Fokusprodukter:
Accelerera halvledarteknik och automatisering
Välkommen till din erfarna konstruktions- och automatiseringspartner för mekatronik och rörelsestyrning. Vi stöttar dig med snabba konstruktioner och färdiga lösningar genom hela halvledar- och elektronikvärdeströmmen.
Över 20 års meritlista kombinerat med snabb svarstid
Öka hastigheten från labbet till fabriken – i nära samarbete från den första prototypen. Gör det enkelt med färdiga mekatroniska underenheter och precis rörelsestyrning utformat för din applikation. Allt passar enkelt och sömlöst in i din maskindesign. Behärska skalbarhet med kopieringsexakt tillverkning. Utnyttja hållbarhet och livslängd med våra egna kvalitetskomponenter. Och oavsett vad du behöver för support finns våra experttekniker alltid nära till hands.
Frontend
Plattransport OHT
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Ramstruktur
- Lastkapacitet
- Gränssnitt till OHT
- Säkerhets- och renrumsaspekter
Produktkategori:
KOMPONENTER
Spårprofiler i aluminium och anslutningselement för renrum
FÖRDELAR
- Anodiserad aluminium för minskad partikelgenerering
- Täcker öppna T-spår med lock för renrumsefterlevnad
- Kompatibilitet med ISO klass 3–4-miljöer
-
Monteringsfästen och fästanordningar
(M8 rostfritt eller starkare) motstår vibrationer
Plattrengöring – platthanteringssystem för batchvis rengöring av plattor
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Stänkfri plattrörelse
- Minimerad partikelkontaminering
Produktkategori:
DELMONTERING
Batchvis hantering av plattor:
Sömlös, precis transport av plattbåtar genom varje steg i våtrengöringsprocessen
FÖRDELAR
-
Precisionskonstruktioner
Rörelsestyrning med flera axlar och ryckbegränsade lyft möjliggör mycket exakt platthantering. Säkerställer repeterbara, jämna rörelser för minimal mekanisk belastning. -
Hög genomströmning och effektivitet
Optimerad för kontinuerlig, snabb överföring av plattor utan att kompromissa vad gäller säkerhet eller precision. Ökar produktiviteten samtidigt som en jämn processkvalitet bibehålls. -
Skonsam och stänkfri hantering
Utformad för att minimera mekanisk och kemisk belastning på plattorna. Säkerställer integriteten hos känsliga plattytor vid våtbearbetning.
Faktablad: Platthanteringssystem för batchvis rengöring av plattor
Plattrengöring – platthanteringssystem för rengöring av enskilda plattor
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Kompatibilitet med alla större CMP- och mättekniska plattformar
- SEMI E84/E87-överensstämmelse
Produktkategori:
DELMONTERING
Hantering av enskilda plattor:
Transport med hög precision för rengöring av enstaka plattor mellan CMP och nedströmsprocess
FÖRDELAR
-
Transport med hög precision
Säkerställer korrekt och stabil plattrörelse mellan CMP och nedströmsprocesser. Minimerar feljustering av plattor och hanteringsfel. -
Sömlös CMP-integrering
Speciellt utformat för överföring mellan CMP-utrustning och efterföljande rengörings- eller bearbetningsstationer. -
Hög genomströmning och effektivitet
Optimerat för snabb transport utan att kompromissa vad gäller precisionen. Förbättrar den övergripande processavkastningen och produktionens effektivitet.
Faktablad: Platthanteringssystem för rengöring av enskilda plattor
Deposition
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
-
Renhet och kontamineringsstyrning:
Minst ISO 5-renrum. Inga smörjmedel som släpper ut gaser eller bildar partiklar – ofta torra lager eller vakuumkompatibla fetter -
Temperatur- och materialkompatibilitet:
Tolerans för processtemperaturer (upp till ~450 °C för CVD, högre för vissa PVD) utan deformation
Produktkategori:
DELMONTERING
Lyftstift för plattor:
Vårt platthanteringssystem för deposition garanterar exakta lyft- och positioneringsfunktioner
FÖRDELAR
-
Precisa lyft och stöd för plattor
Säkerställer noggranna lyft och sänkningar av plattor vid deposition, vilket förhindrar ytkontakt som kan skada ömtåliga filmer. -
Vakuum- och renrumskompatibilitet
Tillverkat av ultrarena material med låg utgasning för att uppfylla stränga på vakuum- och renrumskrav -
Stabil, repeterbar positionering
Ger repeterbarhet på mikrometernivå för att bibehålla en jämn filmtjocklek och exakt processinriktning
Etsning – platthanteringssystem för lastning i estningskammaren
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Tillförlitlig, kontamineringsfri överföring av plattor till kritiska etsningsmiljöer
- Exakt justering, säker positionering och smidig avlämning mellan kassetter, FOUP-enheter och etsningskammare
Produktkategori:
DELMONTERING
Leverans av extremt tillförlitlig, kontamineringsfri plattöverföring till kritiska etsningsmiljöer
FÖRDELAR
-
Precisionsjustering och -positionering
Säkerställer exakt plattcentrering och orientering för tillförlitlig överföring till etsningskammare. -
Sömlös automatiseringsintegrering
Fullt kompatibelt med robotarmar, FOUP-lastare och fabriksautomatisering (FA)-system för högkapacitetsdrift. -
Hög cykelhållbarhet
Byggt för kontinuerlig drift dygnet runt med beprövad mekanisk livslängd och minimala underhållskrav.
Faktablad: Platthanteringssystem för lastning i etsningskammare
Etsning – platthanteringssystem för våtetsning
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Lämplighet för rengöring före och efter etsning
- Högkvalitativ borttagning av partiklar och restprodukter
- Minimerad kemikalieförbrukning och plattbelastning
Produktkategori:
DELMONTERING
Toppmodernt rengöringssystem med enskilda plattor för våtbehandling med precision vid halvledartillverkning
FÖRDELAR
-
Positionsnoggrannhet på mikronnivå
Styrning med exakt lyfthöjd säkerställer korrekt placering med spray-, dopp- eller dispenseringsmunstycken. -
Ultralåg partikelgenerering
Ren, kontaktoptimerad mekanik för att minimera kontaminering under frätande våtbehandling. -
Redo för automatisering
Integreras sömlöst med hanteringssystem för våtbänk och robotöverföringsmoduler.
CMP
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
-
Skonsam hantering:
Smidiga profiler för acceleration för att förhindra att plattan glider eller går sönder -
Ren miljö:
Antistatisk design för att minska partikelattraktion -
Exakt positionering:
Justera plattor exakt vid ingångsporten till nästa verktyg -
Integrering:
Kommunikation med båda verktygens lastportar och fabriksautomatisering
Produktkategori:
DELMONTERING
Polering i rotationsenhet:
System för ultraexakt platthantering under kemisk-mekanisk planarisering.
FÖRDELAR
-
Stabil roterande styrning
Konstruerad för jämn, vibrationsfri rotation för att uppnå felfria plana ytor. -
Kemikalie- och slurryresistent
Material som är konstruerade med korrosionsbeständiga komponenter för att tåla nötande slurry och aggressiva CMP-kemikalier. -
Sömlös verktygsintegrering
Helt kompatibelt med automatiserad platthantering och CMP-processautomatiseringsplattformar.
Besiktning och testning av plattor
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Precision och noggrannhet
- Genomströmning och cykeltid
- Styrning av renlighet och kontaminering
Produktkategori:
LÖSNINGSSATS
Besiktning och testning av plattor med ctrlX MOTION och linjärsystem
FÖRDELAR
-
Räta och platta linjära skenor:
≤ 1 µm/100 mm -
Repeterbar positionering:
≤ ±0,5 µm (X/Y), ≤ ±1 µrad (rotation) - Fleraxlig koordinerad rörelse med ryckbegränsade profiler för jämna, snabba rörelser
- Återkopplad rörelsestyrning med banplanering för X/Y/Z/θ-axlar
- Integrering med SECS/GEM
Backend
Baksidesslipning av plattor
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Submikron linjär positionering
- Renrumsefterlevnad
- Hög styvhet, vibrationsdämpning
- Spindelsynkronisering
Produktkategori:
LÖSNINGSSATS
ctrlX MOTION med linjära axlar och inbyggd diagnostik
FÖRDELAR
- Drivenheter med låg motreaktion – hög ytkvalitet
- Hög repeterbarhet – färre avvisningar
- Skalbart styrsystem – passar alla storlekar
- Integrerad diagnostik – färre underhållsinsatser
- Fördefinierade rörelseprofiler – snabb driftsättning
Tärning av plattor
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Snabb, bakslagsfri XY-rörelse
- Synbaserad vägkorrigering
- Submikron repeterbarhet
- Renrumsklass 5–6
Produktkategori:
LÖSNINGSSATS
Rörelselösning med XYZ-styrning med ctrlX CORE
FÖRDELAR
- Höghastighetspositionering – snabbare kapningar
- Stabil rörelse – exakt bladrörelse
- Kompakta moduler – redo för renrum
- Öppna automatiseringsgränssnitt – enkel PLC/HMI-länk
- Diagnostikverktyg – snabb felsökning
- Energieffektiva drivenheter – lägre kostnader
Chiptestning
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
-
Fasförflyttning:
Repeterbarhet; synkronisering med optik/sensorer, termisk kompensation -
Chuckrörelse:
Smidig acceleration/retardation, positioneringsnoggrannhet (XYZ) -
Aktivt dämpad plattfas:
Exakt rörelse, repeterbarhet, noggrann positionering
Produktkategori:
LÖSNINGSSATS
Fas- och chuckrörelselösningar med ctrlX MOTION, drivenheter, styrningar och linjärsystem
FÖRDELAR
- Exakt justering av plattor med inspektionsoptik
- Förhindrar glidning eller vibrationer från plattor
- Konsekvent rörelse över tid – processtabilitet över hela temperaturintervallet
- Sub-nanometerprecision för defektdetektering
- Exakt aktivering av kameror eller sensorer under rörelse
Chipbonding
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Repeterbarhet
- Hög positioneringsnoggrannhet
- Termisk kompensation och driftkorrigering
- Synkronisering med inspektionsoptik/sensorer
Produktkategori:
LÖSNINGSSATS
Grundläggande bondingsrörelselösning (ctrlX Motion) + integrering av kraftslinga
FÖRDELAR
- Komponenter med exakt Z-kraftreglering för hög bondingkvalitet
- EtherCAT-integrering för sömlös kommunikation
- Lösningssats med anpassningsbar HMI och styrlogik – färre fel, säker användning
- Feedback i realtid – mindre andel skrot
- Flexibel systemintegrering
Chipformning
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Övervakning av kraft/position för formpress
- Styva, termiskt stabila axlar
- Processförsegling och renlighet
- Parallellaxelaktivering
Produktkategori:
LÖSNINGSSATS
Styrning av rörelsesats med hög kraft och sluten slinga (ctrlX MOTION)
FÖRDELAR
- Komponenter för exakt formstängning – utan hydraulik
- Enkelt underhåll – liten andel stillestånd
- Tryck och position med sluten slinga – hög stabilitet
- Anpassade rörelseprofiler – produktspecifik styrning
- Reducerad kabeldragning – renare kontrollskåp
Sluttest
DIN VÄRDESTRÖM BEHÖVER ...
- Indexering med hög hastighet
- Integrering med testare
- Repeterbar placering
- Ren rörelse och säkerhet
- Datafångst
Produktkategori:
LÖSNINGSSATS
ctrlX S-MOTION med modulärt HMI- och syngränssnitt
FÖRDELAR
- Komponenter som möjliggör hög dynamik och precisionsrörelse – för snabba testcykler och noggranna resultat
- MES-förberedd anslutning – digital fabriksmontering
- Skalbar maskin- och programvara för rörelse – enkla uppdateringar
- Flexibel integrering med befintliga testlinjer – reducerad CAPEX
Elektronikproduktion
Ytmonteringsteknik (SMT)
Lödning
Fokusprodukter:
Besiktning
Fokusprodukter:
Chiptransport
Hitta rätt automatiseringslösning för din utmaning
Utforska Bosch Rexroths applikationskatalog: en dynamisk samling av verkliga automatiseringsapplikationer som har matchats med rätt produkter, verktyg och expertpartners. Från att identifiera den perfekta lösningen för din utmaning till att påskynda implementeringen med validerade mallar – katalogen vägleder dig från idé till genomförande.
Smartare lösningar för produktion av halvledare
Utforska våra avancerade lösningar för hela halvledarprocesskedjan, från renrumscertifierade komponenter för platthantering till dynamiska system för chiptestning. Den här videon från Semicon Europa 2025 visar våra senaste innovationer.
Tillverkat för skalbarhet
Förtroende, snabbhet och ett gemensamt språk – det är fördelarna med att arbeta med vårt globala expertteam. Vi håller till mitt i halvledarindustrins hjärta och förenar bred expertis inom branschens viktigaste tillväxtområden. Utöver ledande konstruktioner kan du förlita dig på en extremt hög vertikal integrering, vilket gör våra produkter oberoende av problem med leveranskedjorna. Med vårt globala tillverkningsnätverk befinner vi oss där du är.
