반도체 및 전자

반도체 및 전자산업을 위한 자동화 기술

WE MOVE.

웨이퍼 취급

Bosch Rexroth 웨이퍼 취급 및 가공 솔루션은 오버슈팅이나 반발 없이 높은 강성을 갖고 역동성 높은 서보 드라이브와 고강성 리니어 하위 시스템, 공압 액추에이터 사이에서 완벽하게 균형을 유지할 수 있도록 설계하였습니다. 따라서 유휴 시간이 적고 프런트 엔드 운영의 취급 처리량을 표준화할 수 있습니다. 또한 모션 제어 시스템에 미리 지정한 알고리즘에 의해 진동을 방지합니다. 그리고 고차원의 동작 프로파일과 스플라인 기능 덕분에 원활한 동작 시퀀스가 가능합니다.

웨이퍼 스테이지

당사의 웨이퍼 스테이지 프로그램은 나노미터 범위 내에서 고도로 정밀한 모션 제어를 위해 설계되었습니다. 따라서 품질 관리 단계의 웨이퍼 정렬과 위치 선정 및 시험에 적합합니다. 정밀한 모션 제어 시스템 MPC는 해상도 1~5nm의 높은 정밀도와 50nm/s 이상의 균일하게 느린 동작을 보장합니다. 특수 서보 모터와 무철심 리니어 및 토크 모터가 동적 성능을 강화하고 고도로 정밀한 리니어 가이드가 진동을 없애며 공압 하위 시스템을 추가하여 자동화 패키지를 완성합니다. 그리고 고차원의 동작 프로파일과 스플라인 기능 덕분에 동작 시퀀스가 원활합니다.

유연 운반 시스템

간단하고 아무리 까다로운 환경에서도 작동하는 Rexroth 유연 운반 시스템 FTS는 외부의 비접촉 모션 시스템을 통합합니다. 챔버 외부에 장착한 코일은 씰이 필요 없는 자기 캐리어에 구동력을 제공합니다. 외부에 장착한다는 점 역시 가용성을 높입니다. 이 리니어 모션 기술은 사실상 모든 부하 요인과 정밀도, 모션 프로파일에 적합합니다. 유연성이 뛰어난 시스템이며 개별 캐리어가 다양한 속도로 앞뒤 이동이 가능합니다.

갠트리

평면 디스플레이와 태양광 모듈의 경우 Bosch Rexroth 갠트리 시스템은 정확도 높고 비틀림 없는 위치를 선정합니다. 갠트리 자동화 시스템에 포함된 부품은 크기와 정격 하중이 다양합니다. 모션 제어 시스템이 기계적 연결 없이 각각 자체 제어 루프를 이용해 매우 역동적이고 정밀하게 두 축을 조율합니다. 또한 Sercos 기반의 실시간 동기화를 통해 최대한의 윤곽 정밀도를 보장합니다.

등록

포맷을 원활하게 변경하면서 정확성과 속도, 기계 출력을 개선해 주는 서보 모터 드라이브입니다. 매우 동적인 서보 드라이브와 소형 리니어 모션 기술이 포맷 변경 중 피드 시간을 최소화합니다. 원활한 전자 트랜스미션과 등록 제어 기능으로 지연 없이 포맷을 변경합니다.

다구역 망 장력 제어

다중 망 장력 제어 구역을 용이하게 함으로써 더욱 안정적인 생산 공정이 가능해집니다. 현대의 롤 투 롤 기계는 안정적인 믿을 수 있는 생산 공정을 보장하기 위해 서로 다른 망 장력 제어 구역이 필요합니다. Rexroth 다구역 망 장력 제어는 '디커플링' 기법을 이용해 기계 한 대에 여러 개의 장력 구역을 만듭니다.

웹 버퍼

주기를 단축한 덕분에 검사 작업 중에 웹 섹션을 잠시 중단할 수 있고 플랜트에서 연속으로 웹 이송이 가능하며 생산성이 강화됩니다.

라미네이션 공정

필름 같은 층 여러 개를 기본 물질에 결합하는 라미네이션 공정에는 높은 웹 속도와 넓은 영역에서의 정확한 웹 장력이 필요합니다. 개방형 시스템 아키텍처로 타사 부품을 쉽게 통합할 수 있습니다. 소형 컨트롤 캐비닛이 기계의 설치면을 줄여줍니다.

레이저 공정

컨트롤러 기반의 Bosch Rexroth 고성능 제어 시스템을 이용하면 연속 웹 이송 중에도 레이저 기계 가공 공정이 가능합니다. 기계에서 연속 웹 이송이 가능하고 빠른 주기를 통해 기계 생산성이 향상되며 추가 제어 시스템이 필요하지 않으므로 컨트롤 캐비닛이 필요 없어 비용이 절감됩니다.

코팅 공정

코팅 공정에는 무분진 기질 이송이 반드시 보장되어야 합니다. 특히 OLED 조명 장치의 경우 더욱 그렇습니다. 이를 위해 Rexroth는 리니어 이동 동작을 위한 유연한 운반 시스템 FTS를 제공합니다. FTS는 높은 진공 상태에서 사용할 수 있습니다. 이물질을 발산하거나 방출하지 않으므로 코팅 공정의 품질이 향상됩니다. 챔버 외부에 장착한 코일이 자기 캐리어에 구동력을 제공합니다. 씰이 필요 없으며 모든 전기 부품을 챔버 외부에 장착하므로 가용성이 높습니다.

YOU WIN.

에너지와 자원 절약

'미터 계량식' 플라스틱 전자제품은 인쇄된 RFID 칩은 물론 연성 기자재 위에서 폴더블 또는 유기 디스플레이, 롤업 태블릿 PC, 유기 태양광 전지 등을 생산하는 산업을 일컫는 말입니다. 마치 신문지를 인쇄하듯 친환경 방식으로 제품을 인쇄하면서 자원을 보존하고 비용을 절감하며 볼륨 기반의 생산 기법과도 호환됩니다. 이 기술은 실험실부터 공장까지 확장되며 전혀 새로운 생산 가능성의 세상을 열어줍니다.

구성 가능성

Bosch Rexroth는 유연 운반 시스템으로 구성 가능성에 새로운 기준을 세웠습니다. 이 시스템에서는 모든 전자 부품을 공정 챔버 외부에 장착합니다. 그렇기 때문에 밀봉된 공정 챔버를 통해 비접촉 방식으로 웨이퍼를 움직입니다. 시스템의 유지보수가 쉬운 데다 사용자가 제어장치를 이용해 무수히 많은 모션 작업을 추가할 수 있습니다.

업계 경험

Bosch Rexroth는 미래의 기술과 개발을 늘 빠르게 찾아서 촉진합니다. 진화하는 플라스틱 전자제품의 견고한 기반이 된 태양광 산업이 좋은 예입니다. 이 영역에서 새로운 작업을 달성하려면 인쇄업과 전자공학 두 업계를 아우르는 탄탄한 노하우가 필요합니다. Bosch Rexroth는 두 분야의 환경에서 다년간 귀한 경험을 쌓아 왔기에 전자공학 업계의 코팅 공정과 인쇄업계에서 사용하는 전통적인 생산 공정에 모두 익숙합니다.

사례 연구

Rexroth의 자동화 솔루션을 이용하는 3D-Micromac AG

인쇄형 전자제품: 대량 생산을 향하여

연성 기질 위에 전자 회로를 인쇄하는 작업은 몇 년 후 일상생활의 모습을 바꿔놓을 것입니다. 독일 켐니츠에 있는 첨단 기업 3D-Micromac AG는 모듈식 생산 라인인 Microflex를 개발했습니다. 이 기업은 장력을 고도로 정밀하게 제어하는 웹 운송을 비롯하여 기계 자동화 분야에서 Rexroth와 긴밀히 협업하고 있습니다.

이 회사는 인쇄형 전자제품의 제조에 전념하여 모듈식 MicroFLEX 시스템을 개발했습니다. 롤 투 롤 공정으로 전자 회로의 제조 비용을 절감했습니다. 이 과정에서 Rexroth는 웹 프레스 자동화의 시장 리더로서 다년간 쌓은 경험을 보탰습니다.