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半導体・電子機器

最高の精度に合わせたソリューション: ボッシュ レックスロスは、半導体技術分野で数多くのオートメーション化技術を提供します

半導体及び電子機器
 
 

半導体技術分野では、何百もの製造工程においてナノメーター単位で作業が進むため、極めて高い精度が要求されます。半導体業界はオートメーション化に向け、革新的かつカスタマイズされたシステム・ソリューションを用意するビジネスパートナーを求めています。半導体業界で、広範囲の技術に裏打ちされたボッシュ レックスロスのサービスは、電子機器製造時のあらゆる工程で機能と品質の点で高い評価を受けております。

リニア モーション システムで、ボッシュ レックスロスはひとつの基準を打ち立てました。同システムでは、全電子機器ユニットがプロセス・チャンバー外側に取り付けられています。その結果、ウェハーが密閉されたプロセス・チャンバー内で異物に触れることなく移動できるようになります。このシステムはメンテナンスが容易で、さらに多様な動線を操作することができます。

また、ボッシュ レックスロスは、ウェハー処理・ウェハー ステージ・バックエンド・ギャントリーやプラスチック電子機器向けのおいて、各種モジュールを提供しています。例えば、振動が生じないゆっくりとした製造工程でも、ハイスピード・ポジションでも当システムを利用することで、極めて高い精度が実現します。

ボッシュ レックスロスは、世界中に張りめぐらされた専門スタッフのサポート網を提供しています。お客様は迅速に専門的なサポートを受けることができます。顧客のノウハウ保護については、ボッシュ レックスロスが100年以上にわたって実践してきたように、常に保証しています。