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PI 109-11 11.10.2011

Präzise, flexibel, wirtschaftlich

Präzise, flexibel, wirtschaftlich

Automatisierungslösungen von Rexroth für die Halbleiterindustrie

Die Halbleiterbranche stellt höchste Ansprüche an die Leistungsfähigkeit an Automatisierungslösungen. Nur genau auf die jeweiligen Anforderungen zugeschnittene Komponenten können Bewegungsaufgaben unter Vakuum, Schutzatmosphären und Reinraumbedingungen sicher und zuverlässig ausführen. Von extrem langsamen bis hin zu hochdynamischen Bewegungen: das Aufgabenspektrum an die Automatisierung ist breit und fordert höchste Präzision und Wiederholgenauigkeiten bis in den Nanometerbereich. Maschinenhersteller verlangen Lösungen, die ihnen durch offene Strukturen maximale Freiheiten bieten. Technologieübergreifende Systemlösungen von Rexroth reduzieren die Komplexität im Engineering, der Montage und während der Inbetriebnahme. Innerhalb standardisierter Plattformen erfüllen speziell für die Halbleiterindustrie entwickelte Varianten diese Anforderungen.

Das Produktportfolio umfasst eine breite Palette von Antrieben für rotatorische Servo- und Schrittmotoren sowie eine Vielzahl von Direktantrieben. Speziell für die Branche entwickelte eisenlose Linearmotoren decken in fünf Baugrößen mit abgestuften Baulängen einen breiten Kraft- und Geschwindigkeitsbereich ab.

Für die Regelung stellt Rexroth Motion-Control-Systeme mit offener Architektur und integrierten Kompaktantrieben bereit. Mit ihren universellen Geberschnittstellen eignen sie sich für die Kombination mit verschiedenen Längenmesssystemen. Als einbaufertige Achsen liefert Rexroth die Motoren komplett mit abgestimmten Linearführungen, Längenmesssystemen, sowie Antriebsreglern.

Rexroth stellt eine umfassende Auswahl an Profilschienen und Führungswagen bereit. Die präzise Fertigung in kompatiblen Genauigkeits- und Vorspannungsklassen ermöglicht umfangreiche Kombinationen und Flexibilität über alle Bauformen. Dadurch können Führungswagen und -schienen der gleichen Technologie und Größe beliebig kombiniert werden. Korrosionsbeständige und reinraumtaugliche Ausführungen ermöglichen eine Standardisierung über alle Prozessschritte. Auch in der Lineartechnik setzt Rexroth auf eine feine Skalierbarkeit und hat ein umfangreiches Spektrum an Miniatur- und Präzisionsführungen für die Halbleiterindustrie entwickelt. Präzisionsmodule übernehmen als einbaufertige Linearsysteme die hochdynamische Bewegung kleiner Massen auf engstem Raum. Der integrierte Kugelgewindetrieb mit spielfreiem Mutternsystem garantiert eine hohe Positionier- und Wiederholgenauigkeit.

Das Pneumatikportfolio umfasst eine breite Palette an Aktoren, Ventilträgersystemen und Druckluftaufbereitung. Über Busmodule zu allen gängigen Führungskommunikationen fügen sich diese Komponenten in verschiedenste Automatisierungsumgebungen ein. Eine Vielzahl von Positionier-, Dreh- und Greifmodulen eröffnen einen hohen Freiraum für das Handling von Bauteilen. Nur Rexroth bietet in ihren Baumaßen identische pneumatische und elektrische Aktoren mit formschlüssiger Verbindungstechnik Easy-2-Combine. Das ermöglicht einen einfachen Austausch der beiden Technologien ohne in die Grundkonstruktion eingreifen zu müssen.

Rexroth stellt auf der SEMICON Europa in Halle 1, Stand 1.048 aus.

Die Bosch Rexroth AG ist einer der weltweit führenden Spezialisten für Antriebs- und Steuerungstechnologien. Für über 500.000 Kunden entstehen unter der Marke Rexroth maßgeschneiderte Lösungen zum Antreiben, Steuern und Bewegen. Bosch Rexroth ist Partner für Mobile Applications, Machinery Applications and Engineering, Factory Automation sowie Renewable Energies. Für die jeweiligen Märkte bildet das Unternehmen die Anforderungen und Besonderheiten ab. Als The Drive & Control Company entwickelt, produziert und vertreibt Bosch Rexroth seine Komponenten und Systeme in über 80 Ländern. Das Unternehmen der Bosch-Gruppe erzielte 2010 mit 34.900 Mitarbeitern einen Umsatz von rund 5,1 Milliarden Euro.

Mehr Informationen unter www.boschrexroth.com

Die Bosch-Gruppe ist ein international führendes Technologie- und Dienstleistungsunternehmen. Mit Kraftfahrzeug- und Industrietechnik sowie Gebrauchsgütern und Gebäudetechnik erwirtschafteten rund 285.000 Mitarbeiter im Geschäftsjahr 2010 einen Umsatz von 47,3 Milliarden Euro. Die Bosch-Gruppe umfasst die Robert Bosch GmbH und ihre mehr als 350 Tochter- und Regionalgesellschaften in über 60 Ländern; inklusive Vertriebspartner ist Bosch in rund 150 Ländern vertreten. Dieser weltweite Entwicklungs-, Fertigungs- und Vertriebsverbund ist die Voraussetzung für weiteres Wachstum. Im Jahr 2010 gab Bosch 3,8 Milliarden Euro für Forschung und Entwicklung aus und meldete über 3.800 Patente weltweit an. Mit allen seinen Produkten und Dienstleistungen fördert Bosch die Lebensqualität der Menschen durch innovative und nutzbringende Lösungen.

Mehr Informationen unter www.bosch.de , www.bosch-presse.de

 

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