Sự điều khiển Wafer
Các giải pháp điều khiển và quy trình sản xuất wafer của Bosch Rexroth được thiết kế để cân bằng hoàn hảo các hệ truyền động trợ động động năng cao, hệ thống phụ tuyến tính có độ bền cao và bộ truyền động khí nén – với độ bền cao và không bị quá tải hay phản ứng dữ dội. Điều này cho phép ít thời gian vô ích hơn đồng thời xử lý tiêu chuẩn trong các hoạt động tối ưu hoá yêu cầu của khách hàng. Ngoài ra, các thuật toán được xác định trước trong hệ thống điều khiển chuyển động giúp ngăn chặn việc rung lắc. Các chuỗi chuyển động mượt mà hơn kích hoạt cấu hình chuyển động và hàm chốt trục bậc cao.
Các giai đoạn Wafer
Chương trình giai đoạn wafer của chúng tôi đã được thiết kế để điều khiển chuyển động với độ chính xác cao trong phạm vi nanomet. Do đó, điều này lý tưởng cho việc căn chỉnh, định vị và thử nghiệm tấm wafer trong giai đoạn kiểm soát chất lượng. Hệ thống điều khiển chuyển động chính xác MPC đảm bảo độ chính xác cao với độ phân giải 1 - 5 nm cũng như chuyển động chậm đồng đều ≥ 50 nm/s. Động cơ trợ động đặc biệt cũng như động cơ mô-men xoắn tuyến tính không sắt giúp nâng cao hiệu suất động lực học. Các rãnh dẫn hướng tuyến tính có độ chính xác cao giúp loại bỏ sự rung lắc. Việc bổ sung hệ thống khí nén phụ hoàn tất bộ phần mềm tự động hóa. Các cấu hình chuyển động và hàm chốt trục bậc cao tạo ra những chuỗi chuyển động mượt mà hơn.
Hệ thống vận tải linh hoạt
Được đơn giản hóa và có thể thực hiện trong những điều kiện khó khăn nhất, hệ thống vận tải linh hoạt FTS của Rexroth tích hợp hệ thống chuyển động không tiếp xúc bên ngoài. Các cuộn dây được gắn bên ngoài khoang cung cấp năng lượng truyền động cho các vật tải mang từ tính không yêu cầu dấu. Việc gắn bên ngoài cũng làm tăng tính khả dụng. Công nghệ truyền động tịnh tiến này phù hợp với hầu như toàn bộ hệ số tải, mức độ chính xác và cấu hình chuyển động. Hệ thống cho phép sự linh hoạt đặc biệt và các vật tải riêng lẻ có thể di chuyển tiến lùi với nhiều tốc độ khác nhau.
Giàn
Đối với màn hình phẳng và mô-đun năng lượng mặt trời, hệ thống giàn Bosch Rexroth cung cấp khả năng định vị không xoắn với độ chính xác cao. Bao gồm trong phạm vi hệ thống tự động hóa giàn này là các thành phần của một loạt các kích thước và xếp hạng tải. Hệ thống điều khiển chuyển động cung cấp sự phối hợp năng động, chính xác cao của hai trục, mỗi trục có vòng điều khiển riêng mà không cần bất kỳ kết nối cơ khí nào. Ngoài ra, mức độ chính xác tối đa của đường viền được đảm bảo thông qua đồng bộ hóa thời gian thực dựa trên Sercos.
Đăng ký
Hệ thống truyền động động cơ trợ động giúp cải thiện mức độ chính xác, tốc độ và kết quả đầu ra của máy với những thay đổi định dạng liền mạch. Hệ truyền động trợ động động năng cao và công nghệ truyền động tịnh tiến nhỏ gọn giúp giảm thiểu thời gian nạp liệu trong quá trình thay đổi định dạng. Hệ thống truyền động bằng điện liền mạch, đo lường và điều khiển cho phép thay đổi định dạng mà không bị chậm trễ.
Kiểm soát độ căng của web đa vùng
Cho phép quy trình sản xuất ổn định hơn bằng cách tạo điều kiện cho nhiều vùng kiểm soát độ căng của web. Máy cuộn hiện đại yêu cầu các vùng kiểm soát độ căng của web khác nhau để đảm bảo quy trình sản xuất ổn định và đáng tin cậy. Điều khiển độ căng web từ Rexroth Multizone sử dụng kỹ thuật "tách rời" để tạo điều kiện cho nhiều vùng độ căng trong một máy.
Vùng lưu trữ dữ liệu tạm thời cho trang web
Một phần web dừng hoạt động một thời gian ngắn trong quá trình kiểm tra hoặc khi truyền tải web liên tục trong nhà máy và nâng cao hiệu suất nhờ giảm thiểu thời gian chu kỳ.
Quy trình cán mỏng
Quy trình cán mỏng – ghép nhiều lớp giống như phim với vật liệu cơ bản – yêu cầu tốc độ web cao và độ căng của web chính xác trên một khu vực rộng lớn. Kiến trúc hệ thống mở cho phép tích hợp dễ dàng các phụ kiện của bên thứ ba. Tủ chuyển mạch nhỏ gọn làm giảm bề mặt lắp đặt của máy.
Quá trình laser
Hệ thống điều khiển dựa trên bộ điều khiển hiệu suất cao của Bosch Rexroth cho phép thực hiện quá trình gia công bằng laser trong suốt giai đoạn vận tải web liên tục. Vận tải web liên tục bên trong máy, năng suất của máy cao hơn nhờ thời gian chu kỳ nhanh hơn và chi phí thấp hơn mà không cần tủ điều khiển do không cần thêm hệ thống điều khiển.
Quá trình sơn
Việc đảm bảo vận chuyển chất nền không hạt bẩn là hoàn toàn cần thiết cho quá trình sơn, đặc biệt khi điều này liên quan đến các ứng dụng chiếu sáng OLED. Để đạt được mục tiêu này, Rexroth trang bị hệ thống vận tải linh hoạt FTS cho các chuyển động truyền động tuyến tính, có thể sử dụng trong điều kiện môi trường chân không cao. Hệ thống không tạo ra hoặc thải ra bất kỳ hạt lạ nào, qua đó cải thiện chất lượng của quá trình sơn. Các cuộn dây được gắn bên ngoài khoang cung cấp năng lượng truyền động cho các hạt tải mang từ tính. Không cần con dấu và tính khả dụng tăng lên bởi tất cả các phụ kiện điện được gắn bên ngoài khoang.