高精度な見直し:
熱補正によるプロセスの安定性を向上
熱特性の改善は、プロセスの安定性を高める上で欠かせない課題の一つです。通常、外付けの冷却システムは高額です。弊社の特許取得済みのTCRS熱補正レールシステムにより、費用対効果に優れた柔軟なソリューションが実現しました。熱はリニアガイドから直接取り除くことも、生産開始時に供給することも可能です。熱特性が安定することにより再調整の必要がなくなるため、生産性を大幅に向上させることができます。その結果、一貫したプロセス条件下で、最高精度、ダイナミクス向上、高スループットを実現できます。
TRCSを採用したボールガイドとローラーガイドは、最大75%精度が向上し、スペースを拡張することなく、簡単に改造(後付け)できます。また統合されたIMS計測システムと組み合わせることで、ユーザーは温度のガイド、計測、制御のすべてを同時に行うことが可能なユニークなリニアガイドを手にします。精度、ダイナミクス、スループットの向上だけでなく、また要望に応じて温度制御スクリュードライブにも対応します。