半導体及び電子機器

最高の精度に合わせたたソリューション: ボッシュ・レックスロスは,

半導体技術分野で、世界でも最多種のオートメーション化技術を提供します。

半導体及び電子機器
 
 

何百もの製造工程でナノメーター単位で作業が進むため、半導体技術分野では最高度の精度が要求されます。半導体業界はオートメーション化に向け、革新的でかつ個別案件にカスタマイズされたシステム・ソリューションを用意するビジネスパートナーを求めています。半導体業界で、広範囲の技術に裏打ちされたボッシュ・レックスロスのサービスは、電子機器製造時のあらゆる工程で機能と品質の点で最先端との評価を受けております。

リニア=モーション=システムで、ボッシュ・レックスロスは設定変更の可能性でひとつの基準を打ち立てました。同システムでは、全電子機器ユニットがプロセス・チャンバー外側に取り付けられています。その結果、ウェハーが密閉されたプロセス・チャンバー内で異物に触れることなく移動できるようになっています。メンテナンスが至極簡単なため、操作でユーザーはさらに多様な動線を作れます。

またボッシュ・レックスロスの顧客はその他、ウェーハ処理・ウェーハ=ステージ・バックエンド・ギャントリーの製品シリーズやプラスチック電子機器向け各種モジュールを利用することができます。振動が生じない、ゆっくりとした製造工程でも、ハイスピード・ポジションでも当システムを利用することで究極の精度が実現します。

世界中で当社の顧客は、密に張りめぐらされた専門スタッフのサポート網を信頼して利用することができます。その場で迅速に専門的なアドバイスを受けることができます。顧客のノウハウ保護については、ボッシュ・レックスロスが100年以上にわたって実践してきたように、常に保証しています。