Russia

Выберите ваше местонахождение

Russia
Полупроводники и электроника

Полупроводники и электроника

ТЕХНОЛОГИИ АВТОМАТИЗАЦИИ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ЭЛЕКТРОНИКИ

Полупроводниковая промышленность занимается разработкой и изготовлением полупроводников и полупроводниковых устройств — например, интегральных схем.

Полупроводниковая промышленность и электроника предъявляют особые требования к автоматизации. В частности, в этой отрасли существует спрос на мехатронные модули для плавного перемещения при изготовлении полупроводниковых пластин, системы бесконтактной транспортировки материалов через технологические камеры и точность позиционирования в пределах нанометров.

Мы накопили огромный практический опыт в этой области, хорошо знаем, с какими проблемами вы сталкиваетесь, и можем предложить максимально эффективные решения. В нашем ассортимент технологий для полупроводниковой промышленности и электроники обязательно найдется подходящее вам решение.

WE MOVE.

Операции с полупроводниковыми пластинами

Операции с полупроводниковыми пластинами

В решениях Bosch Rexroth для операций с полупроводниковыми пластинами и их технологической обработки достигается идеальный баланс между высокодинамичными сервоприводами, жесткими линейными подсистемами и пневматическими исполнительными механизмами: высокая жесткость и отсутствие как пере-, так и недорегулирования. Такое исполнение сокращает время задержки и позволяет стандартизировать все манипуляции при выполнении операций на оборудовании. Специальные алгоритмы в системах управления движением подавляют вибрацию. А плавные последовательности перемещений повышают точность профилей перемещения и сплайн-функций.

Системы монтажа полупроводниковых пластин

Системы монтажа полупроводниковых пластин

Наша программа систем монтажа полупроводниковых пластин разработана для прецизионного управления движением в нанометровом диапазоне. Она идеально подходит для совмещения и позиционирования полупроводниковых пластин, а также испытаний на этапе контроля качества. Система прецизионного управления движением MPC обеспечивает высочайшую точность (разрешение 1–5 нм) и медленное равномерное перемещение со скоростью ≥ 50 нм/с. Специальные серводвигатели и не содержащие железа линейные и моментные моторы повышают динамическую производительность. Высокоточные линейные направляющие предотвращают вибрацию. Также в пакет автоматизации входит пневматическая подсистема. Точные профили перемещения и сплайн-функций обеспечивают более плавные последовательности перемещений.

Универсальная транспортная система

Универсальная транспортная система

Упрощенная универсальная транспортная система Rexroth FTS может эффективно эксплуатироваться даже в самых неблагоприятных условиях и включает в себя внешнюю систему бесконтактного перемещения. Обмотки, расположенные снаружи камеры, обеспечивают приводное усилие для магнитных носителей, не требующих герметизации. Внешний монтаж также повышает доступность. Эта техника линейного перемещения подходит практически для всех коэффициентов нагрузки, уровней точности и профилей перемещения. Такая система обеспечивает великолепную гибкость и позволяет перемещать отдельные носители вперед и назад с различной скоростью.

Портальные системы

Портальные системы

Портальные системы Bosch Rexroth обеспечивают высокоточное позиционирование без скручивания для производства плоскопанельных дисплеев и солнечных модулей. Модельный ряд портальных систем автоматизации включает компоненты разных размеров в широком диапазоне значений номинальной нагрузки. Система управления движением обеспечивает высокодинамичную прецизионную координацию двух осей, каждая из которых имеет собственный контур управления, без механических соединений. При этом максимальная контурная точность достигается при синхронизации в режиме реального времени на базе протокола Sercos.

Приводка

Приводка

Приводы серводвигателей для дополнительной точности, скорости и простой смены формата изделий. Высокодинамичные сервоприводы и компактная техника линейного перемещения позволяют свести к минимуму время переоснащения оборудования на другой формат. Интегрированная электронная передача и контроль приводки помогают менять формат без лишних задержек.

Многозонный контроль натяжения полотна

Многозонный контроль натяжения полотна

Многозонный контроль натяжения полотна помогает повысить стабильность производственных процессов. Современное оборудование с подачей материала с рулона на рулон для стабильного и надежного производства требует разного натяжения полотна в различных зонах. Многозонный контроль натяжения полотна Rexroth использует технику «развязки» для создания в технологическом контуре нескольких зон натяжения.

Буфер материала

Буфер материала

От кратковременной остановки участка, например для контроля качества, до непрерывной транспортировки полотна в установке и повышенной производительности благодаря сокращению циклов обработки.

Процесс ламинирования

Процесс ламинирования

Процесс ламинирования — соединения нескольких тонких слоев пленки с материалом подложки — требует высокой скорости и точного натяжения полотна на большой площади. Открытая архитектура системы позволяет без труда интегрировать компоненты сторонних производителей. Компактные шкафы управления уменьшают потребность в площади для установки машины.

Процесс лазерной обработки

Процесс лазерной обработки

Высокопроизводительные системы управления на базе контроллеров от Bosch Rexroth позволяют выполнять обработку лазером при непрерывной подаче полотна. Непрерывная подача полотна в машине, увеличение производительности за счет сокращения циклов обработки и снижение стоимости благодаря отсутствию шкафа управления, так как дополнительные системы управления не требуются.

Процесс нанесения покрытий

Процесс нанесения покрытий

Отсутствие частиц на транспортируемом материале — важнейшее условие для качественного нанесения покрытий при использовании технологий OLED. Для этого Rexroth предлагает универсальную систему транспортировки FTS для линейных перемещений, которая может использоваться при высоком вакууме. Система не выделяет посторонних частиц, благодаря чему обеспечивается более высокое качество покрытий. Обмотки, расположенные снаружи камеры, обеспечивают приводное усилие для магнитных носителей. При этом не требуется герметизация, а доступность оборудования улучшается, так как все электрические компоненты располагаются снаружи камеры.

YOU WIN.

Экономия энергии и ресурсов

Экономия энергии и ресурсов

«Погонная» электроника на полимерной основе — так можно описать производство складных и органических дисплеев, сворачиваемых планшетов, органических фотоячеек на гибкой основе и печатных RFID-чипов. Эти продукты печатаются наподобие газеты с использованием экологичных методик, помогающих сберегать ресурсы и оптимизировать затраты и совместимых с методиками массового производства. Данная технология применима как в лаборатории, так и на фабрике. Она открывает совершенно новые производственные возможности.

Выбор конфигурации

Выбор конфигурации

Универсальная транспортная система FTS Bosch Rexroth задает новые стандарты контроля конфигурации: все электронные детали системы монтируются за пределами рабочей камеры. Это обеспечивает бесконтактное перемещение полупроводниковых панелей внутри закрытой рабочей камеры. Система проста в обслуживании, а блок управления предоставляет в распоряжение пользователя множество дополнительных функций перемещения.

Отраслевой опыт

Отраслевой опыт

Компания Bosch Rexroth всегда быстро выявляет перспективные технологии и разработки и приступает к их развитию. Один из примеров такого подхода — индустрия солнечных панелей, благодаря которой нам удалось заложить солидную базу для развития электроники на пластиковой основе. Чтобы браться за новые задачи в этой области, требуются глубокие знания и наработки в двух секторах промышленности — печати и электронике. Специалисты Bosch Rexroth располагают ценным многолетним опытом в обеих областях и хорошо знакомы как с процессами нанесения покрытий в электронной промышленности, так и с традиционными технологиями печати.

ПРИМЕРЫ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

3D-Micromac AG

КОМПАНИЯ 3D-MICROMAC AG ВЫБИРАЕТ РЕШЕНИЕ ПО АВТОМАТИЗАЦИИ REXROTH

Печатная электроника: на пути к массовому производству

Печатные электронные схемы на гибкой основе через несколько лет будут определять нашу повседневную жизнь. Высокотехнологичная компания 3D-Micromac AG из Хемница в Германии разработала технологическую линию модульного производства Microflex. Над задачами автоматизации оборудования, включая транспортировку полотна с прецизионным контролем натяжения, специалисты 3D-Micromac работали в тесном сотрудничестве с Rexroth.

Компания, неизменно уделяющая большое внимание производству печатной электроники, разработала модульную систему MicroFLEX. Технологический процесс с подачей материала с рулона на рулон снижает стоимость изготовления электронных схем. Специалисты Rexroth, со своей стороны, привнесли свой многолетний опыт лидера на рынке автоматизации рулонных печатных машин.

СЕРВИС

Запасные части

Запасные части

Компания Bosch Rexroth предлагает полный спектр услуг по ремонту, поддержанию в исправном состоянии и модернизации различного оборудования.

Подробнее
Ремонт

Ремонт

Быстрый и надежный ремонт вместо дорогостоящей замены: оперативный ремонт позволяет вернуть оборудование в эксплуатацию и возобновить работу.

Подробнее
Выездное обслуживание

Выездное обслуживание

Нужна помощь на месте эксплуатации? Технические специалисты по сервисному обслуживанию Bosch Rexroth приедут к вам.

Подробнее
Модернизация

Модернизация

Мы превращаем старое в новое, а новое делаем еще новее! Наши опыт и знания позволяют существенно увеличить срок службы вашей производственной линии с сохранением максимальной производительности, используя решения по переоборудованию.

Подробнее