩn đoán tích hợp.
LỢI ÍCH
- Các bộ truyền động có độ rơ thấp – chất lượng bề mặt cao
- Độ lặp lại cao – giảm tỷ lệ sản phẩm lỗi
- Hệ thống điều khiển có khả năng mở rộng – phù hợp với mọi quy mô
- Chẩn đoán tích hợp –chi phí bảo trì giảm
- Các cấu hình chuyển động được xác định trước – đưa vào vận hành nhanh chóng
Cắt wafer
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN ...
- Chuyển động XY tốc độ cao, không độ rơ
- Điều chỉnh đường đi dựa trên hệ thống thị giác
- Độ lặp lại dưới micromet
- Phòng sạch cấp 5-6
Danh mục sản phẩm:
BỘ GIẢI PHÁP
Giải pháp điều khiển chuyển động XYZ sử dụng ctrlX CORE
LỢI ÍCH
- Định vị tốc độ cao – cắt nhanh hơn
- Chuyển động ổn định – điều khiển lưỡi cắt chính xác
- Mô-đun nhỏ gọn – phù hợp cho phòng sạch
- Giao diện tự động hóa mở – kết nối PLC/HMI dễ dàng
- Công cụ chẩn đoán – khắc phục sự cố nhanh
- Bộ truyền động tiết kiệm năng lượng – giảm chi phí vận hành
Kiểm tra chip
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN...
-
Chuyển động bàn dịch chuyển:
Độ lặp lại; đồng bộ với hệ thống quang học/cảm biến, bù nhiệt -
Chuyển động bàn kẹp:
Tăng/giảm tốc mượt mà, độ chính xác định vị (XYZ) -
Bàn dịch chuyển wafer giảm chấn chủ động:
Chuyển động chính xác, độ lặp lại cao, định vị chính xác
Danh mục sản phẩm:
BỘ GIẢI PHÁP
Giải pháp chuyển động bàn di chuyển và bàn kẹp wafer với ctrlX MOTION, hệ truyền động & điều khiển cùng các hệ thống tuyến tính
LỢI ÍCH
- ăn chỉnh wafer chính xác bằng hệ thống quang học kiểm tra.
- Ngăn wafer bị trượt hoặc rung.
- Chuyển động ổn định theo thời gian – tính ổn định của quy trình trên toàn dải nhiệt độ.
- Độ chính xác dưới nanomet giúp phát hiện khuyết tật
- Kích hoạt chính xác camera hoặc cảm biến trong khi chuyển động
Gắn chip (die)
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN...
- Độ lặp lại
- Độ chính xác định vị cao
- Bù nhiệt & hiệu chỉnh độ trôi
- Đồng bộ với hệ thống quang học/cảm biến kiểm tra
Danh mục sản phẩm:
BỘ GIẢI PHÁP
Giải pháp chuyển gắn chip cơ bản (ctrlX Motion) + tích hợp vòng điều khiển lực
LỢI ÍCH
- Các thành phần với khả năng điều khiển lực trục Z chính xác đem đến chất lượng gắn die cao.
- Tích hợp EtherCAT để giao tiếp liền mạch
- Bộ giải pháp với HMI và logic điều khiển có thể tùy chỉnh – giảm lỗi, vận hành an toàn.
- Phản hồi thời gian thực – giảm thiểu phế phẩm
- Tích hợp hệ thống linh hoạt
Ép khuôn chip
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN...
- Giám sát lực/vị trí ép khuôn
- Các trục có độ cứng cao, ổn định nhiệt
- Độ kín quy trình & độ sạch
- Truyền động đồng thời các trục song song
Danh mục sản phẩm:
BỘ GIẢI PHÁP
Bộ giải pháp chuyển động lực cao với điều khiển vòng kín (ctrlX MOTION)
LỢI ÍCH
- Các thành phần cho phép đóng khuôn chính xác – không cần hệ thống thủy lực.
- Dễ bảo trì – thời gian ngừng máy thấp
- Điều khiển vòng kín áp suất và vị trí – độ ổn định cao
- Hồ sơ chuyển động tùy chỉnh – điều khiển dành riêng cho sản phẩm
- Giảm dây dẫn – tủ điện gọn gàng hơn.
Kiểm tra cuối
CHUỖI GIÁ TRỊ CỦA BẠN CẦN...
- Định vị bước tốc độ cao
- Tích hợp với máy kiểm tra
- Khả năng đặt vị trí lặp lại
- Chuyển động sạch và an toàn
- Thu thập dữ liệu
Danh mục sản phẩm:
BỘ GIẢI PHÁP
ctrlX S-MOTION với HMI dạng mô-đun và giao diện thị giác
LỢI ÍCH
- Các linh kiện cho phép chuyển động chính xác và động học cao – giúp chu kỳ kiểm tra nhanh và kết quả chính xác.
- Kết nối sẵn sàng với MES – phù hợp nhà máy số
- Phần cứng và phần mềm điều khiển chuyển động có khả năng mở rộng – dễ dàng cập nhật
- Tích hợp linh hoạt với các dây chuyền kiểm tra hiện có – giảm chi phí đầu tư.
Sản xuất điện tử
Công nghệ gắn linh kiện bề mặt (SMT)
Hàn
Kiểm tra
Vận chuyển chip
Tìm giải pháp tự động hóa phù hợp cho thử thách của bạn
Khám phá Danh mục Ứng dụng của Bosch Rexroth: tập hợp mãnh mẽ gồm các ứng dụng tự động hóa thực tế, được kết hợp với các sản phẩm, công cụ và đối tác chuyên gia phù hợp. Từ việc xác định giải pháp lý tưởng cho thử thách của bạn đến việc tăng tốc triển khai với các mẫu giải pháp được xác thực, danh mục hướng dẫn bạn từ ý tưởng đến thực hiện.
Giải pháp thông minh hơn cho sản xuất bán dẫn
Khám phá các giải pháp tiên tiến của chúng tôi cho toàn bộ chuỗi quy trình sản xuất bán dẫn, từ các thành phần đạt chuẩn phòng sạch cho việc xử lý wafer đến các hệ thống động để kiểm tra chip. Video này từ Semicon Europa 2025 giới thiệu những cải tiến mới nhất của chúng tôi.
Được thiết kế cho khả năng mở rộng quy mô
Sự tin tưởng, tốc độ và sự thấu hiểu chung – đó là những lợi thế khi làm việc với đội ngũ chuyên gia toàn cầu của chúng tôi. Đặt trụ sở tại trung tâm của những khu vực trọng điểm trong ngành công nghiệp bán dẫn, chúng tôi quy tụ đội ngũ chuyên gia với kinh nghiệm đa dạng. Bên cạnh năng lực kỹ thuật hàng đầu, bạn có thể tin tưởng vào mức độ tích hợp theo chiều dọc cực cao, điều này giúp sản phẩm của chúng tôi giảm thiểu phụ thuộc vào chuỗi cung ứng. Với mạng lưới sản xuất toàn cầu, chúng tôi luôn hiện diện ở nơi bạn cần.
