Операции с полупроводниковыми пластинами
В решениях Bosch Rexroth для операций с полупроводниковыми пластинами и их технологической обработки достигается идеальный баланс между высокодинамичными сервоприводами, жесткими линейными подсистемами и пневматическими исполнительными механизмами: высокая жесткость и отсутствие как пере-, так и недорегулирования. Такое исполнение сокращает время задержки и позволяет стандартизировать все манипуляции при выполнении операций на оборудовании. Специальные алгоритмы в системах управления движением подавляют вибрацию. А плавные последовательности перемещений повышают точность профилей перемещения и сплайн-функций.
Системы монтажа полупроводниковых пластин
Наша программа систем монтажа полупроводниковых пластин разработана для прецизионного управления движением в нанометровом диапазоне. Она идеально подходит для совмещения и позиционирования полупроводниковых пластин, а также испытаний на этапе контроля качества. Система прецизионного управления движением MPC обеспечивает высочайшую точность (разрешение 1–5 нм) и медленное равномерное перемещение со скоростью ≥ 50 нм/с. Специальные серводвигатели и не содержащие железа линейные и моментные моторы повышают динамическую производительность. Высокоточные линейные направляющие предотвращают вибрацию. Также в пакет автоматизации входит пневматическая подсистема. Точные профили перемещения и сплайн-функций обеспечивают более плавные последовательности перемещений.
Универсальная транспортная система
Упрощенная универсальная транспортная система Rexroth FTS может эффективно эксплуатироваться даже в самых неблагоприятных условиях и включает в себя внешнюю систему бесконтактного перемещения. Обмотки, расположенные снаружи камеры, обеспечивают приводное усилие для магнитных носителей, не требующих герметизации. Внешний монтаж также повышает доступность. Эта техника линейного перемещения подходит практически для всех коэффициентов нагрузки, уровней точности и профилей перемещения. Такая система обеспечивает великолепную гибкость и позволяет перемещать отдельные носители вперед и назад с различной скоростью.
Портальные системы
Портальные системы Bosch Rexroth обеспечивают высокоточное позиционирование без скручивания для производства плоскопанельных дисплеев и солнечных модулей. Модельный ряд портальных систем автоматизации включает компоненты разных размеров в широком диапазоне значений номинальной нагрузки. Система управления движением обеспечивает высокодинамичную прецизионную координацию двух осей, каждая из которых имеет собственный контур управления, без механических соединений. При этом максимальная контурная точность достигается при синхронизации в режиме реального времени на базе протокола Sercos.
Приводка
Приводы серводвигателей для дополнительной точности, скорости и простой смены формата изделий. Высокодинамичные сервоприводы и компактная техника линейного перемещения позволяют свести к минимуму время переоснащения оборудования на другой формат. Интегрированная электронная передача и контроль приводки помогают менять формат без лишних задержек.
Многозонный контроль натяжения полотна
Многозонный контроль натяжения полотна помогает повысить стабильность производственных процессов. Современное оборудование с подачей материала с рулона на рулон для стабильного и надежного производства требует разного натяжения полотна в различных зонах. Многозонный контроль натяжения полотна Rexroth использует технику «развязки» для создания в технологическом контуре нескольких зон натяжения.
Буфер материала
От кратковременной остановки участка, например для контроля качества, до непрерывной транспортировки полотна в установке и повышенной производительности благодаря сокращению циклов обработки.
Процесс ламинирования
Процесс ламинирования — соединения нескольких тонких слоев пленки с материалом подложки — требует высокой скорости и точного натяжения полотна на большой площади. Открытая архитектура системы позволяет без труда интегрировать компоненты сторонних производителей. Компактные шкафы управления уменьшают потребность в площади для установки машины.
Процесс лазерной обработки
Высокопроизводительные системы управления на базе контроллеров от Bosch Rexroth позволяют выполнять обработку лазером при непрерывной подаче полотна. Непрерывная подача полотна в машине, увеличение производительности за счет сокращения циклов обработки и снижение стоимости благодаря отсутствию шкафа управления, так как дополнительные системы управления не требуются.
Процесс нанесения покрытий
Отсутствие частиц на транспортируемом материале — важнейшее условие для качественного нанесения покрытий при использовании технологий OLED. Для этого Rexroth предлагает универсальную систему транспортировки FTS для линейных перемещений, которая может использоваться при высоком вакууме. Система не выделяет посторонних частиц, благодаря чему обеспечивается более высокое качество покрытий. Обмотки, расположенные снаружи камеры, обеспечивают приводное усилие для магнитных носителей. При этом не требуется герметизация, а доступность оборудования улучшается, так как все электрические компоненты располагаются снаружи камеры.
